蒸镀源及蒸镀装置的制作方法

1.本申请涉及蒸镀技术领域，具体而言，本申请涉及一种蒸镀源及蒸镀装置。


背景技术：

2.oled(organic light
‑
emitting diode，有机发光二极管)器件的制作主要为精细金属掩膜(fmm mask)模式，是通过真空热蒸镀方式将oled材料按照预定程序蒸镀到玻璃背板上，利用掩膜版上的图形，形成全彩器件。
3.在蒸镀过程中，为确保生产的稳定性，蒸镀膜层的均一性对产品的影响尤其重要。但是，现有的蒸镀源经常出现镀膜均一性较差的问题，导致工厂的产能严重浪费。


技术实现要素：

4.本申请针对现有方式的缺点，提出一种蒸镀源及蒸镀装置，用以解决现有技术存在的镀膜均一性较差的技术问题。
5.第一方面，本申请实施例提供一种蒸镀源，包括：
6.蒸镀腔体，包括壳体和设于壳体内的蒸镀腔；
7.加热组件，设于壳体的外围；
8.反射组件，设于加热组件的外围，反射组件朝向壳体的一侧具有设计形状的表面，用于将加热组件的第一区域的部分热量反射到加热组件的第二区域对应的壳体的待加热区域，第一区域的温度高于第二区域的温度。
9.在一个可能的实现方式中，反射组件包括至少一个圆弧段或至少一个斜面段，设计形状的表面包括至少一个圆弧段或至少一个斜面段的表面。
10.在一个可能的实现方式中，设计形状的表面包括至少两个圆弧段依次连接形成的波浪形表面；或者，
11.设计形状的表面包括至少两个斜面段依次连接形成的波浪形表面。
12.在一个可能的实现方式中，反射组件沿平行于壳体的底面的横截面呈波浪状。
13.在一个可能的实现方式中，圆弧段的半径范围为10毫米
‑
30毫米；或者，
14.斜面段与对应的加热组件之间的夹角范围为10
°‑
60
°
。
15.在一个可能的实现方式中，壳体为方形壳体，蒸镀腔为方形空间。
16.在一个可能的实现方式中，反射组件包括至少一个第一反射板和至少一个第二反射板；
17.第一反射板和第二反射板相对设置，且均沿第一方向设置；第一方向为壳体的长度方向；
18.第一反射板和第二反射板朝向壳体的一侧均具有设计形状的表面。
19.在一个可能的实现方式中，壳体为矩形壳体；
20.反射组件的第一位置与加热组件在第二方向的间距为10毫米
‑
20毫米；第一位置为反射组件与加热组件最靠近的位置，第二方向为壳体的宽度方向；和/或，
21.反射组件的第二位置与加热组件在第二方向的间距为30毫米
‑
40毫米，第二位置为反射组件与加热组件最远离的位置。
22.在一个可能的实现方式中，反射组件包括反射板本体和反射层；
23.反射层设于反射板本体靠近加热组件的一侧；
24.反射层朝向壳体的一侧具有设计形状的表面。
25.第二方面，本申请实施例提供一种蒸镀装置，包括：如第一方面的蒸镀源。
26.本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括：
27.本申请实施例的蒸镀源在加热组件的外围设有反射组件，反射组件朝向壳体的一侧具有设计形状的表面，可以将加热组件的第一区域的部分热量反射到加热组件的第二区域对应的壳体的待加热区域，相当于可以将高温区域的部分热量反射到低温区域，从而使得壳体的各部位加热较均匀，提高镀膜的均一性，从而提高了产品的稳定性，以避免由于镀膜的均一性差而带来的不能连续生产以及设备异常停机的问题，进而提高工厂的产能。
28.本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
29.本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
30.图1为本申请实施例提供的一种蒸镀源的俯视结构示意图；
31.图2为本申请实施例提供的另一种蒸镀源的俯视结构示意图；
32.图3为本申请实施例提供的一种蒸镀源的右视结构示意图；
33.图4为本申请实施例提供的另一种蒸镀源的右视结构示意图；
34.图5为本申请实施例提供的又一种蒸镀源的右视结构示意图。
35.附图标记：
36.100
‑
蒸镀腔体、110
‑
壳体、120
‑
蒸镀腔；
37.200
‑
加热组件；
38.300
‑
反射组件，310
‑
第一反射板、320
‑
第二反射板；
39.400
‑
喷嘴；
40.r1
‑
第一区域；
41.r2
‑
第二区域；
42.a
‑
第一方向；
43.b
‑
第二方向。
具体实施方式
44.下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
45.本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术
语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
46.本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
47.下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
48.本申请实施例提供一种蒸镀源，参见图1和图2所示，该蒸镀源包括：蒸镀腔体100、加热组件200和反射组件300。
49.蒸镀腔体100包括壳体110和设于壳体110内的蒸镀腔120。
50.加热组件200设于壳体110的外围。
51.反射组件300设于加热组件200的外围，反射组件300朝向壳体110的一侧具有设计形状的表面，用于将加热组件200的第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域，第一区域r1的温度高于第二区域r2的温度。
