一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机。

背景技术：

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子、原子团或分子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有技术中，采用真空镀膜机进行镀膜，但是，真空镀膜机的真空泵入口处的百叶窗的叶片无法进行调节，不能调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，导致真空泵内杂质过多，降温速率慢，减小真空泵的使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型提供一种百叶窗、真空泵及真空镀膜机，解决了或部分解决了现有技术中真空镀膜机的真空泵入口处的百叶窗的叶片无法进行调节，不能调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，导致真空泵内杂质过多，降温速率慢，减小真空泵的使用寿命的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种百叶窗包括：窗体及两个叶片组；两个所述叶片组均可转动式地设置在所述窗体内，两个所述叶片组相对；所述叶片组包括：传动机构、若干叶片及若干转轴；若干所述叶片与若干所述转轴一一对应，所述叶片朝向所述窗体的端部与相对应的所述转轴固定连接；若干所述转轴背离所述叶片的端部均与所述传动机构连接。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片均互相平行。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片由上至下设置在所述窗体内。

进一步地每个所述叶片组中的若干所述叶片等间距均匀间隔设置。

进一步地，所述传动机构包括：电机、齿条、第一齿轮及若干第二齿轮；所述电机固定设置在所述窗体上；所述第一齿轮与所述电机的输出轴固定连接；所述齿条可滑动式地设置在所述窗体的外壁上；若干所述第二齿轮与若干所述转轴一一对应，所述第二齿轮与相对应的所述转轴固定连接；所述第一齿轮及若干所述第二齿轮均与所述齿条啮合。

进一步地，所述百叶窗还包括：冷凝水管；所述冷凝水管固定设置在所述叶片内。

本申请还提供一种真空泵，包括所述的百叶窗。

本申请还提供一种真空镀膜机，包括所述的真空泵。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

由于两个叶片组均可转动式地设置在窗体内，两个叶片组相对，若干叶片与若干转轴一一对应，叶片朝向窗体的端部与相对应的转轴固定连接，若干转轴背离叶片的端部均与传动机构连接，所以，当进行针孔抽取时，根据工艺的实际情况，操作传动机构，传动机构带动若干转轴同时进行转动，使每个叶片组的叶片转动相同的角度，能提供最佳的抽气效率与吸附效果，可以调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，避免真空泵内杂质过多，降温速率快，增加了真空泵的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的百叶窗的结构示意图；

图2为图1中百叶窗的传动机构的结构示意图；

图3为图1中百叶窗的叶片的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型实施例提供了一种百叶窗包括：窗体1及两个叶片组2。

两个叶片组2均可转动式地设置在窗体1内，两个叶片组2相对。

叶片组2包括：传动机构2-1、若干叶片2-2及若干转轴2-3。

若干叶片2-2与若干转轴一一对应，叶片2-2朝向窗体1的端部与相对应的转轴2-3固定连接。

若干转轴2-3背离叶片2-2的端部均与传动机构2-1连接。

本申请具体实施方式由于两个叶片组2均可转动式地设置在窗体1内，两个叶片组2相对，若干叶片2-2与若干转轴一一对应，叶片2-2朝向窗体1的端部与相对应的转轴2-3固定连接，若干转轴2-3背离叶片2-2的端部均与传动机构2-1连接，所以，当进行针孔抽取时，根据工艺的实际情况，操作传动机构2-1，传动机构2-1带动若干转轴2-3同时进行转动，使每个叶片组2的叶片2-2转动相同的角度，能提供最佳的抽气效率与吸附效果，可以调节进入真空泵蒸汽粒子的数量，避免真空泵内杂质过多，降温速率快，增加了真空泵的使用寿命。

其中，窗体1上开设有两个通孔组，两个通孔组与两个叶片组相对应，通孔组包括若干通孔，若干通孔与若干转轴2-2一一对应，转轴2-2穿过相对应的通孔与传动机构2-1连接。

具体地，每个叶片组2中的若干叶片2-2均互相平行。每个叶片组2中的若干叶片2-2由上至下设置在所述窗体内。每个叶片组2中的若干叶片2-2等间距均匀间隔设置，保证抽气效率与吸附效果。

参见图2，传动机构2-1包括：电机2-11、齿条2-12、第一齿轮2-13及若干第二齿轮2-14。

电机2-11的固定端固定设置在窗体1上。

第一齿轮2-13与电机2-11的输出轴固定连接。

齿条2-12可滑动式地设置在窗体1的外壁上。在本实施方式中，窗体1的外壁上设置有导轨，齿条2-12可滑动式地设置在导轨内，通过导轨对齿条2-12进行限位。

若干第二齿轮2-14与若干转轴2-3一一对应，第二齿轮2-14与相对应的转轴2-2固定连接。

第一齿轮2-13及若干第二齿轮均与齿条2-12啮合。

当要对叶片2-2的角度进行调节时，启动电机2-11，电机2-11的输出轴带动第一齿轮2-13进行转动，第一齿轮2-13带动齿条2-12在导轨内滑动，齿条2-12带动若干第二齿轮2-14进行转动，第二齿轮2-14带动相对应的转轴2-3转动，转轴2-3带动相对应的叶片2-2达到合适的角度。由于齿条2-12带动若干第二齿轮2-14同步转动，所以，叶片组2中的每个叶片2-2转动的角度相同。

参见图3，百叶窗还包括：冷凝水管3。

冷凝水管3固定设置在叶片2-2内。在本实施方式中，叶片2-2内设开设有空腔，冷凝水管3可通过焊接固定设置在叶片2-2内，保证连接稳定性。叶片2-2朝向转轴2-3的端部上开设有进水孔及出水孔，进水孔与冷凝水管3的进水口连通，出水孔与冷凝水管3的出水口连通。

通过进水孔向冷凝水管3的进水口供给冷凝水，对叶片2-2进行冷却后，冷却水由冷凝水管3的出水口及出水孔排出，提高了吸附蒸汽粒子的效果。

窗体1、齿条2-12、第一齿轮2-13、若干第二齿轮2-14、转轴2-3、叶片2-2及冷凝水管3的材质均采用不锈钢，保证使用寿命。

本实用新型还提出一种真空泵，该真空泵采用了所述百叶窗，该百叶窗的具体结构参照上述实施例，由于本百叶窗采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

本实用新型还提出一种真空镀膜机，该真空镀膜机采用了所述真空泵，该真空泵的具体结构参照上述实施例，由于本真空泵采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。