一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构的制作方法

本实用新型涉及挂具，具体涉及一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构。

背景技术：

一般的，气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。通过气相沉积技术可以实现在零件表面的镀膜。但现有方案在镀膜时所采用将零件挂置在挂具上，再放置在设备内导致镀膜质量较差。如何解决这个问题变得至关重要。

现有的方案，采用在设备内设置立柱支架，将零件挂置在立柱支架上，上下料采用人工方式搬运。这样的方案存在以下问题：(1)采用立柱支架挂置零件时，零件表面会附着杂质，导致镀膜质量较低。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构，以解决现有技术中采用立柱支架挂置零件时，零件表面会附着杂质，导致镀膜质量较低等问题。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构；

包括框体、挂载零件的立杆、包裹所述框体的防尘罩、固定所述防尘罩的固定机构、移动所述框体的脚轮和支撑所述框体的支撑机构；所述立杆并列设置在所述框体内；所述框体上所述防尘罩的一侧开口；所述固定机构围绕所述框体并列设置；所述支撑机构设置在所述脚轮上；所述框体设置在所述支撑机构上。

进一步的技术方案为：还包括净化所述框体内空气的净化设备；所述净化设备设置在所述框体顶部；所述净化设备进口连通所述框体内。

进一步的技术方案为：所述框体包括框架、扣住所述立杆的扣件和连接所述立杆的连接件；所述扣件围绕所述框架顶部设置；所述扣件一侧开口；所述连接件围绕所述框架底部设置；围绕所述连接件内开设有向下延伸的弧形槽；所述立杆上设置有连接块；所述连接块嵌入所述弧形槽内。

进一步的技术方案为：所述固定机构包括挂置在所述框架上的固定板和将所述防尘罩固定在所述固定板上的吸附条；所述框架内侧并列开设有挂置槽；所述固定板置于所述挂置槽内；所述固定板靠近所述防尘罩的一侧开设有固定槽；所述吸附条和所述防尘罩置于所述固定槽内。

进一步的技术方案为：所述支撑机构包括设置在所述框体底部的脚件、旋转连接在所述脚件内的撑件和支撑所述脚件的弹性装置；所述撑件设置在所述脚轮上；所述弹性装置围绕所述撑件设置。

进一步的技术方案为：围绕所述脚件靠近所述撑件的一端开设有锥槽；围绕所述锥槽开设有限制槽；围绕所述撑件靠近所述脚件的一端开设有锥面；围绕所述锥面设置有限制台；所述锥面贴合所述锥槽；所述限制台嵌入所述限制槽内。

进一步的技术方案为：所述防尘罩为塑胶防尘罩；所述脚轮为万向脚轮；所述净化设备为风机过滤机组。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型设计了一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构采用防尘罩包裹框体并在防尘罩一侧开口。采用固定机构固定防尘罩。采用在脚轮上设置支撑机构支撑框体。气相沉积镀膜用上下料挂具机构带来了如下效果：(1)通过防尘罩的一侧开口，方便对零件进行镀膜，通过净化设备可以对框体内空气进行净化，可以提高零件的镀膜质量；(2)通过固定机构可以将防尘罩牢靠的固定在框体上，防止防尘罩掉落，保证镀膜工艺的进行，通过防尘罩避免了镀膜时产生镀膜扩散，保证了镀膜质量；(3)气相沉积镀膜用上下料挂具机构在移动时会产生抖动，通过支撑机构可以抑制抖动；(4)气相沉积镀膜用上下料挂具机构在转弯移动时，由于脚轮使得框体会产生移动惯性，通过撑件沿脚件旋转，使得可以削弱框体的移动惯性；(5)通过锥面和锥槽的贴合，使得撑件可以稳定的支撑脚件，使得支撑机构可以稳定的支撑框体。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型支撑机构的结构示意图。

图中：1、框体；11、框架；12、扣件；13、连接件；14、弧形槽；15、挂置槽；2、立杆；21、连接块；3、支撑机构；31、脚件；32、撑件；33、弹性装置；34、锥槽；35、限制槽；36、锥面；37、限制台；4、防尘罩；5、固定机构；51、固定板；52、吸附条；53、固定槽；6、脚轮；7、净化设备。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。

图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型支撑机构的结构示意图。结合图1和图2所示，本实用新型公开了一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构。图中x的方向为本实用新型结构示意图的上端，图中y的方向为本实用新型结构示意图的右端。气相沉积镀膜用上下料挂具机构包括框体1、挂载零件的立杆2、包裹框体1的防尘罩4、固定防尘罩4的固定机构5、移动框体1的脚轮6和支撑框体1的支撑机构3。立杆2并列设置在框体1内。框体1上防尘罩4的一侧开口。固定机构5围绕框体1并列设置。支撑机构3设置在脚轮6上。框体1设置在支撑机构3上。

