一种真空镀膜设备的供气装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及真空镀膜附属设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的供气装置。


背景技术：

[0002]
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上。目前行业内普遍使用的供气装置采用单个气瓶供气，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性，而且经常由于更换时间人为掌握不准确，造成较长时间供气压力不足，影响镀膜品质，故此本实用新型提出了一种真空镀膜设备的供气装置。


技术实现要素：

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(一)解决的技术问题
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针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜设备的供气装置，具备供气稳定，便于换气等优点，解决了单个气瓶供气，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性的问题。
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(二)技术方案
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为实现上述供气稳定以及便于换气的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜设备的供气装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有套筒，所述套筒的内部活动安装有内胆，所述内胆的内部开设有安置槽，所述安置槽左侧的内壁固定安装有缓冲块，所述安置槽的内部活动安装有供气瓶，所述供气瓶输出管的表面活动安装有连接头，所述内胆的表面固定安装有弹簧锁扣，所述内胆的右侧活动安装有封盖，所述封盖的表面固定安装有与弹簧锁扣对应的锁钩，所述封盖的左侧固定安装有顶块，所述底座的顶部且位于套筒的左侧固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有总气盘，所述总气盘的右侧固定安装有连接轴管，所述连接轴管远离总气盘的一端活动安装有旋转气盘，所述旋转气盘的右侧固定安装有分支气阀，所述分支气阀的右侧固定安装有接气管，所述总气盘的左侧固定安装有总气管。
[0007]
优选的，所述底座的材质为不锈钢，底座的底壁固定安装有四个橡胶底座，套筒通过连接板与底座固定连接，套筒的内壁固定安装有限位卡环，套筒为不锈钢。
[0008]
优选的，所述内胆为圆柱形，内胆的长度大于套筒的长度，内胆的表面且位于套筒的右侧固定安装有入手槽，套筒与内胆为转动连接,内胆的表面开设有与限位卡环对应限位环槽。
[0009]
优选的，所述弹簧锁扣的材质为不锈钢，弹簧锁扣的数量为四个，四个弹簧锁扣等距分布在内胆的表面。
[0010]
优选的，所述内胆的内部开设有与安置槽连通的气管槽，气管槽的直径大于连接头的外直径，安置槽的数量为四个，安置槽左侧的内壁的截面形状均为半圆形，四个安置槽以2*2方阵的形式排列，顶块的数量为四个，四个顶块与四个安置槽一一对应，安置槽的左侧开设有弧形槽。
[0011]
优选的，所述连接轴管与旋转气盘转动连接，分支气阀和接气管的数量均为四个，接气管为不锈钢管，接气管与连接头螺纹连接，连接头与供气瓶的输出管转动连接，供气瓶输出管的表面安装有限位卡。
[0012]
(三)有益效果
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与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜设备的供气装置，具备以下有益效果：
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该真空镀膜设备的供气装置，通过四个供气瓶共同供气，相比单个气瓶供气，四个供气瓶将供气时间延长三至四倍，由四个分支气阀统一管理，当其中一个或两个供气瓶没有气或者气压不足时，仅需开启其他分支气阀，让其补充气压，从而保证供气的稳定性，以此避免镀膜时不均匀的问题，此外，换气的时候，先旋转内胆，将没有气的供气瓶转到最低处，由于总气盘与连接轴管为转动连接，故此在内胆旋转过程中，连接轴管也会跟随其旋转，然后将连接头与接气管拧动分离，之后将弹簧锁扣打开，接着把封盖拿开，最后将没有气的供气瓶抽出并替换，然后盖上封盖即可，整个换气步骤十分省力，且换气简单，故此本实用新型提出了一种真空镀膜设备的供气装置。
附图说明
[0015]
图1为本实用新型剖视结构示意图；
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图2为本实用新型主视示意图；
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图3为本实用新型俯视示意图。
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图中：1底座、2套筒、3内胆、4安置槽、5缓冲块、6供气瓶、61连接头、7弹簧锁扣、8封盖、9锁钩、10顶块、11支撑座、12总气盘、13连接轴管、14旋转气盘、15分支气阀、16接气管、17总气管。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020]
请参阅图1-3，一种真空镀膜设备的供气装置，包括底座1，底座1的顶部固定安装有套筒2，底座1的材质为不锈钢，底座1的底壁固定安装有四个橡胶底座，套筒2通过连接板与底座1固定连接，套筒2的内壁固定安装有限位卡环，套筒2为不锈钢，套筒2的内部活动安装有内胆3，内胆3为圆柱形，内胆3的长度大于套筒2的长度，内胆3的表面且位于套筒2的右侧固定安装有入手槽，套筒2与内胆3为转动连接,内胆3的表面开设有与限位卡环对应限位环槽，内胆3的内部开设有安置槽4，安置槽4左侧的内壁固定安装有缓冲块5，安置槽4的内部活动安装有供气瓶6，供气瓶6输出管的表面活动安装有连接头61，内胆3的表面固定安装
有弹簧锁扣7，弹簧锁扣7的材质为不锈钢，弹簧锁扣7的数量为四个，四个弹簧锁扣7等距分布在内胆3 的表面，内胆3的右侧活动安装有封盖8，封盖8的表面固定安装有与弹簧锁扣7对应的锁钩9，封盖8的左侧固定安装有顶块10，内胆3的内部开设有与安置槽4连通的气管槽，气管槽的直径大于连接头61的外直径，安置槽4 的数量为四个，安置槽4左侧的内壁的截面形状均为半圆形，四个安置槽4 以2*2方阵的形式排列，顶块10的数量为四个，四个顶块10与四个安置槽4 一一对应，安置槽4的左侧开设有弧形槽，底座1的顶部且位于套筒2的左侧固定安装有支撑座11，支撑座11的顶部固定安装有总气盘12，总气盘12 的右侧固定安装有连接轴管13，连接轴管13远离总气盘12的一端活动安装有旋转气盘14，旋转气盘14的右侧固定安装有分支气阀15，分支气阀15的右侧固定安装有接气管16，连接轴管13与旋转气盘14转动连接，分支气阀 15和接气管16的数量均为四个，接气管16为不锈钢管，接气管16与连接头 61螺纹连接，连接头61与供气瓶6的输出管转动连接，供气瓶6输出管的表面安装有限位卡，总气盘12的左侧固定安装有总气管17。
[0021]
综上所述，该真空镀膜设备的供气装置，通过四个供气瓶6共同供气，相比单个气瓶供气，四个供气瓶6将供气时间延长三至四倍，由四个分支气阀15统一管理，当其中一个或两个供气瓶6没有气或者气压不足时，仅需开启其他分支气阀15，让其补充气压，从而保证供气的稳定性，以此避免镀膜时不均匀的问题，此外，换气的时候，先旋转内胆3，将没有气的供气瓶6转到最低处，由于总气盘(12)与连接轴管(13)为转动连接，故此在内胆(3) 旋转过程中，连接轴管(13)也会跟随其旋转，然后将连接头61与接气管16 拧动分离，之后将弹簧锁扣7打开，接着把封盖8拿开，最后将没有气的供气瓶6抽出并替换，然后盖上封盖8即可，整个换气步骤十分省力，且换气简单，故此本实用新型提出了一种真空镀膜设备的供气装置。
[0022]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0023]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。