一种高性能的光学用真空腔体的制作方法

本实用新型涉及光学用真空腔体技术领域，具体为一种高性能的光学用真空腔体。

背景技术：

真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，因为它是关系到oled的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

1、现有的光学用真空腔体在镀膜之前的加热过程中，在未达到蒸发物的蒸发温度时就会有蒸发源将杂质蒸发掉，而且蒸发物在加热过程中还会产生一些气体，而这些杂质和气体扩散会造成薄膜厚度不均、性能不稳和附着不牢固的问题，影响镀膜质量；

2、现有的光学用真空腔体使用的夹具在带动待镀膜样品旋转时，由于旋转不够平稳，导致镀膜的均匀度受到影响。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高性能的光学用真空腔体，解决了现有的光学用真空腔体在加热时会影响镀膜质量的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高性能的光学用真空腔体，包括腔体本体、电机、旋转轴、夹具、稳定装置、合页、挡盖和开盖装置，所述电机安装在腔体本体的上端，所述旋转轴安装载电机的下端，所述夹具安装在旋转轴的下端，所述稳定装置安装在夹具和腔体本体之间，所述合页安装在腔体本体内部的两侧，所述挡盖安装在合页的一侧，所述开盖装置安装在挡盖的下方。

所述开盖装置包括记忆弹簧，所述记忆弹簧的上端固定安装有插销，所述插销的上端设置有第一推杆，所述第一推杆的一端套设有液压管，所述第一推杆和液压管之间固定安装有弹簧，所述液压管的上端活动安装有第二推杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述稳定装置包括支杆，所述支杆的上端套设有活塞壳，所述活塞壳的内部固定安装有橡胶垫，所述活塞壳的上端固定安装有滚轮，所述腔体本体内部的上端开设有滑轨。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述腔体本体内部的底端固定安装有凹槽，所述凹槽的内表面包覆有隔热层，所述凹槽的内部固定安装有蒸发源。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一推杆外表面的下端开设有插槽，所述插销的形状大小与插槽之间相适配。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压管与腔体本体之间固定连接，所述第二推杆位于挡盖的下方。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述记忆弹簧采用变态温度为80℃的niti记忆合金材料。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种高性能的光学用真空腔体，具备以下有益效果：

1、该高性能的光学用真空腔体，通过设置开盖装置，在对塑料进行镀膜时，一般塑料镀膜的温度在80℃左右，当温度达到80℃时，记忆弹簧受温度影响收缩，从而带动插销向下缩回，使第一推杆失去固定，弹簧释放弹力带动第一推杆向液压管内部推进，在液力作用下推动第二推杆向上运动，从而将挡盖顶起，使达到蒸发物温度后才对待镀膜样品进行蒸镀，提高了镀膜质量，使镀膜不会出现薄膜不均、性能不稳和附着不牢固的缺点。

2、该高性能的光学用真空腔体，通过设置稳定装置，电机带动旋转轴使夹具转动，夹具在转动过程中，产生的震动通过支杆在活塞壳内部运动，使支杆对橡胶垫产生挤压，橡胶垫对震动力进行吸收，使滚轮能够配合夹具旋转的更加稳定，旋转过程更加平稳，从而提高了镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的图1中a处放大结构示意图；

图3为本实用新型的图1中b处放大结构示意图；

图4为本实用新型的夹具仰视结构示意图。

图中：1、腔体本体；2、电机；3、旋转轴；4、夹具；5、稳定装置；501、支杆；502、活塞壳；503、橡胶垫；504、滚轮；505、滑轨；6、合页；7、挡盖；8、开盖装置；801、记忆弹簧；802、插销；803、第一推杆；804、液压管；805、弹簧；806、第二推杆；9、凹槽；10、隔热层；11、蒸发源。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：一种高性能的光学用真空腔体，包括腔体本体1、电机2、旋转轴3、夹具4、稳定装置5、合页6、挡盖7和开盖装置8，电机2安装在腔体本体1的上端，旋转轴3安装载电机2的下端，夹具4安装在旋转轴3的下端，稳定装置5安装在夹具4和腔体本体1之间，合页6安装在腔体本体1内部的两侧，挡盖7安装在合页6的一侧，开盖装置8安装在挡盖7的下方。

开盖装置8包括记忆弹簧801，记忆弹簧801的上端固定安装有插销802，插销802的上端设置有第一推杆803，第一推杆803的一端套设有液压管804，第一推杆803和液压管804之间固定安装有弹簧805，液压管804的上端活动安装有第二推杆806。

本实施方案中，在对塑料进行镀膜时，一般塑料镀膜的温度在80℃左右，当温度达到80℃时，记忆弹簧801受温度影响收缩，从而带动插销802向下缩回，使第一推杆803失去固定，弹簧805释放弹力带动第一推杆803向液压管804内部推进，在液力作用下推动第二推杆806向上运动，从而将挡盖7顶起，使蒸发物达到稳定后才对待镀膜样品进行蒸镀，提高了镀膜质量，使镀膜不会出现薄膜不均、性能不稳和附着不牢固的缺点。

具体的，稳定装置5包括支杆501，支杆501的上端套设有活塞壳502，活塞壳502的内部固定安装有橡胶垫503，活塞壳502的上端固定安装有滚轮504，腔体本体1内部的上端开设有滑轨505。

本实施方案中，电机2带动旋转轴3使夹具4转动，夹具4在转动过程中，产生的震动通过支杆501在活塞壳502内部运动，使支杆501对橡胶垫503产生挤压，橡胶垫503对震动力进行吸收，使滚轮504能够配合夹具4旋转的更加稳定，旋转过程更加平稳，从而提高了镀膜质量。

具体的，腔体本体1内部的底端固定安装有凹槽9，凹槽9的内表面包覆有隔热层10，凹槽9的内部固定安装有蒸发源11。

本实施例中，蒸发源11用来加热，隔热层10使挡盖7打开后集中供热蒸镀，降低电力消耗。

具体的，第一推杆803外表面的下端开设有插槽，插销802的形状大小与插槽之间相适配。

本实施例中，使插销802与第一推杆803分离后能够使第一推杆803失去固定，起到对第一推杆803固定的作用。

具体的，液压管804与腔体本体1之间固定连接，第二推杆806位于挡盖7的下方。

本实施例中，使第二推杆806在液力作用下能够推动挡盖7打开，从而使达到蒸发物温度后才对待镀膜样品进行蒸镀。

具体的，记忆弹簧801采用变态温度为80℃的niti记忆合金材料。

本实施例中，当加热温度达到80℃时，记忆弹簧801受温度影响收缩，根据镀膜材料的加热温度可将记忆弹簧801进行替换，替换成相对应变态温度的记忆弹簧801即可。

本实用新型的工作原理及使用流程：在对塑料进行镀膜时，一般塑料镀膜的温度在80℃左右，当温度达到80℃时，记忆弹簧801受温度影响收缩，从而带动插销802向下缩回，使第一推杆803失去固定，弹簧805释放弹力带动第一推杆803向液压管804内部推进，在液力作用下推动第二推杆806向上运动，从而将挡盖7顶起，使达到蒸发物温度后才对待镀膜样品进行蒸镀，根据镀膜材料的加热温度可将记忆弹簧801进行替换，替换成相对应变态温度的记忆弹簧801即可，电机2带动旋转轴3使夹具4转动，夹具4在转动过程中，产生的震动通过支杆501在活塞壳502内部运动，使支杆501对橡胶垫503产生挤压，橡胶垫503对震动力进行吸收，使滚轮504能够配合夹具4旋转的更加稳定。

需要说明的是，在本文中，第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序，而且术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。