气相沉积镀膜用上下料挂具机构还包括净化框体1内空气的净化设备7。净化设备7设置在框体1顶部。净化设备7进口连通框体1内。

优选的，防尘罩4为塑胶防尘罩。优选的，脚轮6为万向脚轮。优选的，净化设备7为风机过滤机组。

立杆2上下方向并列设置在框体1内。防尘罩4包裹在框体1的四周。脚轮6设置在框体1底部的边角处。净化设备7设置在框体1的顶部。净化设备7的下端为净化设备7进口。

通过防尘罩4的一侧开口，方便对零件进行镀膜。通过净化设备7可以对框体1内空气进行净化，可以提高零件的镀膜质量。

净化设备7为风机过滤机组，风机过滤机组型号的选择属于公知常识。本领域的技术人员可以根据装置的工作情况选择，例如可以选型号为ffu-1175的风机过滤机组。

框体1包括框架11、扣住立杆2的扣件12和连接立杆2的连接件13。扣件12围绕框架11顶部设置。扣件12一侧开口。连接件13围绕框架11底部设置。围绕连接件13内开设有向下延伸的弧形槽14。立杆2上设置有连接块21。连接块21嵌入弧形槽14内。

扣件12的一端连接框架11。扣件12的另一端开口。弧形槽14开设在连接件13的内表面。连接块21设置在立杆2的下端。零件并列挂置在立杆2上。立杆2的下端嵌入连接件13内。连接块21嵌入弧形槽14内。扣件12扣住立杆2的上端。通过扣件12和连接件13可以将立杆2牢靠的固定住。

固定机构5包括挂置在框架11上的固定板51和将防尘罩4固定在固定板51上的吸附条52。框架11内侧并列开设有挂置槽15。固定板51置于挂置槽15内。固定板51靠近防尘罩4的一侧开设有固定槽53。吸附条52和防尘罩4置于固定槽53内。

固定板51水平方向置于挂置槽15内。固定槽53开设在固定板51的外侧。吸附条52水平方向置于固定槽53内。防尘罩4位于吸附条52和固定板51之间。当吸附条52吸附在固定槽53内时，吸附条52将防尘罩4吸附在固定槽53内。

通过固定机构5可以将防尘罩4牢靠的固定在框体1上，防止防尘罩4掉落，保证镀膜工艺的进行。通过防尘罩4避免了镀膜时产生镀膜扩散，保证了镀膜质量。

支撑机构3包括设置在框体1底部的脚件31、旋转连接在脚件31内的撑件32和支撑脚件31的弹性装置33。撑件32设置在脚轮6上。弹性装置33围绕撑件32设置。

围绕脚件31靠近撑件32的一端开设有锥槽34。围绕锥槽34开设有限制槽35。围绕撑件32靠近脚件31的一端开设有锥面36。围绕锥面36设置有限制台37。锥面36贴合锥槽34。限制台37嵌入限制槽35内。

优选的，弹性装置33为弹簧。脚件31设置在框架11的下端。锥槽34开设在脚件31的下表面。限制槽35围绕锥槽34内的上端开设。锥面36围绕撑件32的上端开设。限制台37围绕锥面36的上端设置。撑件32的上端嵌入脚件31的下端。锥面36贴合锥槽34的内表面。弹性装置33的上端支撑脚件31的下端。撑件32的下端连接脚轮6的上端。

通过弹性装置33可以弹性支撑住脚件31，使得支撑机构3弹性支撑框体1，避免了框体1和脚轮6的硬连接。气相沉积镀膜用上下料挂具机构在移动时会产生抖动，通过支撑机构3可以抑制抖动。气相沉积镀膜用上下料挂具机构在转弯移动时，由于脚轮6使得框体1会产生移动惯性。通过撑件32沿脚件31旋转，使得可以削弱框体1的移动惯性。通过锥面36和锥槽34的贴合，使得撑件32可以稳定的支撑脚件31，使得支撑机构3可以稳定的支撑框体1。

本实施例中，所描述的防尘罩4为塑胶防尘罩，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他防尘罩。

本实施例中，所描述的脚轮6为万向脚轮，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他脚轮。

本实施例中，所描述的净化设备7为风机过滤机组，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他净化设备。

本实施例中，所描述的弹性装置33为弹簧，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他弹性装置。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。