基于高配比抛光液的LED用蓝宝石晶片数控抛光方法与流程

文档序号:17438072发布日期:2019-04-17 04:23阅读:148来源:国知局
本发明涉及led用蓝宝石晶片抛光
技术领域
,具体涉及一种基于高配比抛光液的led用蓝宝石晶片数控抛光方法。
背景技术
:蓝宝石α-al2o3单晶体具有优良的光学、力学、热学、介电、耐腐蚀等性能,随着市场竞争的不断加大,如何生产出性能和价格都更合适的产品,才能抢占市场的先机,所以在保证质量的同时,成本优势就尤为重要,为了控制加工成本,需要在原材辅料上进行不断地优选改进,而对于抛光来说,抛光液成本是最高的一项,如何缩减抛光液的使用成本,成为必须攻克的难题;目前,蓝宝石晶片抛光使用的抛光液主要是氧化硅抛光液,购买的都是抛光原液,成本都较高,使用方法也都是采用1(原液):1(水)的体积进行混合配比,但用下来单片抛光成本偏高,随着竞争的加剧,过高的成本很难抢占市场,且采用1:1的体积比混合使用结晶程度较高导致不容易清洗打扫的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供一种基于高配比抛光液的led用蓝宝石晶片抛光方法,解决目前led用蓝宝石晶片抛光的方法使得单片抛光成本偏高以及结晶程度较高导致不容易清洗打扫的问题。为解决上述的技术问题,本发明采用以下技术方案:一种基于高配比抛光液的led用蓝宝石晶片数控抛光方法,包括以下步骤:1)配置高配比抛光液,作为抛光液新料;2)采用循环抛光对蓝宝石晶片表面进行研磨抛光;3)将一次循环研磨抛光产生的剩余抛光液回收处理,作为抛光液旧料;4)在下次循环研磨抛光过程中,根据抛光液新料的挥发量添加抛光液旧料进行补液;进一步的,所述高配比抛光液包括有抛光原液和水;所述高配比抛光液由抛光原液和水按照1:n的体积比均匀混合后得到;n的取值范围为1-3;进一步的,所述抛光原液的粒径范围为80nm-126nm;所述抛光原液中的颗粒物质均为多棱角结构;进一步的,所述对剩余抛光液回收处理的方法为过滤;通过过滤除掉研磨抛光产生的蓝宝石晶片颗粒;进一步的,循环抛光开始时采用初始抛光液;所述初始抛光液为抛光液新料混合等体积的抛光液旧料或全部采用抛光液新料;进一步的,所述初始抛光液采用抛光新料混合等体积的抛光液旧料时,循环抛光中途根据挥发程度添加抛光液新料进行补充;进一步的,所述初始抛光液全部采用抛光液新料时,循环抛光中途根据挥发程度添加抛光旧料进行补充;更进一步的技术方案是所述循环抛光的抛光压力为245g/cm2,抛光温度为60℃,下盘转速为55rpm。与现有技术相比,本发明的有益效果是至少是如下之一:1、通过提高抛光液配比,由原来的1:1依次提高到1:1.2;1:1.5;1:2等多个配比,最终评估了加工后质量数据,在质量得到保证的同时,尽可能增大配比,同样的一桶原液,通过增加配比,有效提升了抛光数量,降低了单片成本;2、在抛光过程中使用高配比抛光液,同时配合使用回收处理的循环结束后的剩余抛光液,能够进一步降低成本,提高抛光原液的利用效率,同时减小结晶程度;3、通过不同配比的抛光原液和不同的加液方法,蓝宝石晶片的抛光成本降低效果如下表所示,抛光液配比加液方法抛光参数磨削效率抛光时间产量提升原料成本效益1:1起始:1:1旧料和新料中途:80%新料补液na5um/h3h比较基准比较基准1:n(n∈[1,3])起始:100%新料中途:旧料视消耗补液根据需要在初始条件压力、转速上做配合5um/h2.5h17%节省(1-2/(1+n))%,n>1使用高配比的抛光液,产量提升了17%,而成本降低了1-2/(1+n))%,n>1。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。实施例1:一种基于高配比抛光液的led用蓝宝石晶片数控抛光方法,包括以下步骤:1)配置高配比抛光液,作为抛光液新料;2)采用循环抛光对蓝宝石晶片表面进行研磨抛光;3)将一次循环研磨抛光产生的剩余抛光液回收处理,作为抛光液旧料;4)在下次循环研磨抛光过程中,根据抛光液新料的挥发量添加抛光液旧料进行补液;通过提高抛光液配比,由原来的1:1依次提高到1:1.2;1:1.5;1:2等多个配比,最终评估了加工后质量数据,在质量得到保证的同时,尽可能增大配比,同样的一桶原液,通过增加配比,有效提升了抛光数量,降低了单片成本;在抛光过程中使用高配比抛光液,同时配合使用回收处理的循环结束后的剩余抛光液,能够进一步降低成本,提高抛光原液的利用效率,同时减小结晶程度;实施例2:所述高配比抛光液包括有抛光原液和水;所述高配比抛光液由抛光原液和水按照1:n的体积比均匀混合后得到;n的取值范围为1-3;通过不同的抛光原液,蓝宝石晶片的抛光成本降低了1-2/(1+n))%,n>1。实施例3:所述抛光原液的粒径范围为90nm-126nm;所述抛光原液中的颗粒物质均为多棱角结构;通常采用的抛光原液的平均粒径为90nm;通过改善抛光原液中的颗粒物质,使得抛光原液的粒径范围增加到90m-126nm,提高抛光的磨削效率,抛光原液中的颗粒物质为原来的单边形改善为多棱角形状,提高抛光的磨削效率。实施例4:所述对剩余抛光液回收处理的方法为过滤;通过过滤除掉研磨抛光产生的蓝宝石晶片颗粒;将剩余抛光液回收后进行过滤处理,将剩余抛光液中的研磨下的蓝宝石晶片表面颗粒过滤掉,避免影响后续的使用。实施例5:循环抛光开始时采用初始抛光液;所述初始抛光液为抛光液新料混合等体积的抛光液旧料或全部采用抛光液新料。实施例6:所述初始抛光液采用抛光新料混合等体积的抛光液旧料时,循环抛光中途根据挥发程度添加抛光液新料进行补充;实施例7:所述初始抛光液全部采用抛光液新料时,循环抛光中途根据挥发程度添加抛光旧料进行补充。实施例8:所述循环抛光的抛光压力为245g/cm2,抛光温度为60℃,下盘转速为55rpm;根据抛光液的调整,将循环抛光的压力和温度以及转速均进行了调整增加,有效提高了研磨抛光效率。尽管这里参照本发明的多个解释性实施例对本发明进行了描述,但是,应该理解,本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式,这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说,在本申请公开和权利要求的范围内,可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变形和改进外,对于本领域技术人员来说,其他的用途也将是明显的。当前第1页12
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1