一种真空磁控溅射镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空磁控溅射镀膜设备。

背景技术：

磁控溅射的工作原理是指电子在电场e的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。

传统的磁控溅射镀膜设备在需要进行维修和保养时，需要对罐体进行运输和拆卸，当进行搬运时，通常是将罐体进行拆卸之后，因为没有罐体的底部没有辅助搬运的轮子，使得需要通过大型设备进行辅助搬运，这样不仅耗费大量的搬运成本，同时也提高了搬运的时间，实用性不高，不便于后期的维修和保养。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空磁控溅射镀膜设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种真空磁控溅射镀膜设备，包括罐体，所述罐体的底部固定安装有移动结构，所述罐体的外表面一侧固定安装有固定结构，所述罐体的外表面固定安装有压力表，所述罐体的外表面另一侧固定安装有卡线块，所述罐体的顶部电性连接有电线，所述罐体的底部固定安装有指示灯，所述电线与指示灯电线连接，所述卡线块与电线相互卡接。

优选的，所述移动结构包括安装板，所述罐体的底部固定安装有安装板，所述安装板的外表面焊接有套块，所述套块的外表面一侧固定安装有转轴，所述套块通过转轴转动连接有支轮。

优选的，所述套块的内部滑动连接有支撑杆，所述支撑杆和套块的外表面开设有限位孔，所述套块的外表面位于限位孔的内壁插设有限位销。

优选的，所述支撑杆远离套块的一端固定安装有槽板，所述槽板的内壁滑动连接有安装块，所述安装块的内部转动连接有移动轮，所述安装块与槽板相对的一面固定安装有拉伸弹簧，所述安装块的外表面插设有定位销，所述槽板的外表面开设有定位孔，所述槽板的底部固定安装有垫板。

优选的，所述固定结构包括螺纹杆，所述罐体的外表面固定安装有限位块，限位块的内部转动连接有螺纹杆，所述罐体的外表面开设有矩形槽，所述矩形槽的内壁两侧分别滑动连接有一号滑块和二号滑块，所述二号滑块的外表面固定安装有螺母块，所述螺母块的内壁与螺纹杆的外表面螺纹连接。

优选的，所述一号滑块和二号滑块相背的一面与矩形槽的内壁之间固定安装有弹力弹簧，所述一号滑块和二号滑块相对的一面均固定安装有插销。

有益效果

1、本实用新型中，通过设置移动结构，当需要进行搬运维修罐体时，拔离限位销，使得限位销脱离限位孔的内部，同时支撑杆沿着套块的内壁滑动，使得垫板与支轮的高度相适配，这时再次插入限位销，进行固定支撑杆的位置，同时拔离定位销，通过拉伸弹簧的回弹力，使得安装块沿着槽板的内壁滑动，使得安装块带动移动轮位移至支轮相适配的位置，这时再将定位销插入限位孔的内壁，防止安装块进行滑动，同时通过转轴进行转动调整支轮的位置，使得支轮和移动轮位于同一水平面上，通过进行调节支轮和移动轮的位置，使得当搬运时，通过支轮和移动轮的相互配合，即可达到辅助搬运的效果，避免了使用大型机械进行操作搬运，节省搬运的成本，同时操作简单便捷，节约搬运的时间，当不搬运时，还可进行收纳移动轮，使得罐体生产时保持稳定的效果。

2、本实用新型中，通过设置固定结构，当需要进行维修罐体时，需要将罐体进行拆卸，转动螺纹杆，因为二号滑块的限位，使得螺母块沿着螺纹杆的外表面位移，同时螺母块带动二号滑块进行位移，使得二号滑块带动插销脱离墙体，同时抬升罐体，即可快速的使得罐体脱离墙体，达到拆卸罐体的效果，为后期的维修和保养罐体提供便利，同时当进行重新安装罐体时，使得插销插入墙体的内部，同时通过弹力弹簧进行缓冲一号滑块和二号滑块与墙体接触时的接触碰撞力，避免墙体使得罐体受损。

附图说明

图1为本实用新型提出一种真空磁控溅射镀膜设备的结构示意图。

图2为本实用新型提出一种真空磁控溅射镀膜设备的俯视的结构示意图。

图3为本实用新型图2中a处的结构示意图。

图4为本实用新型提出一种真空磁控溅射镀膜设备的固定结构的结构示意图。

图例说明：

1、罐体；11、压力表；12、卡线块；13、电线；14、指示灯；2、移动结构；21、安装板；22、套块；23、转轴；24、支轮；25、限位销；26、支撑杆；27、限位孔；28、槽板；29、安装块；210、拉伸弹簧；211、移动轮；212、定位销；213、垫板；3、固定结构；31、螺纹杆；32、矩形槽；33、一号滑块；34、二号滑块；35、螺母块；36、插销；37、弹力弹簧。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面结合附图描述本实用新型的具体实施例。

