1.一种cvd衬底托盘由n个衬底载具和n-1个卡持部件组成；所述衬底载具为矩形；所述衬底载具中间设置承载槽；所述卡持部件为条状。
2.根据权利要求1所述一种cvd衬底托盘，其特征在于，所述承载槽为正方形、长方形、圆形，其中优选正方形。
3.根据权利要求2所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述承载槽在衬底载具上为单面布置或为背对双面布置。
4.根据权利要求3所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述衬底载具两侧具有拼接槽，相对于衬底载具中心线呈180°旋转呈镜像；所述拼接槽上设置至少一个固定插孔，所述固定插孔为长方形。
5.根据求利要求4所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述拼接槽为楔形、阶梯形；优选阶梯形，所述阶梯形厚度为衬底载具厚度的1/2。
6.根据权利要求1所述一种cvd衬底托盘，其特征在于卡持部件为条状，左右两侧分别由外到内设置一级台阶、二级台阶、三级台阶，中间设有凸起卡瓣；所述中间凸起卡瓣在卡持器中间呈线性分布，且数量、位置、大小与固定插孔一一相适应。
7.根据权利要求6所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述三级台阶与衬底间距离为0-6mm，优选0.6mm。
8.根据权利要求6所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述一级台阶内侧安装弹性元件，所述弹性元件优选弹簧。
9.根据权利要求6所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述二级台阶内侧安装弹性元件，所述弹性元件优选弹簧。
10.根据权利要求1-9所述一种cvd衬底托盘，其特征在于所述卡持部件及衬底载具材料可选择碳陶材料、碳碳复合材料、石墨，或在上述材料表面涂覆sic涂层，以及sic材料。
11.根据权利要求1至10一种cvd衬底托盘拼接方法：
1).将衬底载具通过拼接槽进行拼接，并将拼接槽上的固定插孔一一对应。
2).将衬底放置于承载槽中。
3).将卡持部件中凸起卡瓣一一对应插入衬底载具拼接部位上的固定插孔中，并沿固定插孔长度方向滑动，以实现衬底载具的固定连接，并固定衬底；所述第一台阶固定衬底载具，所述第二台阶固定衬底。