一种LPCVD沉积炉的制作方法

本实用新型涉及沉积炉技术领域，具体为一种LPCVD沉积炉。

背景技术：

LPCVD技术既能用于制备硅外延层，也能用于各种无定形钝化膜及多晶薄膜的沉积，是一种重要的薄膜淀积技术，但沉积炉在长时间使用后需要检修和维护，但现有的沉积炉由于体积和放置的固定方式导致在检修时候十分不方便。

技术实现要素：

本实用新型是提供一种能够快速简便的固定且放置容易的LPCVD沉积炉。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种LPCVD沉积炉，包括底座，所述底座的顶部包括箱体、左支架和右支架，所述箱体的底部与底座的顶部固定连接，所述左支架位于箱体的左侧设置，所述左支架的底部与底座的顶部固定连接，所述左支架的右侧与箱体的左侧固定连接，所述右支架位于箱体的右侧设置，所述右支架的左侧与箱体的右侧固定连接，所述左支架的顶部包括左卡块，所述左卡块的底部后侧通过铰链与左支架的顶部后侧转动连接，所述右支架的顶部包括右卡块，所述右卡块的底部后侧通过铰链与右支架的顶部后侧转动连接。

所述箱体的内部包括上加热板、沉积炉体、进气管、出气管和下加热板，所述上加热板位于箱体的内壁设置，所述上加热板的表面与箱体的内壁卡接，所沉积炉体位于上加热板的下侧设置，所述沉积炉体的左侧与进气管的右端固定连接，所述沉积炉体的右侧与出气管的左端固定连接，所述下加热板位于沉积炉体的下侧设置，所述下加热板的表面与箱体的内壁卡接，所述沉积炉体的内部包括左端盖、载片舟、沉积孔、右端盖和固定块，所述固定块位于沉积炉体的内壁底部设置，所述固定块的底部与沉积炉体内壁的底部固定连接，所述固定块的顶部与载片舟的表面底部固定连接，所述左端盖位于载片舟的左侧设置，所述左端盖的内壁与载片舟的表面左侧螺纹连接，所述右端盖位于载片舟的右侧设置，所述右端盖的内壁与载片舟的表面右侧螺纹连接，所述箱体的正面包括插板，所述插板位于箱体的正面设置，所述插板的表面与箱体的内壁滑动连接，所述箱体的两侧包括卡炉口，所述卡炉口位于箱体的两侧内壁开设，卡炉口的内部包括橡胶垫，所述橡胶垫的底部与卡炉口的内壁底部粘接，所述进气管的左端通过卡炉口延伸至箱体的左侧，所述进气管的表面底部与橡胶垫的表面活动连接，所述进气管的表面底部与左支架的顶部滑动连接，所述进气管的表面顶部与左卡块的底部卡接，所述出气管的右端通过卡炉口延伸至箱体的右侧，所述出气管的表面底部与橡胶垫的表面活动连接所述出气管的表面顶部与右卡块的底部卡接，所述出气管的表面底部与右支架的顶部活动连接。

进一步的，所述底座的底部包括万向轮和卡杆，所述万向轮的内壁通过转轴与底座的底部转动连接，所述卡杆位于万向轮的背面设置，所述卡杆的左端与万向轮的背面卡接。

进一步的，所述万向轮和卡杆的数量均为四个，四个万向轮和四个卡杆以底座的中轴线为对称设置在底座的四角。

进一步的，所述进气管的底部包括左固定柱，所述左固定柱位于箱体的内部设置，所述左固定柱的顶部与进气管的表面底部活动连接，所述左固定柱的底部与下加热板的上表面的左侧卡接，所述出气管的底部包括右固定柱，所述右固定柱位于箱体的内部设置，所述右固定柱的顶部与出气管的表面底部活动连接，所述右固定柱的底部与下加热板的上表面右侧卡接。

进一步的，所述沉积炉体的表面包括沉积孔，所述沉积孔位于沉积炉体的表面均匀开设。

进一步的，所述进气管的内壁直径大小小于出气管的内壁直径大小。

本实用新型提供了一种LPCVD沉积炉。具备以下有益效果：

1、该LPCVD沉积炉，通过在箱体的两侧设置左支架、左卡块、右支架和右卡块，从而达到了将沉积炉固定的目的，通过在箱体的两侧设置卡炉口和橡胶垫，在箱体的正面设置插板，从而解决了沉积炉体在箱体中不方便取出和放置的问题。

2、该LPCVD沉积炉，通过在底座的底部设置万向轮和卡杆，从而达到了对沉积炉的移动和固定的目的，通过在箱体的内部包括左固定柱和右固定柱，从而解决了沉积炉体自重受力形变的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构左视图；

