一种LPCVD晶舟旋转装置的制作方法

一种lpcvd晶舟旋转装置
技术领域
1.本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种lpcvd晶舟旋转装置。


背景技术：

2.spt ono型号的lpcvd设备在工艺时时常发生lpcvd晶舟旋转控制器停止并报警，观察发现旋转电机时而卡顿时而停止旋转。实验人员在经过如下宕机测试：首先手动控制lpcvd晶舟旋转控制器旋转，硅片承载装置出现卡顿；但更换至硅片承载装置后仍旧卡顿，所以排除磁流体问题。随后拆除皮带，电机空转时多次触发lpcvd晶舟旋转控制器停止并报警，并且电机停止转动，所以排除传动系统问题。再次更换旋转电机，测试同样有几率发生lpcvd晶舟旋转控制器停止并报警，因此排除马达问题。而在测试更换控制器前后输出电压相同，更换控制器后测试仍有报警，同样排除控制器问题。虽然经过种种尝试和努力，长期以来，仍然没有找到lpcvd晶舟旋转控制器时而卡顿时而停止旋转并报警的原因，然而，解决上述缺陷是保证后续工艺能否顺利进行的关键。
3.因此，如何提供一种lpcvd晶舟旋转装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，从而保障后续工艺的顺利进行，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种lpcvd晶舟旋转装置，以解决现有技术中存在的spt ono型号的lpcvd设备由于工艺时间较长，lpcvd晶舟旋转控制器温度升高引起停止旋转和报警等失效问题。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种lpcvd晶舟旋转装置，包括lpcvd晶舟旋转控制器和盖板，其中，所述盖板靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器的其中一侧；还包括靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器设置的冷却装置，所述冷却装置设置在所述盖板上，且位于所述盖板面向所述lpcvd晶舟旋转控制器的一侧。
6.优选地，所述冷却装置边缘覆盖所述lpcvd晶舟旋转控制器与所述冷却装置相对的一侧侧面边缘。
7.优选地，所述冷却装置面向所述lpcvd晶舟旋转控制器的一面与所述lpcvd晶舟旋转控制器之间具有间隙。
8.优选地，所述冷却装置固定方式包括胶接/螺栓连接。
9.优选地，还包括隔板与plc模块；
10.所述隔板与所述盖板相连，且将所述盖板分为lpcvd晶舟旋转控制器侧盖板和plc模块侧盖板；
11.所述冷却装置位于所述lpcvd晶舟旋转控制器侧盖板上；
12.所述lpcvd晶舟旋转控制器和所述plc模块分别位于所述隔板两侧；且所述plc模块与所述lpcvd晶舟旋转控制器位于所述盖板的同一侧。
13.优选地，所述冷却装置包括冷却风扇，所述一种lpcvd晶舟旋转装置还包括与所述
冷却风扇相连的供给电源。
14.优选地，还包括plc风扇，所述plc风扇位于所述plc模块侧盖板上。
15.优选地，所述冷却风扇和所述plc风扇共用所述供给电源。
16.优选地，所述冷却风扇与所述plc风扇采用并联方式连接所述供给电源。
17.优选地，所述供给电源包括24v电源。
18.与现有技术相比，本实用新型提供的一种lpcvd晶舟旋转装置具有以下有益效果：
19.本实用新型提供的一种lpcvd晶舟旋转装置，包括lpcvd晶舟旋转控制器和盖板，靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器设置的冷却装置，其中，所述盖板靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器的其中一侧；所述冷却装置设置在所述盖板上，且位于所述盖板面向所述lpcvd晶舟旋转控制器的一侧。由此，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置通过所述冷却装置对工作状态下的所述lpcvd晶舟旋转控制器进行冷却散热，保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器在工作运行期间其温度保持在设计工作温度50℃内，减少了报警概率，从而保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器能够长时间的正常工作。
附图说明
20.图1为现有技术中lpcvd晶舟旋转装置示意图；
21.图2为本实用新型一实施例提供的一种lpcvd晶舟旋转装置示意图；
22.图3为本实用新型一实施例提供的一种lpcvd晶舟旋转装置中plc风扇与冷却风扇电路连接方式示意图。
23.其中，100-lpcvd晶舟旋转控制器，200-plc模块，300-隔板，400-plc风扇，500-冷却装置，600-盖板。
具体实施方式
24.下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本实用新型的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
