1.一种在金属钽表面制备氧化膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,对金属钽基体进行抛光前处理;
步骤2,把气氛炉1温度由5-10℃/min的升温速度升至第一氧化温度t1,通入氧气,氧气压力保持正压,将金属钽基体置于气氛炉内,当时间达到第一氧化时间t1时,完成第一步氧化;
步骤3,把气氛炉内温度由5-10℃/min的升温速度升至第二氧化温度t2,当温度到达预设温度时,开始计时,当时间达到第二氧化时间t2后,关闭炉体加热,随炉冷却至100℃后,关闭氧气,取出试样,自然冷却至室温,完成氧化处理。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤1中的抛光前处理为用60~240号砂纸进行磨光、抛光和研磨处理。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属钽基体为不规则形状基体。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述金属钽基体为钽坩埚。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤2中将所述金属钽基体置于所述气氛炉内的底座支架上。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤2中的第一氧化温度t1为200~400℃,第一氧化时间t1为30min~1h。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤3中的第二氧化温度t2为400~600℃,第二氧化时间t2为30min~1h。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤3中的第二氧化温度t2比述步骤2中的第一氧化温度t1高200~400℃。
9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤2中的氧气压力为0.2-0.4mpa。
10.如权利要求1-9中任一项所述方法在提高所述金属钽基体耐腐蚀性中的应用。
11.如权利要求10所述的应用,其特征在于,所述氧化膜的厚度为10-20微米。