一种源气进气过渡部件的拆取装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种源气进气过渡部件的拆取装置。


背景技术：

2.碳化硅半导体具有大禁带宽度、优良的稳定性、高热导率、高临界击穿场强、高饱和电子漂移速度等优良特性，是制作高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。用于制作碳化硅器件的碳化硅材料通常是生长在碳化硅衬底上的碳化硅外延晶片。
3.碳化硅外延生长已经实现了商业化，通常采用化学气相沉积的方法来生长碳化硅外延晶片。目前商业化的外延炉，大部分为水平型反应室外延炉。在使用外延炉进行碳化硅外延生长时，外延工艺气体由3条气路经过源气进气过渡部件后再通入反应室。源气进气过渡部件是连接源气和反应室的重要部件。
4.且，外延炉的淀积生长温度为1650度，在淀积生长过程中会产生大量高温的附属物如粉尘和颗粒，该些附属物会吸附在源气进气过渡部件内，导致源气进气过渡部件的出口尺寸越来越小，仅靠人手已经无法伸入源气进气过渡部件的内，拆卸极其不便，经常出现源气进气过渡部件掉落的情况，造成源气进气过渡部件损坏。
5.有必要研发一种可将源气进气过渡部件进行快速拆卸的装置。


技术实现要素：

6.本实用新型提供了一种源气进气过渡部件的拆取装置，其克服了背景技术所存在的不足。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
7.一种源气进气过渡部件的拆取装置，源气进气过渡部件包括前后贯穿的过渡本体，该拆取装置包括若干个插板、连接板和手持板，若干个插板均固接在连接板的一侧边且沿着连接板长度方向间隔布置，手持板固接在连接板的另一侧边；所述每一个插板末端均设有倒钩部，每一个插板与连接板的连接处设有限位部，倒钩部和限位部均位于插板的同一侧，且倒钩部与限位部之间的距离大于或等于过渡本体的内腔长度。
8.一较佳实施例之中：所述倒钩部之高度小于过渡本体的内腔高度，且每一插板厚度小于过渡本体的内腔高度。
9.一较佳实施例之中：所述倒钩部之纵向截面呈三角形，且其与限位部相应的侧面为倾斜面。
10.一较佳实施例之中：所述过渡本体内腔呈方形，位于最外端的两个插板与连接板之间围成方形。
11.一较佳实施例之中：所述限位部为限位块，该限位块之靠近倒钩部的一侧面可与过渡本体之侧面相贴合。
12.一较佳实施例之中：过渡本体包括前后相嵌合配合的第一本体和第二本体，第一本体内腔与第二本体内腔相连通。
13.本技术方案与背景技术相比，它具有如下优点：
14.1.实际使用过程中，可将倒钩部的一端从过渡本体的一侧开口伸入并从过渡本体的另一侧开口伸出，通过手持板向上提起该拆取装置直至插板顶面靠抵在过渡本体内腔顶面，此时倒钩部和限位部可对过渡本体内腔顶部进行前后限位，避免过渡本体从拆取装置上脱出；接着，向外拉出该拆取装置，在倒钩部的带动下过渡本体一并被拉出。通过该拆取装置使得源气进气过渡部件的拆卸更加简单、快速且方便，避免由于淀积了附属物导致过渡本体内腔变小时人手指无法伸入进而无法快速拆取过渡本体的情况发生，且源气进气过渡部件在倒钩部和限位部的共同作用下不会从拆取装置上脱出，可避免源气进气过渡部件掉落至底面而损坏。
15.2.倒钩部之高度小于过渡本体的内腔高度，且每一插板厚度小于过渡本体的内腔高度，可保证倒钩部和插板均能伸入过渡本体内腔内。
16.3.倒钩部之纵向截面呈三角形，且其与限位部相应的侧面为倾斜面，该倾斜面具有导向作用。
附图说明
17.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
18.图1绘示了一较佳实施例的源气进气过渡部件与拆取装置的立体分解示意图。
19.图2绘示了一较佳实施例的源气进气过渡部件与拆取装置的装配示意图。
具体实施方式
20.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“第一”、“第二”或“第三”等，都是为了区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。
21.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，对于方位词，如使用术语“中心”、“横向”、“纵向”、“水平”、“垂直”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位或位置关系乃基于附图所示的方位和位置关系，且仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或以特定的方位构造和操作，所以也不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
22.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，除非另有明确限定，如使用术语“固接”、“固定连接”，应作广义理解，即两者之间没有位移关系和相对转动关系的任何连接方式，也就是说包括不可拆卸的固定连接、可拆卸的固定连接、连为一体以及通过其他装置或元件固定连接。
23.本实用新型的权利要求书、说明书及上述附图中，如使用术语“包括”、“具有”、以及它们的变形，意图在于“包含但不限于”。
24.请查阅图1至图2，一种源气进气过渡部件的拆取装置的一较佳实施例。
25.所述源气进气过渡部件包括前后贯穿的过渡本体10。
26.本实施例中，过渡本体10包括前后相嵌合配合的第一本体11和第二本体12，第一本体11内腔与第二本体12内腔相连通。或者，过渡本体10也可为一体成型的结构，不以此为限。
27.该拆取装置包括若干个插板20、连接板30和手持板40。
28.若干个插板20均固接在连接板30的一侧边且沿着连接板30长度方向间隔布置，手持板40固接在连接板30的另一侧边；所述每一个插板20末端均设有倒钩部21，每一个插板20与连接板30的连接处设有限位部22，倒钩部21和限位部22均位于插板20的同一侧，且倒钩部21与限位部22之间的距离大于或等于过渡本体10的内腔长度。本实施例中，插板20设有两个且分别位于连接板30的两端部；根据需要，插板20也可设有三个、四个不等，不以此为限。
29.本实施例中，所述倒钩部21之高度小于过渡本体10的内腔高度，且每一插板20厚度小于过渡本体10的内腔高度。如图1所示，倒钩部21之高度大于插板20之厚度，限位部22之高度大于插板20之厚度。
30.本实施例中，所述倒钩部21之纵向截面呈三角形，且其与限位部22相应的侧面为倾斜面。
31.本实施例中，所述过渡本体10内腔呈方形，位于最外端的两个插板20与连接板30之间围成方形。
32.本实施例中，所述限位部22为限位块，该限位块之靠近倒钩部21的一侧面可与过渡本体10之侧面相贴合。且如图1所示，手持板40为方形块。
33.实际使用过程中，可将倒钩部21的一端从过渡本体10的一侧开口伸入并从过渡本体10的另一侧开口伸出，通过手持板40向上提起该拆取装置直至插板20顶面靠抵在过渡本体10内腔顶面，此时倒钩部21和限位部22可对过渡本体10内腔顶部进行前后限位，避免过渡本体10从拆取装置上脱出；接着，向外拉出该拆取装置，在倒钩部21的带动下过渡本体10一并被拉出。通过该拆取装置使得源气进气过渡部件的拆卸更加简单、快速且方便，避免由于淀积了附属物导致过渡本体10内腔变小时人手指无法伸入进而无法快速拆取过渡本体10的情况发生，且源气进气过渡部件在倒钩部21和限位部22的共同作用下不会从拆取装置上脱出，可避免源气进气过渡部件掉落至底面而损坏。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳实施例而已，故不能依此限定本实用新型实施的范围，即依本实用新型专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖的范围内。