高硬度低摩擦系数的保护镀膜的制作方法

文档序号:24469434发布日期:2021-03-30 20:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高硬度低摩擦系数的保护镀膜,用以镀覆于一基材之上,该高硬度低摩擦系数保护镀膜,其特征在于,包括:

一缓冲层,形成于该基材之上;及

一覆层,形成于该缓冲层之上,且该覆层为一介电层。

2.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,还包括一接口层,该接口层形成于该基材层及该缓冲层之间。

3.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层的层数至少为一。

4.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层厚度介于500nm至3μm之间。

5.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层维氏硬度大于560hv。

6.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层的表面之摩擦系数小于0.07。

7.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层包含多个子层,且在这些子层中其硬度是从上到下递减。

8.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该覆层的厚度介于500nm至3μm,该覆层至少可承受6gpa之压力且具有100nm以下之表面粗糙度,且该覆层具有至少600hv之硬度。

9.如权利要求7所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该缓冲层的厚度介于10nm至100nm之间。

10.如权利要求7所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该保护镀膜的表面粗糙度至少小于500nm。

11.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜,其特征在于,该保护镀膜能承受于室温下以金刚石探头施加0.4n之力。


技术总结
本实用新型提供一种高硬度低摩擦系数保护镀膜,其结构包括:一界面层、一缓冲层、一高硬度的覆层。本实用新型之高硬度低摩擦系数的保护镀膜具有良好抗摩耗性、低摩擦系数,是以能够被应用在光电及半导体产业的黄光曝光制程的光罩传送盒中,例如:深紫外(DUV)曝光制程、极紫外(EUV)曝光制程、沉浸式曝光制程、多重曝光制程,该保护镀膜用于保护上述任一种黄光曝光应用之光罩传送盒并确保黄光制程之良率。

技术研发人员:吴宗丰;蔡宇砚;李文亮;游辉桓;周冠廷
受保护的技术使用者:翔名科技股份有限公司
技术研发日:2020.09.03
技术公布日:2021.03.30
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