52.可选地，蒸镀腔120用于容纳蒸镀材料。
53.本申请的发明人进行研究发现，在蒸镀过程中，镀膜的均一性受加热组件200的加热均一性影响很大，局部位置加热不均匀将导致镀膜的均一性变差。同时，由于蒸镀源安装在设备中存在散热现象，也会导致镀膜出现均一性较差的现象。
54.基于上述分析，本申请实施例的蒸镀源在加热组件200的外围设有反射组件300，反射组件300朝向壳体110的一侧具有设计形状的表面，可以将加热组件200的第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域，相当于可以将高温区域的部分热量反射到低温区域，从而使得壳体110的各部位加热较均匀，提高镀膜的均一性，提高了产品的稳定性，以避免由于镀膜的均一性差而带来的不能连续生产以及设备异常停机的问题，进而提高工厂的产能。
55.在一些实施例中，反射组件300包括至少一个圆弧段或至少一个斜面段，设计形状的表面包括至少一个圆弧段或至少一个斜面段的表面。
56.本申请实施例的圆弧段和斜面段的设置与第一区域r1、第二区域r2的位置相匹配，可以实现第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域的功能。
57.在一些实施例中，设计形状的表面包括至少两个圆弧段依次连接形成的波浪形表面。
58.在一些实施例中，设计形状的表面包括至少两个斜面段依次连接形成的波浪形表面。
59.本申请实施例可以只在反射组件300朝向壳体110的一侧设置波浪形的表面，以实现第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域的功能。
60.在一些实施例中，反射组件300沿平行于壳体110的底面的横截面呈波浪状。
61.可选地，参见图1所示，反射组件300沿平行于壳体110的底面的横截面的波浪状由多个圆弧段依次连接形成。
62.在一些实施例中，参见图1所示，圆弧段的半径范围为10毫米
‑
30毫米。
63.可选地，参见图1所示，圆弧段的半径为20毫米。
64.可选地，本申请实施例的所有数值范围均包括端点值，例如圆弧段的半径可以为10毫米或30毫米。
65.可选地，参见图2所示，反射组件300沿平行于壳体110的底面的横截面的波浪状由多个斜面段依次连接形成。
66.在一些实施例中，参见图2所示，斜面段与对应的加热组件200之间的夹角α范围为10
°‑
60
°
。可选地，斜面段与对应的加热组件200在平行于壳体110的底面的截面的夹角α范围为10
°‑
60
°
67.可选地，斜面段与对应的加热组件200之间的夹角α范围可选用10
°
或60
°
。
68.可选地，参见图2所示，斜面段与对应的加热组件200之间的夹角α范围为15
°‑
45
°
。斜面段与对应的加热组件200在平行于壳体110的底面的截面的夹角α范围为15
°‑
45
°
。
69.可选地，斜面段与对应的加热组件200之间的夹角α范围可选用15
°
和45
°
。
70.可选地，参见图2所示，所有斜面段与对应的加热组件200之间的夹角相同。相邻的斜面段之间的夹角为60
°‑
160
°
。
71.可选地，相邻的斜面段之间的夹角可选用60
°
或160
°
。
72.可选地，相邻的斜面段之间的夹角为90
°‑
150
°
。
73.可选地，相邻的斜面段之间的夹角可选用90
°
或150
°
。
74.可选地，参见图1和图2所示，本申请实施例采用圆弧段和斜面段的形状，可以在弯折位置实现散射功能，图中箭头示意出散射的方向。通过散射功能可以实现将加热组件200的第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域。
75.本申请实施例的波形周期可以根据第一区域r1和第二区域r2的位置对应调整，以实现壳体110的均匀加热。
76.在一些实施例中，参见图3至图5所示，壳体110为方形壳体。
77.可选地，参见图1和图2所示，反射组件300的第一位置与加热组件200在第二方向b的间距l1为10毫米
‑
20毫米；第一位置为反射组件300与加热组件200最靠近的位置，第二方向b为壳体110的宽度方向。
78.可选地，参见图1和图2所示，反射组件300的第二位置与加热组件200在第二方向b的间距l2为30毫米
‑
40毫米，第二位置为反射组件300与加热组件200最远离的位置。
79.可选地，反射组件300的第二位置与加热组件200在第二方向b的间距l2可选用30毫米或40毫米。
80.在一些实施例中，参见图3至图5所示，壳体110为方形壳体110，蒸镀腔120为方形空间。
81.可选地，蒸镀源为蒸镀线源。蒸镀腔体100为蒸镀线源的坩埚。
82.在一些实施例中，参见图1和图2所示，反射组件300包括至少一个第一反射板310和至少一个第二反射板320。第一反射板310和第二反射板320相对设置，且均沿第一方向a设置；第一方向a为壳体110的长度方向。第一反射板310和第二反射板320朝向壳体110的一侧均具有设计形状的表面。
83.在一些实施例中，反射组件300包括反射板本体和反射层。
84.反射层设于反射板本体靠近加热组件200的一侧。
85.反射层朝向壳体110的一侧具有设计形状的表面。
86.可选地，反射板本体沿平行于壳体110的底面的横截面呈波浪状，反射层沿平行于壳体110的底面的横截面呈波浪状。
