筒状波纹罩的制作方法

本发明涉及覆盖驱动机构的筒状波纹罩。

背景技术：

在利用研磨垫对晶片进行研磨的晶片的研磨加工中，将安装在旋转轴的前端的研磨垫推抵于晶片，并且使研磨垫沿与晶片的上表面平行的水平方向进行移动，从而对晶片进行研磨，其中，研磨垫的该旋转轴以与被保持在保持工作台上的晶片的上表面垂直的方向为轴。因此，配设有包围保持工作台和研磨垫的筒状波纹罩，以使得在晶片的研磨加工中所产生的研磨屑不会从加工室内四处飞散(例如，参照下述的专利文献1)。该筒状波纹罩在筒状的波纹布上以呈台阶状的方式平行地配设有多个环，波纹布的下端安装在加工室的开口的周缘上，波纹布的上端安装在以旋转自如的方式对旋转轴进行支承的主轴单元上，从而使用该筒状波纹罩。

专利文献1：日本特许第4464113号公报

但是，在对晶片进行研磨加工时，追随着研磨垫的下降动作，筒状波纹罩沿垂直方向收缩而使多个环彼此接近，由于在该状态下研磨垫沿水平方向进行移动，因此收缩状态的筒状波纹罩在水平方向上也进行变形。另外，在对研磨垫的研磨面进行修整时，筒状波纹罩也与上述情况相同地追随研磨垫的垂直移动和水平移动而进行变形。尤其是，在研磨垫进行水平移动时，已接近的多个环发生倾斜，因此存在波纹布在环与环之间被擦破的问题。如果波纹布破损，则更换成新的筒状波纹罩，但在现有的筒状波纹罩和加工室的结构中，存在不能简单地进行更换作业的问题。如果使用特殊的材质则能够减少波纹布的摩擦，但难以防止波纹布的破损本身，而且由于使用特殊的材质会使筒状波纹罩的制造成本增加。

技术实现要素：

本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供筒状波纹罩，能够容易地将筒状波纹罩相对于驱动机构的动作区域进行装拆。

本发明是筒状波纹罩，其对向上下左右方向进行动作的驱动机构的动作区域进行覆盖，其中，该筒状波纹罩具有：圆环状的上环；圆环状的下环；筒状波纹布，其将上下配置的该上环与该下环连结起来；以及加强环，其在该上环与该下环之间平行地配设有多个，对该筒状波纹布进行加强，该筒状波纹罩具有装拆部，该装拆部能够使该上环、该加强环和该下环连结成环形状，并且能够使连结成该环形状的该上环、该加强环和该下环断开，该筒状波纹布具有将上端与下端连接起来的系固件。该下环也可以形成为长圆环状。

本发明的筒状波纹罩具有：圆环状的上环；圆环状的下环；筒状波纹布，其将上下配置的上环与下环连结起来；以及加强环，其在上环与下环之间平行地配设有多个，对筒状波纹布进行加强，该筒状波纹罩具有装拆部，该装拆部能够使上环、加强环和下环连结成环状，并且能够使连结成环状的上环、加强环和下环断开，该筒状波纹布具有将上端与下端连接起来的系固件，因此仅通过利用装拆部使上环、加强环和下环连结成环状，并且将系固件闭合，就能够将筒状波纹罩安装在驱动机构的动作区域，仅通过利用装拆部使连结成环状的上环、加强环和下环断开，并且打开系固件，就能够将筒状波纹罩从驱动机构的动作区域拆下。这样，筒状波纹罩由于构造简单，因此能够容易地对筒状波纹罩进行更换，从而能够缩短作业时间。

