技术特征：
1.一种脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，包括：靶台，其安装于安装法兰盘上，且所述靶台包括：公转平台，其采用无磁材料制成，其被配置为能够绕其中心轴旋转；以及至少一个靶位，其垂直设置于所述公转平台上，采用无磁材料制成，所述靶位被配置为能够绕其自身的中心轴旋转，且各靶位互不接触；以及控制模块，其被配置为能够控制所述公转平台及靶位的旋转以及靶台的运动。2.如权利要求1所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述靶位包括：靶槽，连接至所述公转平台；以及靶托，包括把手，所述靶托与所述靶槽适配，且被配置为能够与靶材固定连接，所述把手被配置为能够与真空腔体上的传样机械手配合实现真空原位靶材替换。3.如权利要求1所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述控制模块包括：公转控制模块，其被配置为能够控制所述公转平台旋转，且包括第一电机及第一传动机构；自转控制模块，其被配置为能够控制所述靶位旋转，且包括第二电机及第二传动机构；平移控制模块，其被配置为能够驱动所述靶台在垂直于其中心轴的平面内平移，包括第三电机及第三传动机构；以及垂直位移控制模块，其被配置为能够驱动所述靶台沿其中心轴方向移动，包括手轮及第四传动机构。4.如权利要求3所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述第一传动机构采用无磁材料制成，且包括：公转主动皮带轮，连接于所述第一电机的转轴上；公转从动皮带轮，与所述公转主动皮带轮耦合；公转传动齿轮，通过真空磁耦装置与所述公转从动皮带轮连接；以及公转从动齿轮，与所述公转传动齿轮耦合，且与所述公转平台固定连接。5.如权利要求4所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述第二传动机构采用无磁材料制成，且包括：自转主动皮带轮，连接于所述第二电机的转轴上；自转从动皮带轮，与所述自转主动皮带轮耦合；自转传动齿轮组件，包括：第一传动齿轮，通过真空磁耦装置与所述自转从动皮带轮连接；第二传动齿轮，与所述第一传动齿轮耦合；传动杆，其两端分别连接至第二传动齿轮以及第三传动齿轮；以及第三传动齿轮；以及自转从动齿轮，与所述第三传动齿轮耦合，且与所述靶位固定连接。6.如权利要求5所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述自转从动齿轮通过螺栓连接至所述靶位的底部，和/或所述公转从动齿轮通过螺栓连接至所述公转平台的底部，且所述螺栓为无磁材料制成。7.如权利要求5所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述自转从动皮带轮与
所述公转从动皮带轮共轴，以及所述公转传动齿轮与所述第一传动齿轮共轴。8.如权利要求3所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述第一电机和/或第二电机和/或第三电机为步进电机，且包括角位置传感器。9.如权利要求1所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，所述装置还包括屏蔽罩，其采用无磁材料制成，且至少包覆所述靶台，所述屏蔽罩顶部设置有通孔，所述通孔的大小不小于所述靶位的上表面面积，所述通孔上设置有可开合的挡板。10.如权利要求9所述的脉冲激光分子束外延装置，其特征在于，还包括冷却液储液槽，所述冷却液储液槽固定于所述屏蔽罩的底部，且所述安装法兰盘包括冷却液进口及出口，所述冷却液进口及出口通过不锈钢螺旋管道与所述冷却液储液槽连通。
技术总结
本发明公开一种脉冲激光分子束外延装置，包括靶台及控制模块。其中，靶台安装于安装法兰盘上，且包括无磁材料制成的公转平台及垂直设置于公转平台上的至少一个靶位，公转平台及靶位能够在控制模块的控制下分别绕各自的中心轴旋转，此外，各靶位之间互不干涉。同时，控制模块还可以驱动靶台的运动。制模块还可以驱动靶台的运动。制模块还可以驱动靶台的运动。
技术研发人员：艾金虎 殷立峰
受保护的技术使用者：复旦大学
技术研发日：2021.10.22
技术公布日：2022/1/21