图3为本实用新型结构卡炉口示意图；

图4为本实用新型结构俯视图。

其中，1底座、2箱体、3沉积炉体、4右端盖、5固定块、6沉积孔、7载片舟、8左端盖、9上加热板、10左卡块、11进气管、12左支架、13左固定柱、14下加热板、15右卡块、16出气管、17右固定柱、18右支架、19万向轮、20卡杆、21卡炉口、22插板、23橡胶垫。

具体实施方式

如图1-4所示，本实用新型实施例提供一种LPCVD沉积炉，包括底座1，底座1的顶部包括箱体2、左支架12和右支架18，箱体2的底部与底座1的顶部固定连接，左支架12位于箱体2的左侧设置，左支架12的底部与底座1的顶部固定连接，左支架12的右侧与箱体2的左侧固定连接，右支架18位于箱体2的右侧设置，右支架18的左侧与箱体2的右侧固定连接，左支架12的顶部包括左卡块10，左卡块10的底部后侧通过铰链与左支架12的顶部后侧转动连接，右支架18的顶部包括右卡块15，右卡块15的底部后侧通过铰链与右支架18的顶部后侧转动连接，利用左支架12、左卡块10、右支架18和右卡块15将进气管11和出气管16固定，防止其转动，底座1的底部包括万向轮19和卡杆20，万向轮19的内壁通过转轴与底座1的底部转动连接，卡杆20位于万向轮19的背面设置，卡杆20的左端与万向轮19的背面卡接，万向轮19和卡杆20的数量均为四个，四个万向轮19和四个卡杆20以底座1的中轴线为对称设置在底座1的四角，万向轮19和卡杆20方便整个装置的移动和固定。

箱体2的内部包括上加热板9、沉积炉体3、进气管11、出气管16和下加热板14，上加热板9位于箱体2的内壁设置，上加热板9的表面与箱体2的内壁卡接，所沉积炉体3位于上加热板9的下侧设置，沉积炉体3的左侧与进气管11的右端固定连接，沉积炉体3的右侧与出气管16的左端固定连接，下加热板14位于沉积炉体3的下侧设置，下加热板14的表面与箱体2的内壁卡接，沉积炉的表面包括沉积孔6，沉积孔6位于沉积炉体3的表面均匀开设，均匀设置的沉积孔6有利于反应气体均匀进入沉积炉体3内部，沉积孔6的孔径为0.6毫米，沉积炉体3的内部包括左端盖8、载片舟7、沉积孔6、右端盖4和固定块5，固定块5位于沉积炉体3的内壁底部设置，固定块5的底部与沉积炉体3内壁的底部固定连接，固定块5的顶部与载片舟7的表面底部固定连接，左端盖8位于载片舟7的左侧设置，左端盖8的内壁与载片舟7的表面左侧螺纹连接，右端盖4位于载片舟7的右侧设置，右端盖4的内壁与载片舟7的表面右侧螺纹连接，箱体2的正面包括插板22，插板22位于箱体2的正面设置，插板22的表面与箱体2的内壁滑动连接，箱体2的两侧包括卡炉口21，卡炉口21位于箱体2的两侧内壁开设，卡炉口21的内部包括橡胶垫23，橡胶垫23的底部与卡炉口21的内壁底部粘接，橡胶垫23用于防止进气管11和出气管16的表面被卡炉口21内壁划伤，进气管11的左端通过卡炉口21延伸至箱体2的左侧，卡炉口21的内壁直径略大于进气管11和出气管16的表面直径，方便进气管11和出气管16的放置，进气管11的表面底部与橡胶垫23的表面活动连接，进气管11的表面底部与左支架12的顶部滑动连接，进气管11的表面顶部与左卡块10的底部卡接，出气管16的右端通过卡炉口21延伸至箱体2的右侧，出气管16的表面底部与橡胶垫23的表面活动连接出气管16的表面顶部与右卡块15的底部卡接，出气管16的表面底部与右支架18的顶部活动连接，进气管11的内壁直径大小小于出气管16的内壁直径大小，出气管16内壁直径大与进气管11内壁直径可以减缓内部气体的溢出，增加沉积效率，进气管11的底部包括左固定柱13，左固定柱13位于箱体2的内部设置，左固定柱13的顶部与进气管11的表面底部活动连接，左固定柱13的底部与下加热板14的上表面的左侧卡接，出气管16的底部包括右固定柱17，右固定柱17位于箱体2的内部设置，右固定柱17的顶部与出气管16的表面底部活动连接，右固定柱17的底部与下加热板14的上表面右侧卡接，左固定柱13和右固定柱17将进气管11和出气管16支撑起来，防止沉积炉自重受力形变。

使用时，通过万向轮19将沉积炉推动到适合的位置后，按下卡杆20将整体固定，拉出插板22，将左卡块10和右卡块15打开，将进气管11和出气管16沿着箱体2两侧的卡炉口21推入，直到进气管11和出气管16推到左支架12和右支架18的顶部，合上左卡块10和右卡块15，将进气管11和出气管16固定柱，再将插板22插入箱体2即可。