附图说明

图1是示出加工装置的结构的立体图。

图2是示出筒状波纹罩被安装在研磨单元与加工室之间以前的状态的分解立体图。

图3是示出筒状波纹罩的结构并且示出打开了筒状波纹布的系固件的状态的立体图。

图4是示出使筒状波纹布的系固件闭合的状态的立体图。

标号说明

1：加工装置；10：装置底座；11：转台；12：保持工作台；120：保持面；13a、13b：载台；14a、14b：盒；15：搬入搬出单元；16：临时载置单元；17：清洗单元；18a：第1搬送单元；18b：第2搬送单元；19：柱；2：筒状波纹罩；20：上环；21：下环；22：筒状波纹布；23：加强环；24：第1开口；25a、25b：绳带；26：第2开口；27：系固件；27a、27b：链牙；27c：滑动头；28：装拆部；28a：一端部；28b：卡合部；30a：第1磨削单元；30b：第2磨削单元；31a：第1磨削进给单元；31b：第2磨削进给单元；32：研磨单元；33：旋转轴；34：主轴单元；35：保持架；36：电动机；37：研磨轮；38：研磨垫；40：升降单元；41：滚珠丝杠；42：电动机；43：导轨；44：升降板；50：水平移动单元；51：滚珠丝杠；52：电动机；53：导轨；54：移动板；60：加工室；61：长圆开口；62：长圆环立设部；63：槽。

具体实施方式

1加工装置

图1所示的加工装置1是使用本发明的筒状波纹罩2的加工装置的一例。加工装置1具有沿y轴方向延伸的装置底座10，在装置底座10的中央部配设有能够旋转的转台11。在转台11之上配设有多个能够自转的保持工作台12，该保持工作台12对晶片w进行保持。保持工作台12的上表面是对晶片w进行吸引保持的保持面120。而且，通过使转台11进行旋转，能够使保持工作台12进行公转。

在装置底座10的y轴方向前部安装有载台13a、13b。在载台13a上载置有收纳加工前的晶片w的盒14a，在载台13b上载置有收纳加工后的晶片w的盒14b。在与盒14a、14b对置的位置上配设有将晶片w从盒14a搬出并且将晶片w向盒14b搬入的搬出搬入单元15。在搬出搬入单元15的可动范围内配设有用于临时载置晶片w的临时载置单元16和对加工后的晶片w上所附着的加工屑进行清洗的清洗单元17。

在临时载置单元16附近配设有将临时载置在临时载置单元16上的加工前的晶片w搬送至保持工作台12的第1搬送单元18a。另外，在清洗单元17的附近配设有将被保持在保持工作台12上的加工后的晶片w搬送至清洗单元17的第2搬送单元18b。

在装置底座10的y轴方向后部侧具有：第1磨削单元30a，其对保持工作台12所保持的晶片w进行粗磨削；第1磨削进给单元31a，其将第1的磨削单元30a沿z轴方向进行磨削进给；第2磨削单元30b，其对粗磨削后的晶片w进行精磨削；以及第2磨削进给单元31b，其将第2磨削单元30b沿z轴方向进行磨削进给。

在装置底座10的x轴方向后部侧且在第2磨削单元30b与清洗单元17之间具有：研磨单元32，其对保持工作台12所保持的精磨削后的晶片w进行研磨；移动机构，其使研磨单元32沿与保持工作台12的保持面120垂直的方向和水平的方向进行移动；加工室60，其对后述的研磨单元32的研磨垫38和保持工作台12进行收纳；以及本发明的筒状波纹罩2，其将研磨单元32与加工室60之间覆盖。

研磨单元32隔着移动机构而配设在柱19上，该柱19立设在装置底座10的x轴方向端部。研磨单元32具有：图2所示的旋转轴33，其具有z轴方向的轴心；主轴单元34，其将旋转轴33支承为旋转自如；保持架35，其对主轴单元34进行保持；电动机36，其安装在旋转轴33上；研磨轮37，其以装拆自如的方式隔着安装座安装在旋转轴33的前端；以及研磨垫38，其粘接固定于研磨轮37的下表面上。而且，通过利用电动机36使旋转轴33进行旋转，能够使研磨垫38以规定的旋转速度进行旋转。

移动机构具有：升降单元40，其使研磨单元32沿与保持工作台12的保持面120垂直的方向进行移动；以及水平移动单元50，其使研磨单元32沿与保持面120水平的方向进行移动。升降单元40具有：滚珠丝杠41，其沿z轴方向延伸；电动机42，其与滚珠丝杠41的一端连接；一对导轨43，它们与滚珠丝杠41平行地延伸；以及升降板44，其一侧的面与保持架35连结。升降板44的另一侧的面与一对导轨43滑动接触，形成在升降板44的中央的螺母与滚珠丝杠41螺合。电动机42对滚珠丝杠41进行驱动，从而能够使研磨单元32沿着一对导轨43与升降板44一同沿z轴方向进行垂直移动。

