一种双驱动摆臂装置的制作方法

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其是涉及一种能够实现摆臂驱动和皮带驱动，并且能够同时实现抛光盘与摆臂距离进行调节的双驱动摆臂装置。

背景技术：

双驱动摆臂装置通常是应用在抛光研磨加工中用于稳定压头的工作，研磨盘和抛光盘会因加工需求不同，随着盘体材质和批次等等因素的变化，加工盘体的高度也会随之出现变化，以往的双驱动摆臂装置选装轴与滚轮直接固定连接，通过电机驱动滚轮转动，无法实现摆臂装置随大盘变化而随之进行高低的变化，从而无法改变摆臂装置与大盘之间的距离，导致在加工中，摆臂装置可能出现与大盘摩擦的情况，严重影响加工进程。

本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。

技术实现要素：

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种双驱动摆臂装置，摆臂可升降微调与抛光盘距离。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种双驱动摆臂装置，其特殊之处在于：该双驱动摆臂装置包括滚轮驱动系统、摆臂驱动系统、滚轮、摆臂，所述滚轮驱动系统贯穿所述摆臂驱动系统，所述摆臂可沿摆臂驱动系统进行升降，并通过锁紧座进行锁紧固定，以便调节摆臂与抛光盘的距离，所述滚轮位于所述摆臂的上方。

优选地，所述摆臂驱动系统包括摆臂轴和摆臂轴同步带轮，所述摆臂轴同步带轮套设在所述摆臂轴下部的外侧，所述摆臂通过锁紧座固定套设在摆臂轴的上部分，当所述锁紧座处于松开状态时，所述摆臂可沿所述摆臂轴的上部分移动。

优选地，所述滚轮驱动系统包括滚轮轴同步带轮、选装轴、滚轮轴，所述滚轮固定套设在滚轮轴上，所述滚轮与皮带连接，带动皮带转动，所述滚轮轴套设在选装轴的上部，并由选装轴带动旋转，所述滚轮轴可沿选装轴上部上下滑动，所述滚轮轴同步带轮固定套设在选装轴的下端。

优选地；所述摆臂轴是中空的，所述选装轴贯穿套设在摆臂轴内且下端伸出摆臂轴，所述滚轮轴同步带轮安装在选装轴下端伸出摆臂轴的部分，所述摆臂轴的腔壁与所述选装轴外壁之间安装有轴承，所述摆臂轴同步带轮的下侧设置有锁紧螺母，且所述锁紧螺母位于滚轮轴同步带轮的上侧，所述摆臂轴同步带轮的上侧设置有第二轴承座，所述第二轴承座固定套设在摆臂轴的外侧，且所述第二轴承座和所述摆臂轴之间安装有轴承，所述第二轴承座外侧套设有防护套，并且所述防护套上部延伸出所述第二轴承座的顶端。

优选地：所述滚轮轴的上套设有第一轴承座，所述滚轮位于第一轴承座的上方，所述第一轴承座和所述滚轮轴之间安装有轴承，所述

摆臂、锁紧座和防护套依次固定连接在所述第一轴承座的下方。

优选地：所述锁紧座内设置有锁紧块，所述滚轮轴与所述选装轴通过键连接。

优选地：所述滚轮轴设置有内键槽，所述选装轴上端设置有键槽，所述选装轴通过键固定套设在滚轮轴内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置摆臂轴同步带轮、第二轴承座、防护套、锁紧座、摆臂、第一轴承座、滚轮轴、滚轮、锁紧块、选装轴、滚轮轴同步带轮、锁紧螺母和摆臂轴的配合使用，实现摆臂摆动和滚轮转动，在一个装置内实现摆臂和滚轮的双驱动，节约空间。

