一种精密双面研磨机的外齿抬升装置的制作方法

本实用新型关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。

背景技术：

硅片是制作晶体管和集成电路的原料。硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在加工硅片的机器中，精密研磨机作为研磨硅片的机器之一，必不可少。研磨机原理为被磨材料放于研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，游星片带动工件自转，重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨目的。而游星片就被放置在齿圈与太阳轮之间，所以齿圈的抬升动作是必不可少的。以往的研磨机设备不具有这一外齿抬升装置，所以没办法对齿圈进行位置的调整，在游星片的安装和取下的时候非常的不方便，对于修正轮的安装和取下也是不方便。所以开发一种能有效调整外齿的装置，方便游星片与修正轮换取的结构非常有必要。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。

减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连。

丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑地板上，并与丝杆底端相连，抬升板与螺母相连，齿圈套设于抬升板上。齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。

作为一种改进，支撑底板上还设有支架，支架外缘设有多个外延端，丝杆通过轴承与外延段相连。

作为一种改进，链轮组件包括通过链条传动的多个传动链轮、张紧链轮和主动链轮。主动链轮与减速电机输出轴相连，传动链轮通过键与卡簧与丝杆相连。

作为一种改进，多组丝杆螺母组件的安装要有良好的一致性，及螺母在丝杆上的旋动要保持一致(同上或同下)，此目的在于保持外齿抬升装置的受力的均匀性与装置的稳定性。

作为一种改进，齿圈套、齿圈支架和齿圈间均通过螺钉相连。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：

提供了一种全新的齿圈抬升的装置，在以往没有这一装置的前提下，从不方便的安装、取下游星片，到现在可以实现先将齿圈下降，然后方便的将游星片取出或安装。提高了效率，同时节省人力。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的中的各链轮位置关系的俯视剖切图。

图3为本实用新型的中其中一个单个丝杆螺母组件与支架连接的原理图。

附图标记：1-齿圈、2-齿圈支架、3-齿圈套、4-抬升板、5-丝杆螺母组件、6-支架、7-支撑底板、8-链轮组件、9-减速电机、11、13、15、17-张紧链轮。12、14、16-传动链轮。18-驱动链轮。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本实用新型。在阅读了本实用新型之后，其他技术人员对本发明的各种等价形式的修改均属于

本技术：
所附权利要求所限定的范围。

一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，包括减速电机9、链轮组件8、丝杆螺母组件5和抬升板4。

减速电机9固设于支撑底板7上，减速电机9输出轴与链轮组件8相连。

丝杆螺母组件有三组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板7上，螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑底板上，并与丝杆底端相连，抬升板4与螺母相连，齿圈套3设于抬升板4上。齿圈1通过齿圈支架2固设于齿圈套3内。齿圈套3、齿圈支架2和齿圈1间均通过螺钉相连。

支撑底板7上还设有支架6，支架6外缘设有三个外延端，丝杆通过轴承与外延段相连。

链轮组件8包括通过链条传动的传动链轮有三个、张紧链轮有四个、主动链轮一个。传动链轮，传动链轮通过键与卡簧与丝杆相连。主动链轮与减速电机9输出轴相连，驱动整个链轮系统运动。

本实用新型的运动原理为：

首先，支架6与丝杆螺母组件5直接相连，由螺钉连接；螺母与抬升板4用螺钉连接，这样，螺母的运动就是抬升板4的运动。其次，丝杆螺母组件5与支架6之间用轴承连接，依靠轴承为丝杆提供支撑。丝杆与轴承间用隔套隔开。在丝杆螺母组件5底部有传动链轮，传动链轮与丝杆之间依靠键连接，并在丝杆轴底端装有卡簧，用来将传动链轮固定。由传动链轮传递的力带动丝杆轴的转动，由支架6的支撑，转变为丝杆螺母的上下旋动，从而是螺母上下运动，最后实现抬升板4至齿圈1的运动。

最后需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，其特征在于，包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板；

所述减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连；

所述丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上；链轮组件设于支撑底板上，并与丝杆底端相连，抬升板与所述螺母相连，齿圈套设于抬升板上；齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑底板上还设有支架，支架外缘设有多个外延端，丝杆通过轴承与外延段相连。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述链轮组件包括通过链条传动的多个传动链轮、张紧链轮和主动链轮；主动链轮与减速电机输出轴相连，传动链轮通过键与卡簧与丝杆相连。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述齿圈套、齿圈支架和齿圈间均通过螺钉相连。

技术总结
本实用新型关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连。丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑地板上，并与丝杆底端相连，抬升板与螺母相连，齿圈套设于抬升板上。齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。本实用新型可以实现先将齿圈下降，然后方便的将游星片取出或安装。提高了效率，同时节省人力。

技术研发人员：朱亮;卢嘉彬;严浩;杨依凡;周锋;刘文涛;曹建伟;傅林坚
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2019.06.28
技术公布日：2020.04.17