水平移动单元50具有：滚珠丝杠51，其配设在柱19的前表面上，沿y轴方向延伸；电动机52，其与滚珠丝杠51的一端连接；一对导轨53，它们与滚珠丝杠51平行地延伸；以及移动板54，研磨单元32隔着升降单元40配设在该移动板54的一侧的面上。移动板54的另一侧的面与一对导轨53滑动接触，形成在移动板54的中央的螺母与滚珠丝杠51螺合。电动机52对滚珠丝杠51进行驱动，从而能够使研磨单元32沿着一对导轨53与移动板54一同沿y轴方向进行水平移动。

如图2所示，加工室60例如形成为长方体的箱状，由上板60a、底板60b和侧板60c围绕而成，具有实施研磨加工的内部空间。在加工室60的上板60a上形成有供旋转轴33贯通并使研磨单元32能够进行水平移动的长圆开口61。长圆开口61的x轴方向的宽度被设定为至少能够供研磨垫38通过的宽度。另外，加工室60具有从长圆开口61立起来的长圆环立设部62。长圆环立设部62例如形成为大致l字形状，在该长圆环立设部62的外侧形成有凹状的槽63。槽63是用于对后述的筒状波纹罩2的筒下端进行安装的安装槽。另外，虽然没有图示，但在加工室60的侧板60c上形成有能够在转台11进行旋转时供保持工作台12局部通过以便不与保持工作台12接触的开口。

2筒状波纹罩

筒状波纹罩2是对向上下左右方向进行动作的驱动机构的动作区域进行覆盖的罩部件。如图2所示，筒状波纹罩2安装在研磨单元32与加工室60之间，能够追随利用移动机构(升降单元40和水平移动单元50)而实现的研磨单元32的垂直移动和水平移动进行变形。筒状波纹罩2具有：圆环状的上环20；圆环状的下环21；筒状波纹布22，其将上下配置的上环20与下环21连结起来；以及加强环23，其在上环20与下环21之间平行地配设有多个，对筒状波纹布22进行加强。

如图3所示，上环20是围绕第1开口24的环状袋，该第1开口24形成在筒状波纹布22的筒上端。第1开口24形成为与主轴单元34的外形相匹配的圆形状。上环20在任意的位置被切断而具有供绳带25a贯穿插入的一对穿绳口20a。绳带25a例如由橡胶绳带构成，其贯穿插入到上环20的内部，绳带25a的端部从一对穿绳口20a突出。在筒状波纹罩2中，在上环20内贯穿插入有绳带25a的状态下的筒状波纹布22的筒上端作为使第1开口24的大小进行扩张和缩小的伸缩部件而发挥功能。

下环21是围绕第2开口26的环状袋，该第2开口26形成在筒状波纹布22的筒下端。第2开口26形成为与加工室60的长圆开口61的形状相匹配的长圆形状。下环21在任意的位置被切断而具有供绳带25b贯穿插入的一对穿绳口21a。绳带25b贯穿插入到下环21的内部，绳带25b的端部从一对穿绳口21a突出。在筒状波纹罩2中，在下环21内贯穿插入有绳带25b的状态下的筒状波纹布22的筒下端作为使第2开口26的大小进行扩张和缩小的伸缩部件而发挥功能。关于本实施方式所示的下环21，示出了其形成为长圆环状的情况，但在加工室的开口为圆形开口的情况下，下环21也与该形状相匹配地形成为圆形状。

在筒状波纹布22的内侧，多个加强环23沿上下方向设置规定的间隔而配设，并折曲成峰谷形状。多个加强环23的直径形成为从筒状波纹布22的上方侧向下方侧阶段性地变大，根据加强环23的直径，筒状波纹布22也从筒上端向筒下端扩大。筒状波纹布22的材质没有特别限定。另外，加强环23的材质也没有特别限定，例如由具有挠性的合成树脂制的线构成。

筒状波纹布22在任意的位置从筒上端向筒下端被切断，并且在该切断部分具有将筒上端与筒下端连接起来的系固件27。系固件27由一对链牙27a、27b和使一对链牙27a、27b相互啮合或者解除该啮合的滑动头27c构成。本实施方式所示的系固件27由拉锁(zipper)式的线状系固件构成，但不限定于该结构，也可以由面状系固件构成。

