大型磁控溅射镀膜机的真空室结构的制作方法

本实用新型涉及一种大型磁控溅射镀膜机。

背景技术：

一些特殊形状的、大型的制件表面需要做各种功能的镀膜处理，比如大型汽车或特种车辆的风挡玻璃、特大的异形建筑玻璃制件、飞机的机舱罩等，既要解决光学之高透射、防辐射、节能问题，又要解决材料表面电导率、硬度、耐磨损、隐身等问题，需要设计一种大型的磁控溅射镀膜机，以满足这类特殊产品的镀膜需求。此大型镀膜机真空室的组合结构要满足真空室每个部分的抗压强度，满足高真空密封的要求，还要满足取放工件的大开度要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供一种既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求的大型磁控溅射镀膜机真空室结构。

本实用新型采用的技术方案如下：大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰ⅰ，法兰ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰ⅰ对接的法兰ⅱ。

进一步地，所述真空室体中间焊接双道环形加强筋。

进一步地，所述移动门架呈倒“t”型。

进一步地，所述封头门为蝶形封头。

进一步地，在封头门的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座，固定座通过螺栓固定在移动门架上。

进一步地，所述脚轮为双脚轮。

本实用新型的有益效果如下：

（1）本实用新型的真空室体为薄壁圆柱状，两端焊接法兰，密封面加工在法兰外端面，端部法兰可加强端部抗压强度，中间双道环形加强筋可加强真空室中部抗压强度，这种结构既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、美观；

（2）封头门的边缘焊接法兰，封头门抗压强度好，封头门采用蝶形封头件，在蝶形封头的大弧形段与小弧形段交接处焊接连接固定座，变形量小，稳定性好；

（3）真空室体为固定安装主体，封头门固定在移动门架上，移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，实现两端的真空室门的开关，以配合生产取放工件或维修的需要；

（4）移动门架采用倒“t”型结构，结构支撑稳定性好，底部脚轮采用双轮设计，跨越道轨沟槽时可避免震动或停滞；

（5）封头门由固定座用螺栓固定在移动门架上，可调节封头门和移动门架的相对位置，以达到封头门法兰和真空室体法兰配合平行、对齐。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的封头门的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1、图2所示，本实施例的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体1，所述真空室体1为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰ⅰ，法兰ⅰ外端面为密封面，真空室体1中间焊接有双道环形加强筋6。所述真空室体1置于固定支座上，在真空室体1两端各设有一蝶形封头2，蝶形封头的边缘焊接有与法兰ⅰ对接的法兰ⅱ。在蝶形封头2的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座7，固定座7通过螺栓固定在移动门架3上，移动门架3呈倒“t”型，在移动门架3底部设有双脚轮4，双脚轮4置于道轨5上，移动门架3由电机驱动在道轨5上平行移动。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本实用新型所属领域的技术人员将会想到本实用新型的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本实用新型不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。

技术特征：

1.大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，其特征在于：所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰ⅰ，法兰ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰ⅰ对接的法兰ⅱ。

2.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述真空室体中间焊接有双道环形加强筋。

3.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述移动门架呈倒“t”型。

4.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述封头门为蝶形封头。

5.如权利要求4所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：在封头门的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座，固定座通过螺栓固定在移动门架上。

6.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述脚轮为双脚轮。

技术总结
本实用新型公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本实用新型的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。

技术研发人员：刘国利;周毅;李国强
受保护的技术使用者：湖南玉丰真空科学技术有限公司
技术研发日：2019.10.20
技术公布日：2020.08.07