2、本实用新型通过滚轮轴和选装轴设置键槽连接，锁紧座设置有锁紧块用于锁紧摆臂轴，可以实现摆臂整体上下升降微调。

附图说明

图1是本实用新型实施例双驱动摆臂装置的结构立体图；

图2是本实用新型实施例双驱动摆臂装置的结构主视图；

图3是本实用新型实施例双驱动摆臂装置的剖视图；

图4是本实用新型实施例装配摆臂后装置的结构示意图；

图5是图4中a-a向剖视图；

图6是本实用新型实施例装配摆臂后装置的结构立体图。

附图标记：1、摆臂轴同步带轮；2、第二轴承座；3、防护套；4、锁紧座；5、摆臂；6、第一轴承座；7、滚轮轴；8、滚轮；9、锁紧块；10、选装轴；11、滚轮轴同步带轮；12、锁紧螺母；13、摆臂轴。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的

技术实现要素：
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1-6所示，本实用新型提供了一种双驱动摆臂装置，包括滚轮驱动系统、摆臂驱动系统、滚轮8、摆臂5，所述摆臂5可沿摆臂驱动系统进行升降，并通过锁紧座4进行锁紧固定，以便调节摆臂5与抛光盘的距离，滚轮8位于所述摆臂5的上方。

摆臂驱动系统包括摆臂轴13和摆臂轴同步带轮1，所述摆臂轴同步带轮1套设在所述摆臂轴13下部的外侧，所述摆臂5通过锁紧座4固定套设在摆臂轴13的上部分，当所述锁紧座4处于松开状态时，所述摆臂5可沿所述摆臂轴13的上部分移动；滚轮驱动系统包括滚轮轴同步带轮11、选装轴10、滚轮轴7，所述滚轮8固定套设在滚轮轴7上，所述滚轮8与皮带连接，带动皮带转动，所述滚轮轴7套设在选装轴10的上部，并由选装轴10带动旋转，所述滚轮轴7可沿选装轴10上部上下滑动，所述滚轮轴同步带轮11固定套设在选装轴10的下端。

摆臂轴13是中空的，所述选装轴10贯穿套设在摆臂轴13内且下端伸出摆臂轴13，所述滚轮轴同步带轮11安装在选装轴10下端伸出摆臂轴13的部分，所述摆臂轴13的腔壁与所述选装轴10外壁之间安装有轴承，所述摆臂轴同步带轮1的下侧设置有锁紧螺母12，且所述锁紧螺母12位于滚轮轴同步带轮11的上侧，所述摆臂轴同步带轮1的上侧设置有第二轴承座2，所述第二轴承座2固定套设在摆臂轴13的外侧，且所述第二轴承座2和所述摆臂轴13之间安装有轴承，所述第二轴承座2外侧套设有防护套3，并且所述防护套3上部延伸出所述第二轴承座2的顶端。

滚轮轴7的上套设有第一轴承座6，所述滚轮8位于第一轴承座6的上方，所述第一轴承座6和所述滚轮轴7之间安装有轴承，所述摆臂5、锁紧座4和防护套3依次固定连接在所述第一轴承座6的下方，所述锁紧座4内设置有锁紧块9，所述滚轮轴7设置有内键槽，所述选装轴10上端设置有键槽，所述选装轴10通过键固定套设在滚轮轴7内。

采用上述方案：实现摆臂整体上下升降微调，锁紧块锁紧摆臂轴。

本实用新型的工作原理：

在使用时，摆臂轴同步带轮与滚轮轴同步带轮各由点击驱动工作，摆臂通过锁紧座上的锁紧块锁紧在摆臂轴外侧，实现摆动，选装轴通过键固定连接滚轮轴驱动滚轮转动，同时可实现摆臂整体上下升降微调与抛光盘距离。

综上：本实用新型通过设置摆臂轴同步带轮、第二轴承座、防护套、锁紧座、摆臂、第一轴承座、滚轮轴、滚轮、锁紧块、选装轴、滚轮轴同步带轮、锁紧螺母和摆臂轴配合使用，实现摆臂整体上下移动微调节与抛光盘距离。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。