一种溅射靶材加热平台的制作方法

本实用新型涉及加热平台，更具体地说，它涉及一种溅射靶材加热平台。

背景技术：

靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。

对于现有的靶材涂铟加热平台，如专利公开号为CN205385619U的中国专利，其公开了一种靶材涂铟加热平台，包括不锈钢框架、柜体部分和安装在不锈钢框架上部的加热平台；加热平台上设有孔，孔内装有发热管。

上述专利钎焊溅射靶材时，需要投入较多的钎料，以确保焊接的牢固性，而过多的焊料融化后，液态焊料易向加热平台周侧流动，继而滴落在地面，影响车间内部卫生和清洁。

技术实现要素：

针对现有技术存在过多焊料融化后易滴落至车间内的问题，本实用新型的目的是提供一种溅射靶材加热平台，其具有方便收集过多焊料的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种溅射靶材加热平台，包括机架，所述机架上固定有多个加热块，所述加热块内插接连接有多个电热棒，多个所述加热块一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板，多个所述加热块沿所述垫板的长度方向设置，所述机架周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽，所述机架于所述垫板的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。

通过上述技术方案，使用时，将溅射靶材沿垫板长度方向放置在垫板上，向电热棒供电，给垫板升温，垫板通过热传递的方式给垫板升温，继而实现对溅射板材的加热。通过在机架周侧设置收集槽，使用时溅射板材上多余的焊料可流动汇集至收集槽内，从而有效避免多余焊料滴落至车间内，污染车间内部环境；由于溅射靶材长度较长，采用整块长度的加热块加热溅射靶材，制造难度大，加工成本高，尤其是损坏后，需整块加热块更换，维修成本高，采用多个垫板加热，通过垫板传递的方式有效解决了使用和制造成本高的问题。

进一步的，所述加热块远离所述机架的侧面沿其边缘开设有用于收集多余焊料的凹槽。

通过上述技术方案，在加热块上开设凹槽用于进一步提高本实用新型收集多余焊料的能力。

进一步的，位于所述垫板中部的所述加热块为中段块，所述中段块远离所述机架的侧面两端均开设有装载槽。

通过上述技术方案，使用时，装载槽用于与叉车配合，便于装载和卸下溅射靶材。

进一步的，所述装载槽的深度大于所述凹槽的深度。

通过上述技术方案，凹槽内的多余的焊料在其自身重力作用下可汇集在装载槽内，提高本实用新型收集多余焊料的能力。

进一步的，所述装载槽底面的两端均开设有倾斜面。

通过上述技术方案，开设倾斜面，便于引导装载槽内的焊料在融化状态下流动至收集槽内。

进一步的，所述固定组件包括固定于所述机架上且位于所述垫板上方的横杆，所述横杆上螺纹连接有便于将溅射靶材压紧在所述垫板上的螺栓。

通过上述技术方案，使用时，可拧动螺栓，使螺栓的一端抵紧溅射靶材，从而将溅射靶材压紧固定在垫板上。

进一步的，所述螺栓远离所述垫板的一端正交设置有转动杆，所述转动杆与所述螺栓插接配合。

通过上述技术方案，转动杆便于拧动螺栓，使转动杆与螺栓插接配合方便转动杆的使用。

进一步的，所述垫板两端均设置有用于压紧多个溅射靶材的压块，所述压块两端均抵接有所述螺栓。

通过上述技术方案，采用同一压块压紧多个溅射板材，便于将多个溅射靶材压紧在同一平面上，从而提高压紧后的平整度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过在机架周侧设置有收集槽，溅射板材加热后过多的焊料可流动汇集至收集槽内，从而有效避免多余焊料滴落至车间内，污染车间内部环境；

(2)通过多个加热块加热垫板，利用垫板热传递加热溅射靶材，降低设备制造难度和加工成本高；

(3)进一步地，通过开设装载槽和凹槽，不仅便于溅射靶材的装卸，还能有利于引导凹槽内的焊料汇集在收集槽内，从而提高对多余焊料的收集。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

附图标记：1、机架；2、加热块；3、电热棒；4、垫板；5、收集槽；6、凹槽；7、中段块；8、装载槽；9、倾斜面；10、横杆；11、螺栓；12、转动杆；13、压块。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和有益效果更加清楚，下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

如图1所示，一种溅射靶材加热平台，包括机架1，机架1采用不锈钢箱体制成，机架1上固定有三个块状的加热块2，加热块2为钢制，加热块2内插接连接有多个电热棒3，多个电热棒3均匀分布在加热块2内，机架1内设置有控制电热棒3功率的控温器和控制电热棒3加热时间的计时器。三个加热块2一侧抵接有两个用于加热溅射靶材的垫板4，垫板4采用表面为长方形的钢板，三个加热块2沿垫板4的长度方向设置，且加热块2之间相互接触，便于加热块2之间的温度长度，促进加热的均匀度。采用多个加热块2给垫板4加热，便于通过垫板4将温度传递给溅射靶材，有利于提高加热的均匀度。

加热块2远离机架1的侧面沿其边缘开设有用于收集多余焊料的凹槽6，机架1周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽5，收集槽5的高度低于加热块2的高度。使用时，多余的焊料融化后，先汇入凹槽6内，待凹槽6满后再流至收集槽5内，采用多集收集的方式，确保多余融化的焊料不会滴落至地上。位于垫板4中部的加热块2为中段块7，中段块7远离机架1的侧面两端均开设有装载槽8，装载槽8沿中段块7宽度方向贯穿开设，便于采用叉车进行装载溅射靶材或将加工后的溅射靶材取下。装载槽8的深度大于凹槽6的深度，装载槽8底面的两端均开设有倾斜面9。使用时，中段块7上的凹槽6容纳焊料过多后，多余的焊料在其自身重力作用下流入装载槽8内，经倾斜面9的引导汇入收集槽5内。

机架1于垫板4的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件，固定组件包括固定于机架1上且位于垫板4上方的横杆10，横杆10上螺纹连接有螺栓11，螺栓11竖直设置，便于将溅射靶材压紧在垫板4上。螺栓11远离垫板4的一端正交设置有转动杆12，通过转动杆12方便转动螺栓11，转动杆12与螺栓11插接配合，提高使用的便捷性。垫板4两端均设置有用于压紧多个溅射靶材的压块13，压块13呈长条块状，与多个溅射靶材的长度方向垂直，机架1两侧的螺栓11分别与压块13的两端抵接。

综上所述：

本实用新型使用时，将溅射靶材固定在垫板4上，给电热棒3通电，加热块2升温，再通过热传递加热垫板4，从而加热溅射靶材。通过在机架1周侧设置有收集槽5，溅射板材加热后过多的焊料可流动汇集至收集槽5内，从而有效避免多余焊料滴落至车间内，污染车间内部环境；通过开设装载槽8和凹槽6，不仅便于溅射靶材的装卸，还能有利于引导凹槽6内的焊料汇集在收集槽5内，从而提高对多余焊料的收集；通过多个加热块2加热垫板4，利用垫板4热传递加热溅射靶材，降低设备制造难度和加工成本高。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。