一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体的制作方法

本实用新型涉及光学镀膜设备技术领域，具体为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体。

背景技术：

oled，即有机发光二极管，又称为有机电激光显示，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对oled的应用都聚焦在平板显不器上，因为oled是唯一在应用上能和tft-lcd相提并论的技术，oled是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。

但是现有的光学镀膜腔体存在以下问题：

1、现有的光学镀膜腔体，加热源往往为一个点加热或一个区域加热，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀，而且整个设备的自动化程度较低，很难进行实时监控；

2、现有的光学镀膜腔体，设备在运转的过程中，很容易产生大幅度抖动，进而带来噪音污染，使得作业环境变差。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，解决了上述背景技术所提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设备箱体的内壁固定连接有隔板，所述设备箱体的底壁依次从左向右固定安装有离子枪、探测器、电子束蒸镀器和光源灯，所述设备箱体的内壁开设有滑道，所述滑道的内壁滑动连接有基板加热器，所述隔板的上固定安装有石英速率监测仪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述设备箱体的下端固定连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的两侧开设有条形槽，所述条形槽的内壁竖向固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有第一弹簧，所述第一支撑杆的下端设置有第二支撑杆，所述第二支撑杆的内部开设有安置槽，所述安置槽的内壁固定连接有衔接杆，所述衔接杆的一端固定连接有滑动块，所述第一支撑杆的下端固定连接有第二弹簧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二支撑杆的下端固定连接有底板，所述设备箱体的一侧通过铰链铰接有开合门，所述开合门的表面开设有观察口。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板的上端固定安装有控制器，所述控制器通过导线分别与电动机、离子枪和石英速率监测仪电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一弹簧的上端与条形槽的内顶壁固定连接，所述第一弹簧的下端与滑动块的上表面固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑动块在固定杆的外表面滑动连接，所述第二弹簧的下端与安置槽的内底壁固定连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，具备以下有益效果：

1、该具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，通过设置电动机和行星双旋转基板保持架，使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，再通过设置探测器和石英速率监测仪，使得设备可以进行实时监控，避免产生产品的不合格，还有就是实现了设备的全自动化。

2、该具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，通过设置第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆和第二支撑杆在条形槽、固定杆、衔接杆、滑动块以及第一弹簧的作用下达到第一重缓冲，再通过设置安置槽和第二弹簧，使得设备整体具有第二重缓冲，以此降低了设备产生的噪音。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构扣合示意图；

图3为本实用新型图1中a处的结构放大图。

图中：1、设备箱体；2、电动机；3、行星双旋转基板保持架；4、光学监视器玻璃；5、隔板；6、离子枪；7、探测器；8、电子束蒸镀器；9、光源灯；10、滑道；11、基板加热器；12、石英速率监测仪；13、第一支撑杆；14、条形槽；15、固定杆；16、第一弹簧；17、第二支撑杆；18、安置槽；19、衔接杆；20、滑动块；21、第二弹簧；22、底板；23、开合门；24、观察口；25、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体1，设备箱体1的上端固定安装有电动机2，电动机2的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架3，行星双旋转基板保持架3的内部固定安装有光学监视器玻璃4，设备箱体1的内壁固定连接有隔板5，设备箱体1的底壁依次从左向右固定安装有离子枪6、探测器7、电子束蒸镀器8和光源灯9，设备箱体1的内壁开设有滑道10，滑道10的内壁滑动连接有基板加热器11，隔板5的上固定安装有石英速率监测仪12。

本实施方案中，设备在使用之前，首先将设备箱体1和开合门23进行扣合，随后启动电动机2，电动机2带动行星双旋转基板保持架3产生旋转，进而使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，在此期间，设备会配合着电子束蒸镀器8、滑道10和基板加热器11一同进行工作，而探测器7则是用来探测金属膜，从而将信息进行反馈，使得设备更具有自动化，石英速率监测仪12用来检测基板加热器11在滑道10内壁的运转速率，以此保证最适宜的速度。

具体的，设备箱体1的下端固定连接有第一支撑杆13，第一支撑杆13的两侧开设有条形槽14，条形槽14的内壁竖向固定连接有固定杆15，固定杆15的外表面套设有第一弹簧16，第一支撑杆13的下端设置有第二支撑杆17，第二支撑杆17的内部开设有安置槽18，安置槽18的内壁固定连接有衔接杆19，衔接杆19的一端固定连接有滑动块20，第一支撑杆13的下端固定连接有第二弹簧21。

本实施例中，设备运转过程产生的抖动力，第一步传递到第一支撑杆13，第一支撑杆13配合着固定杆15、第一弹簧16以及衔接杆19和滑动块20达到第一重缓冲，然后再将力度传递给第二支撑杆17，第二支撑杆17配合着第二弹簧21达到第二重缓冲，提高了整体的缓冲能力，进而避免了噪音污染。

具体的，第二支撑杆17的下端固定连接有底板22，设备箱体1的一侧通过铰链铰接有开合门23，开合门23的表面开设有观察口24。

本实施例中，开合门23的一侧设置有锁紧件，与设备箱体1一侧设置的相互适配，而观察口24的设计，则是方便了使用者对设备箱体1内部的情况进行查看。

具体的，底板22的上端固定安装有控制器25，控制器25通过导线分别与电动机2、离子枪6和石英速率监测仪12电性连接。

本实施例中，控制器25通过导线分别与电动机2、离子枪6和石英速率监测仪12电性连接，以此可以更好的控制设备，能够第一时间进行处理。

具体的，第一弹簧16的上端与条形槽14的内顶壁固定连接，第一弹簧16的下端与滑动块20的上表面固定连接。

本实施例中，第一弹簧16的两端分别与条形槽14的内顶壁和滑动块20的上表面固定连接，既起到了中间的连接作用，又提供了相应的缓冲力。

具体的，滑动块20在固定杆15的外表面滑动连接，第二弹簧21的下端与安置槽18的内底壁固定连接。

本实施例中，滑动块20在固定杆15的外表面滑动连接，以此配合着第一弹簧16达到第一重缓冲，而第二弹簧21的两端分别与第一支撑杆13的下端和安置槽18的内底壁固定连接。

本实用新型的工作原理及使用流程：设备在使用之前，首先将设备箱体1和开合门23进行扣合，随后启动电动机2，电动机2带动行星双旋转基板保持架3产生旋转，进而使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，在此期间，设备会配合着电子束蒸镀器8、滑道10和基板加热器11一同进行工作，而探测器7则是用来探测金属膜，从而将信息进行反馈，使得设备更具有自动化，石英速率监测仪12用来检测基板加热器11在滑道10内壁的运转速率，以此保证最适宜的速度，最后便是设备运转过程产生的抖动力，第一步传递到第一支撑杆13，第一支撑杆13配合着固定杆15、第一弹簧16以及衔接杆19和滑动块20达到第一重缓冲，然后再将力度传递给第二支撑杆17，第二支撑杆17配合着第二弹簧21达到第二重缓冲，提高了整体的缓冲能力，进而避免了噪音污染。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。