氧化铝真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术的领域，尤其涉及一种氧化铝真空镀膜机。


背景技术：

2.在真空环境中，将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言，真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其它金属也可通过蒸发沉积形成。随着我国电解铝、陶瓷、医药、电子、机械等行业的快速发展，市场对氧化铝需求量仍有较大的增长空间，氧化铝产量将会不断增长。然而，现有的镀膜机存在结构较为复杂、镀膜质量较低的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种氧化铝真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种氧化铝真空镀膜机，包括真空箱体、镀膜鼓、挡板以及铝源；所述真空箱体一侧设有抽管, 所述抽管连接有抽真空机；所述真空箱体内设有镀膜鼓，所述镀膜鼓下方设有铝源，所述镀膜鼓与铝源之间的空间形成蒸镀空间，所述镀膜鼓的两侧设有挡板，所述镀膜鼓部分从挡板之间的空间伸出，所述蒸镀空间一侧设有氧气输送管、另一侧设有氮气输送管，所述蒸镀空间内设有一个水平设置的转轴，所述转轴的中间位置通过水平的连接杆与真空箱体的一侧固定连接，所述转轴与连接杆呈垂直关系，所述转轴的两端设有扇叶，所述转轴一端的扇叶与氧气输送管的出气口相对、另一端的扇叶与氮气输送管的出气口相对。
5.优选的，所述转轴、连接杆、扇叶上设有光滑防附着材料。
6.优选的，所述氧气输送管与真空箱体外的氧气输送连接管连通，所述氮气输送管与真空箱体外的氮气输送连接管连通。
7.优选的，所述氧气输送管和氮气输送管上都设有流量控制阀。
8.优选的，还包括蒸发舟，所述蒸发舟位于镀膜鼓的下方，所述铝源放置于蒸发舟中。
9.本实用新型的有益效果：扇叶的转动不需要添加外动力，只要有氧气或氮气进入就能吹动扇叶，具有节能的优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。
附图说明
10.图1为本实用新型的结构示意图。
11.其中：1、真空箱体，2、镀膜鼓，3、挡板，4、铝源，5、抽管，6、抽真空机，7、蒸镀空间，8、氧气输送管，9、氮气输送管，10、转轴，11、扇叶，12、氧气输送连接管，13、氮气输送连接管，14、流量控制阀，15、蒸发舟，16、基材，17、连接杆。
具体实施方式
12.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
13.请参照图1，一种氧化铝真空镀膜机，包括真空箱体1、镀膜鼓2、挡板3以及铝源4。真空箱体1一侧设有抽管5, 抽管5连接有抽真空机6。真空箱体1内设有镀膜鼓2，镀膜鼓2下方设有铝源4，镀膜鼓2与铝源4之间的空间形成蒸镀空间7，镀膜鼓2的两侧设有挡板3，镀膜鼓2部分从挡板3之间的空间伸出，蒸镀空间7一侧设有氧气输送管8、另一侧设有氮气输送管9，蒸镀空间7内设有一个水平设置的转轴10，转轴10的中间位置通过水平的连接杆17与真空箱体1的一侧固定连接，转轴10与连接杆17呈垂直关系，转轴10的两端设有扇叶11，转轴10一端的扇叶11与氧气输送管8的出气口相对、另一端的扇叶11与氮气输送管9的出气口相对。
