一种磁控溅射系统的旋转阴极的制作方法

本发明涉及一种磁控溅射系统的旋转阴极。

背景技术：

旋转靶材的磁控溅射被广泛地用于在基片上制作各种不同的薄膜。在磁控溅射中，待溅射的材料以圆柱形的形状形成或被粘附到由刚性材料制成的圆柱形支撑管的外表面。磁控管总成被安置在管内并供应磁通量，磁通量穿过靶材，使得在靶材的外表面存在大量磁通量。

磁场以一种方式设计，使磁场保留从靶材发射的电子，如增大电子与工作气体电离碰撞的概率，从而增强溅射过程的效率。

旋转阴极在旋转时为了保证供电，往往需要保证供电端在旋转过程中始终能与旋转部分保证良好的接触。但现有的结构往往不太稳定，容易脱落。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决以上现有技术的不足，提出了一种磁控溅射系统的旋转阴极。

一种磁控溅射系统的旋转阴极，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体，所述的铜导体通过四个呈圆周均匀分布的支撑柱与底架相连，所述支撑柱的外壁上均套设有压紧弹簧，所述压紧弹簧的一端与底架相连，另一端抵接在铜导体的下表面上；所述的从动轮通过皮带与电机的输出轴相连，所述的主支撑管的外壁通过上、下连接轴承与外套管的内壁相连；所述管状靶的尾部与主支撑管的头部相连。

优选地，所述管状靶的尾部通过骨架油封与主支撑管的头部相连。

优选地，所述的外套管与电机支撑板相连。

优选地，所述管状靶的头部还设有自由端。

优选地，所述的管状靶上设有若干个磁铁，所述的磁铁呈山字形阵列分布。

有益效果：

本装置采用四根呈圆周均匀分布的支撑柱，并在支撑柱上套设有压紧弹簧，通过四个压紧弹簧，可以将铜导体紧紧的贴在下骨架密封上，从而保证电流传递的稳定可靠，与传统的压紧方式相比，本装置能提供更为稳定的压紧力，从而保证装置的稳定可靠。进过一定时间的实验，本装置在长时间使用后，也不会出现支承不良、晃动以及贴合面不平齐的情况。

附图说明

图1是一种磁控溅射系统的旋转阴极的总体结构示意图；

图2是驱动装置的内部结构示意图；

图3是主支撑管的连接结构示意图；

图4是主支撑管的结构示意图；

图5是主支撑管的剖面图；

图6是图5中a部分的放大图；

图7是外套管的安装示意图；

1.管状靶2.电机3.驱动装置31.主支撑管32.上骨架密封33.下骨架密封34.从动轮35.压紧弹簧36.铜导体37.底架38.散热鳍片39.外套管。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

如图1-7所示，一种磁控溅射系统的旋转阴极，包括驱动装置3和管状靶1；所述的驱动装置3包括主支撑管31、外套管39和底架37；所述的主支撑管31上依次套设有上骨架密封32、上连接轴承、从动轮34、下连接轴承、下骨架密封33和呈法兰状的铜导体36，所述的铜导体36通过四个呈圆周均匀分布的支撑柱与底架37相连，所述支撑柱的外壁上均套设有压紧弹簧35，所述压紧弹簧35的一端与底架37相连，另一端抵接在铜导体36的下表面上；所述的从动轮34通过皮带与电机2的输出轴相连，所述的主支撑管31的外壁通过上、下连接轴承与外套管39的内壁相连；所述的外套管39与电机2支撑板相连。

所述管状靶1的尾部通过骨架油封与主支撑管31的头部相连，所述管状靶1的头部还设有自由端。管状靶1上设有若干个磁铁，所述的磁铁呈山字形阵列分布。

所述的主支撑管31的末端设有散热鳍片38，所述的散热鳍片38呈圆环状设于主支撑管31的末端；散热鳍片38的头部与主支撑管31平齐，尾部向内伸入2-5mm深。

使用方式：

电机2通过皮带带动从动轮34旋转，同时从动轮34依次带动主支撑管31、管状靶1旋转，在旋转时，通过铜导体36给旋转部分供电，并通过上、下连接轴承与外套管39的内壁相连，在旋转部分旋转时，为了防止铜导体36脱离旋转部分，通过四个呈圆周分布的压紧弹簧35将铜导体36紧贴在下骨架密封33上。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种磁控溅射系统的旋转阴极，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体，本装置采用四根呈圆周均匀分布的支撑柱，并在支撑柱上套设有压紧弹簧，通过四个压紧弹簧，可以将铜导体紧紧的贴在下骨架密封上，从而保证电流传递的稳定可靠，与传统的压紧方式相比，本装置能提供更为稳定的压紧力，从而保证装置的稳定可靠。进过一定时间的实验，本装置在长时间使用后，也不会出现支承不良、晃动以及贴合面不平齐的情况。

技术研发人员：匡国庆
受保护的技术使用者：镇江市德利克真空设备科技有限公司
技术研发日：2019.07.17
技术公布日：2019.09.24