一种冷却组件及具有其的旋转阴极装置的制作方法

文档序号:18057085发布日期:2019-06-29 02:04阅读:173来源:国知局
一种冷却组件及具有其的旋转阴极装置的制作方法

本实用新型涉及旋转阴极技术领域,特别是指一种冷却组件及具有其的旋转阴极装置。



背景技术:

目前,在旋转阴极工作过程中,需要对旋转阴极通入冷却水进行冷却。当需要更换旋转阴极或对旋转阴极进行维修检查时,需要将旋转阴极内的冷却水排尽,此时就需要将旋转阴极的冷却管路拆卸并将气路连接在旋转阴极上,通过向旋转阴极吹气将冷却水排出。现有结构在维修更换旋转阴极时操作繁琐,所需时间较长。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型的目的在于提出一种冷却组件及具有其的旋转阴极装置。

基于上述目的本实用新型提供了一种冷却组件,用于对旋转阴极进行冷却,冷却组件包括:冷却进管、冷却回管、第一三通阀、第二三通阀、进气管以及排液管,第一三通阀的第一端与冷却进管连通,第一三通阀的第二端与进气管连通,第一三通阀的第三端用于与旋转阴极的冷却进口连通,第二三通阀的第一端与冷却回管连通,第二三通阀的第二端与排液管连通,第二三通阀的第三端用于与旋转阴极的冷却出口连通。

进一步地,冷却组件还包括第一控制阀,第一控制阀设置在第一三通阀和冷却进管之间。

进一步地,冷却组件还包括第二控制阀,第二控制阀设置在第二三通阀和冷却回管之间。

进一步地,冷却组件还包括第三控制阀,第三控制阀设置在第二三通阀与排液管连通的管路上。

进一步地,第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀均为气控阀。

进一步地,进气管包括主路、第一支路以及第二支路,主路的一端分别与第一支路和第二支路的一端连通,第一支路的另一端与第一三通阀的第二端连通,第二支路的另一端同时与第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀连通。

进一步地,冷却组件还包括单向阀,单向阀设置在第一三通阀的第二端与进气管之间,单向阀用于使进气管内的气体向第一三通阀流通。

本实用新型还提供了一种旋转阴极装置,旋转阴极装置包括:旋转阴极本体和冷却组件,冷却组件为上述提供的冷却组件,旋转阴极本体具有冷却进口和冷却出口,冷却组件的第一三通阀的第三端与冷却进口连通,冷却组件的第二三通阀的第三端与冷却出口连通。

从上面所述可以看出,本实用新型提供的冷却组件,在冷却进管和旋转阴极的冷却进口之间、冷却回管和旋转阴极的冷却出口之间分别设置了第一三通阀和第二三通阀,并将进气管与第一三通阀连通,将排液管与第二三通阀连通。通过上述结构可直接利用进气管对旋转阴极内的冷却液进行吹扫排除,无需对冷却进管、冷却回管进行拆卸,简化操作步骤,提高了清除效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的冷却组件的结构示意图。

10、冷却进管;20、冷却回管;31、第一三通阀;32、第二三通阀;41、进气管;42、排液管;51、第一控制阀;52、第二控制阀;53、第三控制阀;60、单向阀。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本实用新型进一步详细说明。

如图1所示,本实用新型实施例一提供了一种冷却组件,该冷却组件用于对旋转阴极进行冷却。其中,该冷却组件包括:冷却进管10、冷却回管20、第一三通阀31、第二三通阀32、进气管41以及排液管42。第一三通阀31的第一端与冷却进管10连通,第一三通阀31的第二端与进气管41连通,第一三通阀31的第三端用于与旋转阴极的冷却进口连通。第二三通阀32的第一端与冷却回管20连通,第二三通阀32的第二端与排液管42连通,第二三通阀32的第三端用于与旋转阴极的冷却出口连通。冷却进管10中可通入冷却介质,利用冷却介质对旋转阴极进行冷却后从冷却回管20中排出。利用三通阀将进气管与旋转阴极连通,这样可在对进气管通气的情况下,利用气体将旋转阴极内的冷却液体排出,从旋转阴极中吹出的冷却液体通过排液管42排出。