筒状波纹罩2具有装拆部28，该装拆部28能够使上环20、加强环23和下环21连结成环状，并且能够使连结成环状的上环20、加强环23、下环21断开。本实施方式所示的装拆部28由加强环23的一端部28a和安装于加强环23的另一端部(未图示)的筒状的卡合部28b构成。卡合部28b的内径与加强环23的外径大致相同。由此，通过将一端部28a插入到卡合部28b，能够使上环20、加强环23和下环21连结成环状，通过从卡合部28b拔出一端部28a，能够使形成为环状的上环20、加强环23和下环21断开。在图示的例子中，具有与加强环23的数量对应的多个装拆部28，但不限于该结构。

这里，在将筒状波纹罩2安装在研磨单元32与加工室60之间的情况下，以使筒状波纹罩2的筒上端和筒下端打开的状态将筒状波纹罩2定位在图2所示的研磨单元32的主轴单元34与加工室60的长圆开口61之间。接着，通过例如由作业者的手对上环20进行把持，并且向外侧进行扩张，从而使该第1开口24至少扩张到主轴单元34的直径以上，将主轴单元34的下端定位在扩张后的第1开口24的内侧。通过拉拽上环20侧的绳带25a从而使上环20向内侧收缩而使第1开口24缩小。其结果为，能够将上环20安装于主轴单元34的外侧面上。

另外，通过例如由作业者的手对下环21进行把持，并且向外侧进行扩张，从而使第2开口26至少扩张得比长圆环立设部62大，将长圆环立设部62定位在扩张后的第2开口26的内侧。通过拉拽下环21侧的绳带25b从而使下环21向内侧收缩而使第2开口26缩小。其结果为，能够将下环21安装在长圆环立设部62的周围，即安装于槽63中。

接着，如图4所示，由例如作业者的手对系固件27的滑动头27c进行把持并上拉。此时，一边按照每个加强环23将一端部28a插入卡合部28b一边上拉滑动头27c直至到达筒状波纹布22的筒上端，从而将筒上端与筒下端连接起来，使上环20、加强环23和下环21整体连结成环状。这样，通过将筒状波纹罩2安装在研磨单元32与加工室60之间，从而将主轴单元34的下端侧的周围和加工室60的长圆开口61覆盖。另外，绳带25a、25b可以打结。

另一方面，在将筒状波纹罩2从研磨单元32与加工室60之间拆下的情况下，例如由作业者的手对系固件27的滑动头27c进行把持并下拉。此时，一边按照每个加强环23使一端部28a从卡合部28b拔出一边下拉滑动头27c直至到达筒状波纹布22的筒下端，从而使筒上端与筒下端分开，使整体连结为环状的上环20、加强环23和下环21断开。然后，在松开上环20侧的绳带25a之后，由作业者的手对收缩的上环20进行把持并向外侧扩张，从而使第1开口24至少扩张至主轴单元34的直径以上，从主轴单元34的下端将上环20拆下。另外，在松开下环21侧的绳带25b之后，由作业者的手对收缩的下环21进行把持并向外侧扩张，从而使第2开口26至少扩张得比长圆环立设部62大，将下环21从槽63拆下。

如上所述，本发明的筒状波纹罩2具有：圆环状的上环20；圆环状的下环21；筒状波纹布22，其将上下配置的上环20与下环21连结起来；以及加强环23，其在上环20与下环21之间平行地配设有多个，对筒状波纹布22进行加强，该筒状波纹罩2具有装拆部28，该装拆部28能够使上环20、加强环23和下环21连结成环状，并且能够使连结成环状的上环20、加强环23和下环21断开，筒状波纹布22具有将上端与下端连接起来的系固件27，因此，仅通过利用装拆部28使上环20、加强环23和下环21连结成环状并且将系固件27闭合，就能够将筒状波纹罩2安装在研磨单元32与加工室60之间，仅通过利用装拆部28使连结成环状的上环20、加强环23和下环21断开并且打开系固件，就能够将筒状波纹罩2从研磨单元32与加工室60之间拆下。因此，筒状波纹罩2构造简单并且操作性优异，因此能够容易地在研磨单元32与加工室60之间进行装拆(安装和拆卸)，从而能够缩短筒状波纹罩2的更换作业时间。