14.转轴10、连接杆17、扇叶11上设有光滑防附着材料，防止工作过程中转轴10、连接杆17、扇叶11附着到铝源。氧气输送管8与真空箱体1外的氧气输送连接管12连通，氮气输送管9与真空箱体1外的氮气输送连接管13连通。氧气输送连接管12外链接供氧装置和氮气输送连接管13外链接供氮装置，利用氧气输送管8和氮气输送管9向真空箱体1内部注入氧气和氮气。氧气输送管8和氮气输送管9上都设有流量控制阀14，便于根据实际使用情况调节氧气与氮气的输送流量大小。还包括蒸发舟15，蒸发舟15位于镀膜鼓2的下方，铝源4放置于蒸发舟15中。蒸发舟15便于将铝源4加热。
15.本实用新型的氧化铝真空镀膜机工作时，蒸发舟15加热铝源4，铝源4受热蒸发进入蒸镀空间7中，与氧气和氮气的混合气反应生成氧化铝。氧化铝随气流蒸镀于镀膜鼓2的基材16上。同时，由于氧气和氮气对着扇叶11吹出，扇叶11受到吹出的气流的影响开始转动，扇叶11的转动可以提高铝和氧气与氮气的混合效果，促进氧气和铝反应生成氧化铝。扇叶11的转动不需要添加外动力，只要有氧气或氮气进入就能吹动扇叶11，具有节能的优点。随着镀膜鼓2的自转，氧化铝均匀蒸镀于镀膜鼓的基材16上，具有生产效率高、质量高等优点。
16.本实用新型的工作原理是：将铝源4放置于蒸发舟15加热蒸发，氧气输送连接管12外链接供氧装置和氮气输送连接管13外链接供氮装置利用氧气输送管8和氮气输送管9向真空箱体1部注入氧气和氮气。扇叶11受到吹出的气流的影响开始转动，从而可以提高铝和氧气与氮气的混合效果，促进氧气和铝反应生成氧化铝。随着镀膜鼓2的自转，氧化铝均匀蒸镀于镀膜鼓的基材16上。
17.以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.氧化铝真空镀膜机，其特征在于：包括真空箱体、镀膜鼓、挡板以及铝源；所述真空箱体一侧设有抽管, 所述抽管连接有抽真空机；所述真空箱体内设有镀膜鼓，所述镀膜鼓下方设有铝源，所述镀膜鼓与铝源之间的空间形成蒸镀空间，所述镀膜鼓的两侧设有挡板，所述镀膜鼓部分从挡板之间的空间伸出，所述蒸镀空间一侧设有氧气输送管、另一侧设有氮气输送管，所述蒸镀空间内设有一个水平设置的转轴，所述转轴的中间位置通过水平的连接杆与真空箱体的一侧固定连接，所述转轴与连接杆呈垂直关系，所述转轴的两端设有扇叶，所述转轴一端的扇叶与氧气输送管的出气口相对、另一端的扇叶与氮气输送管的出气口相对。2.根据权利要求1所述的氧化铝真空镀膜机，其特征在于：所述转轴、连接杆、扇叶上设有光滑防附着材料。3.根据权利要求1所述的氧化铝真空镀膜机，其特征在于：所述氧气输送管与真空箱体外的氧气输送连接管连通，所述氮气输送管与真空箱体外的氮气输送连接管连通。4.根据权利要求1所述的氧化铝真空镀膜机，其特征在于：所述氧气输送管和氮气输送管上都设有流量控制阀。5.根据权利要求1所述的氧化铝真空镀膜机，其特征在于：还包括蒸发舟，所述蒸发舟位于镀膜鼓的下方，所述铝源放置于蒸发舟中。

技术总结
本实用新型公开了一种氧化铝真空镀膜机，包括真空箱体、镀膜鼓、挡板以及铝源；真空箱体一侧通过抽管连接抽真空机；真空箱体内设有镀膜鼓，镀膜鼓下方设有铝源，镀膜鼓与铝源之间形成蒸镀空间，镀膜鼓的两侧设有挡板，蒸镀空间一侧设有氧气输送管、另一侧设有氮气输送管，蒸镀空间内设有一个水平设置的转轴，转轴的中间位置通过连接杆与真空箱体固定连接，转轴与连接杆呈垂直关系，转轴的两端设有扇叶，转轴一端的扇叶与氧气输送管的出气口相对、另一端的扇叶与氮气输送管的出气口相对。本实用新型的扇叶的转动不需要添加外动力，只要有氧气或氮气进入就能吹动扇叶，具有节能的优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。


技术研发人员：周兴
受保护的技术使用者：启东申通电子机械配件有限公司
技术研发日：2020.09.23
技术公布日：2021/10/8