一种玻璃镀膜装置的气体分布装置的制作方法

本实用新型属于玻璃镀膜装置技术领域，具体涉及一种玻璃镀膜装置的气体分布装置。

背景技术：

进行镀膜一般是利用液体或气体为媒介，利用气体为媒介时，可将气体电离成等离子体后，进一步的沉积在待镀物上。多晶硅太阳能电池利用等离子增强化学气相沉积(pecvd)技术，在硅片基板上连续镀氮化硅减反射膜而广泛应用于大规模生产。为了保证整个基板区域内沉积的氮化硅膜的均匀性和一致性，pecvd系统中需要安装气体分布装置以保证整个反应区域内的气流均匀分布。

现有的气体分布装置，在对气体流量进行调节时，通常在进气管处安装阀门进而对气体流量进行控制，在调节时易造成内部气体供压不足造成气体无法均匀分布的情况发生。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种玻璃镀膜装置的气体分布装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种玻璃镀膜装置的气体分布装置，包括气体分布盒、调节杆、进气管和顶紧装置，所述气体分布盒内部挖设有四组调节腔，所述调节腔的内部转动设置有调节杆，所述调节腔的内侧边上对称钻设有若干组导气腔，同一侧边若干组所述导气腔连通，所述调节腔内设置有若干组顶紧装置，所述调节杆内部挖设有供气槽，所述调节杆的两平行侧边上均匀设置有若干组第一调节孔、第二调节孔和第三调节孔，所述第一调节孔、第二调节孔和第三调节孔均能与导气腔连通，所述调节杆的一端伸出气体分布盒，且伸出一端设置有进气管，所述气体分布盒底部等距设置有八组布气通道，所述布气通道从左到右依次均匀设置有若干组第一出气孔、第二出气孔和第三出气孔，同一组所述布气通道内的第一出气孔、第二出气孔和第三出气孔与同一侧的导气腔连通，所述气体分布盒处内自上而下依次插接有第三调节板、第二调节板和第一调节板。

优选的，所述第一调节孔、第二调节孔和第三调节孔均与供气槽连通，所述第一调节孔、第二调节孔和第三调节孔均等距设置，且两组第一调节孔之间的间距小于两组第二调节孔之间的间距，两组第二调节孔之间的间距小于两组第三调节孔之间的间距。

优选的，所述第三调节板、第二调节板和第一调节板上均等距固定有八组插接板，所述插接板上均设置有通气孔，所述第一调节板上插接板上的两组通气孔之间的间距小于第二调节板上插接板上的两组通气孔，所述第二调节板上插接板上的两组通气孔之间的间距小于第三调节板上插接板上的两组通气孔。

优选的，所述顶紧装置包括顶珠、顶板、顶杆、顶紧弹簧和套设板，所述调节腔的内侧壁上挖设有滑动槽，所述滑动槽内滑动设置有顶板，所述顶板靠近调节杆的一侧固定有顶珠，所述顶板的另一侧固定有顶杆，所述顶杆的中段处固定有套设板。

优选的，所述气体分布盒内部设置有供套设板滑动的滑动腔，所述滑动腔的内部设置有顶紧弹簧，且所述顶紧弹簧的一侧顶在套设板远离顶板的一侧。

本实用新型的技术效果和优点：该玻璃镀膜装置的气体分布装置，通过设置的调节杆，调节杆上不同数量的第一调节孔、第二调节孔和第三调节孔以及一端设置在调节杆内的进气管之间的配合，可以在需要时转动调节杆，进而使不同数量的调节孔与导气腔连通，进而避免在气体流量调节时直接通过阀门对进气管进行调节造成气体供压不足的情况发生，通过设置的顶紧装置，顶紧装置中的顶珠、顶板、顶杆、顶紧弹簧和套设板，可以在调节孔与导气腔错开时顶住调节孔，通过设置的第一调节板、第二调节板和第三调节板以及其上的插接板之间的配合，可以实现不同密度的补气，进而满足生产需求。该玻璃镀膜装置的气体分布装置，设计合理，能对气体进行不同密度的调节，同时可以保证在调节供气的同时保证气体压力充足，适合推广使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的仰视图图；