参照图1-4，一种真空磁控溅射镀膜设备，包括罐体1，其特征在于：罐体1的底部固定安装有移动结构2，罐体1的外表面一侧固定安装有固定结构3，罐体1的外表面固定安装有压力表11，罐体1的外表面另一侧固定安装有卡线块12，罐体1的顶部电性连接有电线13，罐体1的底部固定安装有指示灯14，电线13与指示灯14电线连接，卡线块12与电线13相互卡接。

移动结构2包括安装板21，罐体1的底部固定安装有安装板21，安装板21的外表面焊接有套块22，套块22的外表面一侧固定安装有转轴23，套块22通过转轴23转动连接有支轮24，套块22的内部滑动连接有支撑杆26，支撑杆26和套块22的外表面开设有限位孔27，套块22的外表面位于限位孔27的内壁插设有限位销25，支撑杆26远离套块22的一端固定安装有槽板28，槽板28的内壁滑动连接有安装块29，安装块29的内部转动连接有移动轮211，安装块29与槽板28相对的一面固定安装有拉伸弹簧210，安装块29的外表面插设有定位销212，槽板28的外表面开设有定位孔，槽板28的底部固定安装有垫板213，通过设置移动结构2，通过支轮24和移动轮211的相互配合，即可达到辅助搬运的效果，避免了使用大型机械进行操作搬运，节省搬运的成本，同时操作简单便捷，节约搬运的时间，当不搬运时，还可进行收纳移动轮211，使得罐体1生产时保持稳定的效果。

固定结构3包括螺纹杆31，罐体1的外表面固定安装有限位块，限位块的内部转动连接有螺纹杆31，罐体1的外表面开设有矩形槽32，矩形槽32的内壁两侧分别滑动连接有一号滑块33和二号滑块34，二号滑块34的外表面固定安装有螺母块35，螺母块35的内壁与螺纹杆31的外表面螺纹连接，一号滑块33和二号滑块34相背的一面与矩形槽32的内壁之间固定安装有弹力弹簧37，通过弹力弹簧37进行缓冲一号滑块33和二号滑块34与墙体接触时的接触碰撞力，避免墙体使得罐体1受损，一号滑块33和二号滑块34相对的一面均固定安装有插销36，二号滑块34带动插销36脱离墙体，同时抬升罐体1，即可快速的使得罐体1脱离墙体，达到拆卸罐体1的效果。

本实用新型的工作原理：当需要进行搬运维修罐体1时，拔离限位销25，使得限位销25脱离限位孔27的内部，同时支撑杆26沿着套块22的内壁滑动，使得垫板213与支轮24的高度相适配，这时再次插入限位销25，进行固定支撑杆26的位置，同时拔离定位销212，通过拉伸弹簧210的回弹力，使得安装块29沿着槽板28的内壁滑动，使得安装块29带动移动轮211位移至支轮24相适配的位置，这时再将定位销212插入限位孔27的内壁，防止安装块29进行滑动，同时通过转轴23进行转动调整支轮24的位置，使得支轮24和移动轮211位于同一水平面上，通过进行调节支轮24和移动轮211的位置，使得当搬运时，通过支轮24和移动轮211的相互配合，即可达到辅助搬运的效果，避免了使用大型机械进行操作搬运，节省搬运的成本，同时操作简单便捷，节约搬运的时间，当不搬运时，还可进行收纳移动轮211，使得罐体1生产时保持稳定的效果。

当需要进行维修罐体1时，需要将罐体1进行拆卸，转动螺纹杆31，因为二号滑块34的限位，使得螺母块35沿着螺纹杆31的外表面位移，同时螺母块35带动二号滑块34进行位移，使得二号滑块34带动插销36脱离墙体，同时抬升罐体1，即可快速的使得罐体1脱离墙体，达到拆卸罐体1的效果，为后期的维修和保养罐体1提供便利，同时当进行重新安装罐体1时，使得插销36插入墙体的内部，同时通过弹力弹簧37进行缓冲一号滑块33和二号滑块34与墙体接触时的接触碰撞力，避免墙体使得罐体1受损。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。