真空镀膜机的冷却装置的制作方法

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种真空镀膜机的冷却装置。

背景技术：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却速度慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，而且这种冷却方式与镀膜机的接触面积有限而且由于不能够直接与镀膜机直接接触导致其冷却效率相对较低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过换热器、冷媒进管、冷媒出管、进风筒和排风筒的设计，解决了现有的真空镀膜机的冷却装置冷却效率低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种真空镀膜机的冷却装置，包括基座；

所述基座一表面固定连接有散热座；所述散热座一表面固定连接有机箱；所述散热座内壁固定连接有进风筒；所述进风筒一端延伸至机箱内部；所述进风筒延伸至机箱的一端连通有冷风管；所述冷风管贯穿机箱并与空腔连通；

所述机箱一表面固定连接有真空镀膜机本体；所述真空镀膜机本体内部开设有空腔；所述真空镀膜机本体一表面连通有顶盖；所述机箱内壁固定连接有热媒出管；所述顶盖内壁固定连接有冷媒进管；所述热媒出管和冷媒进管一端分别延伸至机箱和顶盖外部；所述热媒出管和冷媒进管相对表面之间连通有换热管；所述换热管周侧面与真空镀膜机本体活动连接；

所述换热管周侧面分别固定连接有散热翅片、折流板和固定架；所述固定架周侧面与空腔内表面卡接；所述顶盖内壁固定连接有排风筒；所述进风筒和排风筒内壁均固定连接有风机。

进一步地，所述换热管为带有凹陷结构的中空圆管；所述散热翅片在换热管周侧面呈圆周阵列分布；所述散热翅片为Y形结构。

进一步地，所述热媒出管位于冷风管外侧；所述冷风管在进风筒一表面呈圆周阵列分布。

进一步地，所述换热管和冷风管在空腔内表面的底部呈两两交替分布。

进一步地，所述进风筒和排风筒均为两端开口的中空圆管结构；所述进风筒和排风筒轴心相同。

进一步地，所述折流板横截面为弧形；所述热媒出管和冷媒进管均为弧形结构；所述散热座为H形结构。

进一步地，所述空腔内壁固定连接有温度感应器。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过换热器、冷媒进管、冷媒出管、进风筒和排风筒，使该装置结合水冷和风冷散热的方式为一体，同时通过水冷与风冷方向的逆向设置，能够有效在风冷的同时达到对水冷管的温度冷却，继而提高该装置的整体冷却效果。

2、本实用新型通过散热翅片、换热管和折流管的设计，能够有效的保持换热管和空腔的接触，Y形散热翅片则能够有效增加散热面积，继而避免传统的真空机冷却装置冷却机构不能与腔体直接接触，散热效率低，及传统的冷却水与腔体直接接触方式会造成空腔内部产生锈蚀，降低镀膜装置使用寿命的问题。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种真空镀膜机的冷却装置的内部结构示意图；

图2为换热管的结构示意图；

图3为图2的正视结构示意图；

图4为换热管和散热翅片的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-基座，2-散热座，3-机箱，4-进风筒，5-冷风管，6-真空镀膜机本体，7-空腔，8-顶盖，9-热媒出管，10-冷媒进管，11-换热管，12-散热翅片，13-折流板，14-固定架，15-排风筒，16-风机,17-温度感应器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型为一种真空镀膜机的冷却装置，包括基座1；

基座1一表面固定连接有散热座2；散热座2一表面固定连接有机箱3；散热座2内壁固定连接有进风筒4；进风筒4一端延伸至机箱3内部；进风筒4延伸至机箱3的一端连通有冷风管5；冷风管5贯穿机箱3并与空腔7连通；冷风管5为曲线结构；

机箱3一表面固定连接有真空镀膜机本体6；真空镀膜机本体6内部开设有空腔7；真空镀膜机本体6一表面连通有顶盖8；机箱3内壁固定连接有热媒出管9；顶盖8内壁固定连接有冷媒进管10；热媒出管9和冷媒进管10一端分别延伸至机箱3和顶盖8外部；热媒出管9和冷媒进管10相对表面之间连通有换热管11；换热管11周侧面与真空镀膜机本体6活动连接；换热管11与真空镀膜机本体6连接处设置有导热硅脂；

换热管11周侧面分别固定连接有散热翅片12、折流板13和固定架14；固定架14周侧面与空腔7内表面卡接；顶盖8内壁固定连接有排风筒15；进风筒4和排风筒15内壁均固定连接有风机16。

其中如图2-4所示，换热管11为带有凹陷结构的中空圆管；散热翅片12在换热管11周侧面呈圆周阵列分布；散热翅片12为Y形结构；Y形结构能够有效增强散热翅片12的散热面积。

其中，热媒出管9位于冷风管5外侧；冷风管5在进风筒4一表面呈圆周阵列分布。

其中，换热管11和冷风管5在空腔7内表面的底部呈两两交替分布。

其中，进风筒4和排风筒15均为两端开口的中空圆管结构；进风筒4和排风筒15轴心相同。

其中，折流板13横截面为弧形；折流板13作用在于改变风向；延长散热风的逗留时间；热媒出管9和冷媒进管10均为弧形结构；散热座2为H形结构；热媒出管9和冷媒进管10均设置有管阀；冷媒进管10连通外部冷却循环水。

其中，空腔7内壁固定连接有温度感应器17；温度感应器17用于实时监测空腔7内壁的温度参数；温度感应器17的型号为MF53-103。

本实施例的一个具体应用为：使用时，冷媒进管10用于连通外部冷却循环水，热媒出管9则用于排出带有热量的循环水，同时，使用过程中，该装置设置有两个散热等级，温度感应器17用以实时监测空腔7内的温度参数，并将温度数据传递至控制器，通过与之搭配的控制装置，可设定两个散热等级的温度工作阙值，控制器根据温度感应器17的温度数据反馈，改变风机16的工作状态；当温度达到第一级散热等级时，只依靠水冷，即只依靠散热翅片12、热媒出管9和冷媒进管10进行冷却作业，当温度到达第二工作等级时，水冷风冷同时工作，同时温度越高，风机16的转速越高，温度值和风机16转速值呈正比，风冷工作时排风筒15和进风筒4中的风机16同时工作。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。