通过本实施例提供的冷却组件,在冷却进管10和旋转阴极的冷却进口之间、冷却回管20和旋转阴极的冷却出口之间分别设置了第一三通阀31和第二三通阀32,并将进气管41与第一三通阀31连通,将排液管42与第二三通阀32连通。通过上述结构可直接利用进气管41对旋转阴极内的冷却液进行吹扫排除,无需对冷却进管10、冷却回管20进行拆卸,简化操作步骤,提高了清除效率。并且该冷却组件结构简单,加工成本低,便于安装和拆卸。

具体的,该冷却组件还包括第一控制阀51,第一控制阀51设置在第一三通阀31和冷却进管10之间。这样设置,可以利用第一控制阀51控制冷却进管10和第一三通阀31之间的通断,当需要对旋转阴极进行吹扫时,可将第一控制阀51关闭使冷却进管10与第一三通阀31断开,使进气管41内的气体全部吹向旋转阴极,这样可以提高吹扫效率。当不需要吹扫时,将第一控制阀51打开使冷却进管10与第一三通阀31连通即可,以保证对旋转阴极的正常冷却。

具体的,该冷却组件还包括第二控制阀52,第二控制阀52设置在第二三通阀32和冷却回管20之间。通过第二控制阀52控制第二三通阀32与冷却回管20之间的通断,当需要对旋转阴极进行吹扫时,可将第二控制阀52关闭使冷却回管20与第二三通阀32断开,这样在利用进气管41将旋转阴极内的冷却液吹出后,能够使吹出的冷却液全部流入排液管42内,便于对此部分液体进行收集。当不需要对旋转阴极进行吹扫时,将第二控制阀52打开使冷却回管20与第二三通阀32连通即可,以保证对旋转阴极的正常冷却。

具体的,该冷却组件还包括第三控制阀53,第三控制阀53设置在第二三通阀32与排液管42连通的管路上。通过设置第三控制阀53,可控制第二三通阀32与排液管42之间的通断,当需要对旋转阴极进行吹扫时,将第三控制阀53打开,以使液体从第二三通阀32流入排液管42。当不需要吹扫时,将第三控制阀53关闭,这样可使正常流通的冷却液从旋转阴极流出后能够全部流入冷却回管20内,以保证对旋转阴极的正常冷却。

在本实施例中,第一控制阀51、第二控制阀52以及第三控制阀53均为气控阀。将第一控制阀51、第二控制阀52以及第三控制阀53设置为气控阀可提高阀的响应速率,并且无需人工开关,提高装置的自动化程度。

其中,该进气管41包括主路、第一支路以及第二支路,主路的一端分别与第一支路和第二支路的一端连通,主路的另一端可与气罐连接。第一支路的另一端与第一三通阀31的第二端连通,通过第一支路对旋转阴极进行吹扫。第二支路的另一端同时与第一控制阀51、第二控制阀52以及第三控制阀53连通。第二支路用于对第一控制阀51、第二控制阀52以及第三控制阀53供气。这样设置可提高冷却组件的集成度,利用同一气路进行供气可方便操控和安装。

在本实施例中,该冷却组件还包括单向阀60,单向阀60设置在第一三通阀31的第二端与进气管41之间,单向阀60用于使进气管41内的气体向第一三通阀31流通。这样设置可防止冷却进管10在向旋转阴极输送冷却液时,冷却液进入进气管41中。

本实用新型实施例二提供了一种旋转阴极装置,该旋转阴极装置包括:旋转阴极本体和冷却组件。其中,冷却组件为上述实施例提供的冷却组件,旋转阴极本体具有冷却进口和冷却出口,冷却组件的第一三通阀的第三端与冷却进口连通,冷却组件的第二三通阀的第三端与冷却出口连通。

通过本实施例提供的装置,能够实现以下优点:

1.节省了旋转阴极的排水时间,简化了排水操作过程,无需对管道进行安装和拆卸。

2.防止冷却水泄漏。因为在排水时不需要插拔接头,降低了冷却水泄漏的风险。

3.装置结构简单,便于生产和安装,成本较低。

需要说明的是,本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量,可见“第一”“第二”仅为了表述的方便,不应理解为对本实用新型实施例的限定,后续实施例对此不再一一说明。

所属领域的普通技术人员应当理解:以上任何实施例的讨论仅为示例性的,并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子;在本实用新型的思路下,以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合,并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化,为了简明它们没有在细节中提供。因此,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何省略、修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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