一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构的制作方法

本实用新型属于镀膜玻璃生产设备技术领域，涉及一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构。

背景技术：

镀膜玻璃通过磁控溅射的方式进行镀膜，其原理是电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与把材料的原子发生碰撞，使其电离产生出靶材原料的正离子和新的电子；新电子飞向基片，靶材原料的离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。由于靶材的连接轴伸出镀膜室之外与缸体相连，使靶材的气密性要求较高，以使镀膜室的高真空状态得以维持。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有的技术存在的上述问题，提供一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，本实用新型所要解决的技术问题是如何使靶材结构的气密性检测更加方便。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，其特征在于，包括靶材筒和连接轴，所述连接轴为中空结构，所述连接轴的一端外套设有一接管，所述接管可拆卸连接在一端盖上，所述端盖与靶材筒之间密封连接，所述连接轴内插设有若干节轴芯，所述连接轴内设置有将各节轴芯同轴固定的螺栓，相邻轴芯之间具有一密封垫片；所述靶材筒远离端盖的一端具有一检测孔。

进一步的，所述连接轴为pe材料制成。

进一步的，所述靶材筒的周面上具有溅射层。

在进行气密性检测时，在检测孔处对靶材筒内进行充气，如充入空气则需要在连接轴端部设置气压表，以检测充气气压和出气气压是否有变化，如果充入氩气，则只需要在靶材结构附近利用氩气探测器进行探测即可，在确定气密性满足要求后，将其装配在溅射腔对应的位置。

连接轴为pe材料，确保靶材筒与镀膜腔壁面之间绝缘，但是，单一的pe材料的连接轴其强度难以满足要求，且其刚性不足，密封性等难以保障，在其内插设轴芯，且相邻轴芯之间设置密封垫片，各轴芯通过螺栓相连，以使连接轴的密封性、强度和刚性都较好。

附图说明

图1是本靶材结构的剖视图。

图中，1、靶材筒；2、连接轴；3、接管；4、端盖；5、轴芯；6、螺栓；7、密封垫片；8、检测孔；9、溅射层。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，包括靶材筒1和连接轴2，连接轴2为中空结构，连接轴2的一端外套设有一接管3，接管3可拆卸连接在一端盖4上，端盖4与靶材筒1之间密封连接，连接轴2内插设有若干节轴芯5，连接轴2内设置有将各节轴芯5同轴固定的螺栓6，相邻轴芯5之间具有一密封垫片7；靶材筒1远离端盖4的一端具有一检测孔8。连接轴2为pe材料制成，靶材筒1的周面上具有溅射层9。

在进行气密性检测时，在检测孔8处对靶材筒1内进行充气，如充入空气则需要在连接轴2端部设置气压表，以检测充气气压和出气气压是否有变化，如果充入氩气，则只需要在靶材结构附近利用氩气探测器进行探测即可，在确定气密性满足要求后，将其装配在溅射腔对应的位置。

连接轴2为pe材料，确保靶材筒1与镀膜腔壁面之间绝缘，但是，单一的pe材料的连接轴2其强度难以满足要求，且其刚性不足，密封性等难以保障，在其内插设轴芯5，且相邻轴芯5之间设置密封垫片7，各轴芯5通过螺栓6相连，以使连接轴2的密封性、强度和刚性都较好。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

技术特征：

1.一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，其特征在于，包括靶材筒(1)和连接轴(2)，所述连接轴(2)为中空结构，所述连接轴(2)的一端外套设有一接管(3)，所述接管(3)可拆卸连接在一端盖(4)上，所述端盖(4)与靶材筒(1)之间密封连接，所述连接轴(2)内插设有若干节轴芯(5)，所述连接轴(2)内设置有将各节轴芯(5)同轴固定的螺栓(6)，相邻轴芯(5)之间具有一密封垫片(7)；所述靶材筒(1)远离端盖(4)的一端具有一检测孔(8)。

2.根据权利要求1所述一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，其特征在于，所述连接轴(2)为pe材料制成。

3.根据权利要求1或2所述一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，其特征在于，所述靶材筒(1)的周面上具有溅射层(9)。

技术总结
本实用新型提供了一种便于检测真空磁控溅射端头气密性的结构，属于镀膜玻璃生产设备技术领域。包括靶材筒和连接轴，连接轴为中空结构，连接轴的一端外套设有一接管，接管可拆卸连接在一端盖上，端盖与靶材筒之间密封连接，连接轴内插设有若干节轴芯，连接轴内设置有将各节轴芯同轴固定的螺栓，相邻轴芯之间具有一密封垫片；靶材筒远离端盖的一端具有一检测孔。本实用新型具有能够确保靶材结构气密性满足要求等优点。

技术研发人员：谢守荣;刘泽利;熊建
受保护的技术使用者：咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
技术研发日：2020.12.17
技术公布日：2021.07.30