87.可选地，反射层朝向壳体110的一侧具有至少一个圆弧段或至少一个斜面段的表面，至少一个圆弧段或至少一个斜面段的表面对应设有一层反射层。
88.可选地，反射层朝向壳体110的一侧具有至少两个圆弧段或至少两个斜面段形成的波浪形的表面，波浪形的表面对应设有一层反射层。
89.可选地，反射层采用热反射材料制成，热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧化铝掺杂的nazn(po4)。反射层也可以采用铝或银等具有热反射功能的金属材质制成。
90.可选地，参见图3至图5所示，加热组件200包括多圈环绕在壳体110外围的加热丝。具体地，加热组件200包括第一组加热丝和第二组加热丝，第一组加热丝和第二组加热丝分别沿壳体110的高度方向间隔设置。
91.可选地，参见图3至图5所示，蒸镀腔120容纳有蒸镀材料。壳体110的顶部设有至少一个喷嘴400，用于将蒸镀材料附着在基板上，蒸镀时保持线源内外部的真空状态，由加热丝对壳体110进行加热蒸发内部的材料，同时冷却装置冷却壳体110外壁，防止热量太高损坏线源外部的设备。
92.可选地，参见图3至图5所示，一个第一反射板310和一个第二反射板320分别设置在壳体110相对的两侧外部，第一反射板310和第二反射板320相对于壳体110的中轴线对称设置。
93.作为一种示例，参见图3所示，第一反射板310和第二反射板320沿壳体110的高度方向设有两个间隔的圆弧段表面，两个圆弧段表面分别与第一组加热丝和第二组加热丝相对应。
94.作为另一种示例，参见图4所示，第一反射板310和第二反射板320沿壳体110的高度方向分别设有一个斜面段，斜面段朝远离壳体110的方向倾斜设置，即在平行于壳体110的底面的截面上，第一反射板310的斜面段顶部与壳体110间距小于第一反射板310的斜面段底部与壳体110间距，第二反射板320的斜面段顶部与壳体110间距小于第二反射板320的斜面段底部与壳体110间距。
95.作为又一种示例，参见图5所示，第一反射板310和第二反射板320为两个倾斜设置的反射板，第一反射板310和第二反射板320均朝远离壳体110的方向倾斜设置，即在平行于壳体110的底面的截面上，第一反射板310顶部与壳体110间距小于第一反射板310底部与壳体110间距，第二反射板320顶部与壳体110间距小于第二反射板320底部与壳体110间距。
96.可选地，本申请实施例的第一反射板310和第二反射板320的倾斜结构，可以将壳
体110顶部多余的热量反射给壳体110底部材料区域，提高加热效率。
97.可选地，蒸镀源包括至少两个第一反射板310和至少两个第二反射板320，至少两个第一反射板310和至少两个第二反射板320均沿壳体110的高度方向间隔设置。
98.可选地，相邻的第一反射板310在沿壳体110的高度方向的间距小于10毫米；和/或，相邻的第二反射板320在沿壳体110的高度方向间距小于10毫米。
99.基于同一发明构思，本申请实施例提供一种蒸镀装置，包括：如本申请任一实施例的蒸镀源。
100.应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：
101.(1)本申请实施例可以将高温区域的部分热量反射到低温区域，从而使得壳体110的各部位加热较均匀，提高镀膜的均一性，从而提高了产品的稳定性，以避免由于镀膜的均一性差而带来的不能连续生产以及设备异常停机的问题，进而提高工厂的产能。
102.(2)本申请实施例可以朝向壳体110的一侧具有圆弧段或斜面段的表面、采用圆弧段或斜面段形成波浪形等结构形式，可以在弯折位置实现散射功能，从而实现将加热组件200的第一区域r1的部分热量反射到加热组件200的第二区域r2对应的壳体110的待加热区域，实现壳体110各部位的均匀加热。而且，本申请实施例可以根据实际应用调整反射组件300的形状和尺寸，进一步保障壳体110的各部位加热均匀，提高镀膜的均一性，提高产品质量。
103.(3)本申请实施例的第一反射板310和第二反射板320分别设有一个斜面段，或者第一反射板310和第二反射板320倾斜设置，可以将壳体110顶部多余的热量反射给壳体110底部材料区域，提高加热效率。
104.本技术领域技术人员可以理解，本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
105.在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
106.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
107.在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
108.在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
109.应该理解的是，虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，其可以以其他的顺序执行。而且，附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，其执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
110.以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。