图3为本实用新型剖视图；

图4为本实用新型图3中a出的放大图；

图5为本实用新型调节杆的结构示意图；

图6为本实用新型第一调节板的俯视图。

图中：1气体分布盒、2调节杆、21第一调节孔、22第二调节孔、23第三调节孔、24导气腔、3进气管、4第一调节板、5第二调节板、6第三调节板、7插接板、8第一出气孔、9第二出气孔、10第三出气孔、11顶紧装置、12顶珠、13顶板、14顶杆、15顶紧弹簧、16套设板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-6所示的一种玻璃镀膜装置的气体分布装置，包括气体分布盒1、调节杆2、进气管3和顶紧装置11，所述气体分布盒1内部挖设有四组调节腔，所述调节腔的内部转动设置有调节杆2，所述调节杆2固定进气管3的一端对称固定有两组方便调节杆2转动的转动柱，所述调节腔的内侧边上对称钻设有若干组导气腔24，同一侧边若干组所述导气腔24连通，所述调节腔内设置有若干组顶紧装置11，所述调节杆2内部挖设有供气槽，所述调节杆2的两平行侧边上均匀设置有若干组第一调节孔21、第二调节孔22和第三调节孔23，所述第一调节孔21、第二调节孔22和第三调节孔23在同一水平面上设置有不同数量（如图5所示），所述第一调节孔21、第二调节孔22和第三调节孔23均能与导气腔24连通，所述调节杆2的一端伸出气体分布盒1，且伸出一端设置有进气管3，所述气体分布盒1底部等距设置有八组布气通道，所述布气通道从左到右依次均匀设置有若干组第一出气孔8、第二出气孔9和第三出气孔10（如图2所示），同一组所述布气通道内的第一出气孔8、第二出气孔9和第三出气孔10与同一侧的导气腔24连通，所述气体分布盒1处内自上而下依次插接有第三调节板6、第二调节板5和第一调节板4，初始状态时，所述第一调节板4、第二调节板5和第三调节板6均呈插接状态，所述调节杆2的第一调节孔21与导气腔24连通。

具体的，所述第一调节孔21、第二调节孔22和第三调节孔23均与供气槽连通，所述第一调节孔21、第二调节孔22和第三调节孔23均等距设置，且两组第一调节孔21之间的间距小于两组第二调节孔22之间的间距，两组第二调节孔22之间的间距小于两组第三调节孔23之间的间距。

具体的，所述第三调节板6、第二调节板5和第一调节板4上均等距固定有八组插接板7，所述插接板7上均设置有通气孔，所述第一调节板4上插接板7上的两组通气孔之间的间距小于第二调节板5上插接板7上的两组通气孔，所述第二调节板5上插接板7上的两组通气孔之间的间距小于第三调节板6上插接板7上的两组通气孔，所述插接板7的一端固定有限位块，所述限位块可以防止插接板7被完全拉出，所述第一调节板4、第二调节板5和第三调节板6的设置可以对装置进行不同补气密度的调节，所述第一调节板4、第二调节板5和第三调节板6的一侧中段处固定有拉杆。

具体的，所述顶紧装置11包括顶珠12、顶板13、顶杆14、顶紧弹簧15和套设板16（如图3和图4所示），所述顶紧装置11可以顶住调节孔，所述调节腔的内侧壁上挖设有滑动槽，所述滑动槽内滑动设置有顶板13，所述顶板13靠近调节杆2的一侧固定有顶珠12，所述顶板13的另一侧固定有顶杆14，所述顶杆14的中段处固定有套设板16。

具体的，所述气体分布盒1内部设置有供套设板16滑动的滑动腔，所述滑动腔的内部设置有顶紧弹簧15，且所述顶紧弹簧15的一侧顶在套设板16远离顶板13的一侧。

具体的，该玻璃镀膜装置的气体分布装置，工作时，当需要对供气大小进行调整时，正转调节杆2，调节杆2转动时带动第一调节孔21离开导气腔24，同时在调节杆2转动时顶珠12顶出二调节孔22和第三调节孔23，在顶珠12顶出时套设板压缩顶紧弹簧15，转动调节杆2使第三调节孔23与导气腔24连通，此时顶紧弹簧15推动套设板16，进而使顶珠12分别顶在第一调节孔21和第二调节孔22上，进而对供气量进行低等调节，反转调节杆2，进而使第二调节孔22与导气腔24连通，进而对供气量进行中等调节，当需要对补气密度进行调节时，拉动不同的调节板，进而使气体通过不同的出气孔排出，进而对不同的补气密度进行调节，工作完毕后将装置恢复原位。该玻璃镀膜装置的气体分布装置，设计合理，能对气体进行不同密度的调节，同时可以保证在调节供气的同时保证气体压力充足，适合推广使用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。