一种智能化高效环保真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种智能化高效环保真空镀膜设备。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机工作时，需要先抽真空，使真空室处于真空状态，再进行镀膜；镀膜完成后，需要向真空室充气。
3.现有的真空镀膜机大多数不具有主动真空检测，无法检测各个位置的真空状态，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能，导致生产过程中产品的性能不够稳定，从而影响到产品质量，降低了产品的量产率；因此，提出一种智能化高效环保真空镀膜设备。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种智能化高效环保真空镀膜设备，解决现有的真空镀膜机大多数不具有主动真空检测，无法检测各个位置的真空状态，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能，导致生产过程中产品的性能不够稳定，从而影响到产品质量，降低了产品的量产率的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
6.本实用新型为一种智能化高效环保真空镀膜设备，包括基板和真空镀膜机，所述真空镀膜机安装于基板上表面，所述真空镀膜机前端面安装有真空检测机体，所述真空镀膜机内部安装有驱动板，所述驱动板内部开设有滑槽，所述滑槽内部转动连接有丝杆，所述丝杆周侧面螺纹配合有滑座，所述滑座底面设置有真空检测头，所述真空检测头与真空检测机体通信连接，丝杆旋转，丝杆与滑座螺纹配合，从而使滑座横向位移，滑座带动真空检测头对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率。
7.所述滑槽底面贯穿有通槽，所述滑座与通槽滑动配合，所述滑座底面安装有安装板，所述安装板底面安装有气缸，所述气缸输出端安装真空检测头，气缸带动真空检测头上下升降，提升真空检测头检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准，通过真空检测机体可以方便的进行观察。
8.所述通槽相对两侧壁均设置有密封带。
9.所述丝杆一端安装有伺服电机，所述真空镀膜机后端面固定连接有置物板，所述伺服电机位于置物板上表面，所述丝杆周侧安装有密封环，所述密封环位置与真空镀膜机相适应，通过伺服电机可以带动丝杆旋转，密封带和密封环提升丝杆位置的密封性，避免外界气体进入真空室内。
10.所述基板上表面安装有抽气箱，所述抽气箱与真空镀膜机之间连接有抽气管。
11.所述基板上表面还安装有补气箱，所述补气箱与真空镀膜机之间连接有补气管，抽气箱和补气箱可以对真空室的真空度进行平衡。
12.所述基板底面固定连接有若干支撑柱。
13.本实用新型具有以下有益效果：
14.本实用新型通过设置驱动板、丝杆、滑座、真空检测头和真空检测机体，带动真空检测头对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率；通过气缸带动真空检测头上下升降，提升真空检测头检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准；通过设置密封带和密封环，提升丝杆位置的密封性，避免外界气体进入真空室内。
15.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为一种智能化高效环保真空镀膜设备的等轴侧立体结构示意图；
18.图2为一种智能化高效环保真空镀膜设备的上视结构示意图；
19.图3为图2中a-a剖面结构示意图；
20.图4为图3中b部分局部放大图；
21.图5为一种智能化高效环保真空镀膜设备的左侧立体结构示意图。
22.附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、基板；2、真空镀膜机；3、支撑柱；4、驱动板；5、滑槽；6、丝杆；7、滑座；8、通槽；9、密封带；10、安装板；11、气缸；12、真空检测头；13、置物板；14、伺服电机；15、密封环；16、真空检测机体；17、抽气箱；18、抽气管；19、补气箱；20、补气管。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
25.请参阅图1-5所示，本实用新型为一种智能化高效环保真空镀膜设备，包括基板1和真空镀膜机2，真空镀膜机2安装于基板1上表面，真空镀膜机2前端面安装有真空检测机体16，真空镀膜机2内部安装有驱动板4，驱动板4内部开设有滑槽5，滑槽5内部转动连接有丝杆6，丝杆6周侧面螺纹配合有滑座7，滑座7底面设置有真空检测头12，真空检测头12与真空检测机体16通信连接，丝杆6旋转，丝杆6与滑座7螺纹配合，从而使滑座7横向位移，滑座7
带动真空检测头12对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率。
26.滑槽5底面贯穿有通槽8，滑座7与通槽8滑动配合，滑座7底面安装有安装板10，安装板10底面安装有气缸11，气缸11输出端安装真空检测头12，气缸11带动真空检测头12上下升降，提升真空检测头12检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准，通过真空检测机体16可以方便的进行观察；通槽8相对两侧壁均设置有密封带9。
27.丝杆6一端安装有伺服电机14，真空镀膜机2后端面固定连接有置物板13，伺服电机14位于置物板13上表面，丝杆6周侧安装有密封环15，密封环15位置与真空镀膜机2相适应，通过伺服电机14可以带动丝杆6旋转，密封带9和密封环15提升丝杆6位置的密封性，避免外界气体进入真空室内。
28.基板1上表面安装有抽气箱17，抽气箱17与真空镀膜机2之间连接有抽气管18；基板1上表面还安装有补气箱19，补气箱19与真空镀膜机2之间连接有补气管20，抽气箱17和补气箱19可以对真空室的真空度进行平衡；基板1底面固定连接有若干支撑柱3。
29.如图1-5所示本实施例为一种智能化高效环保真空镀膜设备的使用方法：通过伺服电机14可以带动丝杆6旋转，丝杆6旋转，丝杆6与滑座7螺纹配合，从而使滑座7横向位移，滑座7带动真空检测头12对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，气缸11带动真空检测头12上下升降，提升真空检测头12检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准；密封带9和密封环15提升丝杆6位置的密封性，避免外界气体进入真空室内；抽气箱17和补气箱19可以对真空室的真空度进行平衡；伺服电机14型号为5ik-5gu-10k；真空检测机体16型号为ls11z-100。
30.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
31.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。