技术特征：
1.一种用于在航空部件上沉积涂层的方法，包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ald)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。2.如权利要求1所述的方法，其中所述航空部件是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合，并且其中所述航空部件的所述清洁表面包括镍、镍超合金、不锈钢、钴、铬、钼、铁、钛、它们的合金或它们的任何组合。3.如权利要求1所述的方法，其中所述航空部件的所述清洁表面是所述航空部件的内表面，并且其中所述航空部件的所述清洁表面具有约5至约1,000的长宽比。4.如权利要求1所述的方法，其中在所述清洁工艺期间从所述航空部件去除污染物以产生所述清洁表面，并且其中所述污染物包括氧化物、有机残留物、碳、颗粒或它们的任何组合。5.如权利要求1所述的方法，其中所述清洁工艺包括将所述航空部件暴露于溶剂清洁、酸清洁、碱清洁、湿清洁、臭氧清洁、等离子体清洁、超声处理或它们的任何组合。6.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层包括氧化铝、氮化铝、氧氮化铝、氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、氧化铬、氧化钽、氮化钽、氧氮化钽、它们的合金或它们的任何组合。7.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层减少或抑制在燃料存在下加热所述航空部件时的焦炭形成。8.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层具有约10nm至约5,000nm的厚度，并且其中所述保护涂层具有小于5％的厚度变化。9.如权利要求1所述的方法，其中所述前驱物包括三甲基铝，并且其中所述三甲基铝具有约99.9重量％至约99.999重量％的纯度。10.如权利要求1所述的方法，其中：所述反应物包括氧化剂，并且所述氧化剂包括水、臭氧、氧(o2)、原子氧、一氧化二氮、过氧化物、醇、它们的等离子体或它们的任何组合；或者所述反应物包括氮化剂，并且所述氮化剂包括氨、原子氮、肼、它们的等离子体或它们的任何组合。11.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层包括纳米层压膜堆叠物，并且其中所述纳米层压膜堆叠物包括第一沉积层和第二沉积层，并且所述方法进一步包括沉积从2对至约500对的所述第一沉积层和所述第二沉积层，同时增大所述纳米层压膜堆叠物的厚度。12.如权利要求11所述的方法，其中每对的所述第一沉积层和所述第二沉积层具有约0.2nm至约500nm的厚度。13.如权利要求11所述的方法，进一步包括对所述航空部件进行退火，并且将所述纳米层压膜堆叠物转化为聚结膜或结晶膜。14.一种在航空部件上沉积涂层的方法，包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面，其中：所述航空部件是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合，所述航空部件的所述清洁表面是所述航空部件的内表面，并且
所述航空部件的所述清洁表面具有约5至约1,000的长宽比；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ald)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。15.一种在航空部件上沉积涂层的方法，包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面，其中所述航空部件的所述清洁表面是所述航空部件的内表面，并且其中所述航空部件的所述清洁表面具有约5至约1,000的长宽比；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ald)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层，其中所述保护涂层具有约10nm至约5,000nm的厚度，并且其中所述保护涂层具有小于50％的厚度变化。
技术总结
本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。所述保护涂层可以是防焦涂层，以减少或抑制在燃料存在下加热所述航空部件时的焦炭形成。在一个或多个实施方式中，一种用于在航空部件上沉积保护涂层的方法包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ALD)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。所述航空部件可以是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合中的一者或多者。组合中的一者或多者。
技术研发人员：大卫
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2020.03.23
技术公布日：2022/1/21