25.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.在具体介绍本实用新型提出的一种lpcvd晶舟旋转装置之前，有必要对本实用新
型的发明人在提出该实用新型的过程中所作的探究做以下必要说明：
27.本实用新型的核心目的在于提供一种lpcvd晶舟旋转装置，以解决lpcvd晶舟旋转控制器100引起报警等失效问题。为了实现上述思想，本实用新型的发明人经过不断深入的研究和大量的试验实践，在反复确认排除了上述可能的故障原因后，检查发现当lpcvd晶舟旋转控制器100温度较高，且在长时间工作后，所述lpcvd晶舟旋转控制器100温度已经超过了其设计工作温度50℃。参见附图1，附图1为现有技术中lpcvd晶舟旋转装置示意图，从图中可以看出，对比其背面的plc模块200有风扇进行冷却，经过不断尝试和求证发现，对所述lpcvd晶舟旋转控制器100进行冷却降温，能够显著解决时而卡顿时而停止旋转的问题发生。
28.基于此，本实用新型提供了一种lpcvd晶舟旋转装置，包括lpcvd晶舟旋转控制器100和盖板600，其中，所述盖板600靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100的其中一侧；还包括靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100设置的冷却装置500，所述冷却装置500设置在所述盖板600上，且位于所述盖板600面向所述lpcvd晶舟旋转控制器100的一侧。
29.实施例一
30.本实施例提供了一种lpcvd晶舟旋转装置，参见附图2，附图2为本实用新型一实施例提供的lpcvd晶舟旋转装置示意图，从图2可以看出，本实施例提供的lpcvd晶舟旋转装置包括lpcvd晶舟旋转控制器100和盖板600，其中，所述盖板600靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100的其中一侧；还包括靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100设置的冷却装置500，所述冷却装置500设置在所述盖板600上，且位于所述盖板600面向所述lpcvd晶舟旋转控制器100的一侧。
31.本实用新型提供的所述lpcvd晶舟旋转装置，将所述冷却装置500设置在所述盖板600上，且位于所述盖板600面向所述lpcvd晶舟旋转控制器100的一侧，如此配置，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置使得所述冷却装置500能对工作状态下的所述lpcvd晶舟旋转控制器100进行冷却散热。保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100在长时间的工作运行后其温度仍然保持在设计工作温度50℃内，从而降低了报警概率，保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100后续能够长时间的正常工作。
32.在其中一种优选实施方式中，所述冷却装置500边缘覆盖所述lpcvd晶舟旋转控制器100与所述冷却装置500相对的一侧侧面边缘。如此设置，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置使得所述冷却装置500的功能得到最大利用，所述lpcvd晶舟旋转控制器100在持续工作中能够得到来自所述冷却装置500最有效的降温效果。从而保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100在工作运行期间其温度保持在设计工作温度50℃内，减少了报警概率，同时保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100能够长时间的正常工作。
33.优选地，所述冷却装置500面向所述lpcvd晶舟旋转控制器100的一面与所述lpcvd晶舟旋转控制器10之间具有间隙。由于所述lpcvd晶舟旋转控制器100所处空间有限，所述lpcvd晶舟旋转控制器100侧面与所述盖板600之间相对距离小，且相对距离改变的可操作性小。由此，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置使得工作人员在对所述冷却装置500进行安装时，操作更加方便。同时避免了所述冷却装置500与所述lpcvd晶舟旋转控制器100间直接接触，可能导致的所述冷却装置500与所述lpcvd晶舟旋转控制器100在工作过程中，轻微的颤抖而引起的相对摩擦，从而损坏所述冷却装置500与所述lpcvd晶舟旋转控制器100。
34.优选地，所述冷却装置500固定方式包括胶接/螺栓连接。其中，采用胶接方式作为固定连接，胶接的应力分布均匀，能均匀地分布在整个胶接面上，提高接头处抗疲劳强度和使用寿命，提高构件的动态性能，不像螺接那样需要钻孔，产生应力集中。同时具有密封、绝缘、隔热、防潮和减震的功能。可以连接各种相同或不同的材料，工艺简单，生产效率高等优点。但采用胶接方式所连接的部件间相较于其他连接方式强度低，耐高、低温性较差，容易有老化问题。而采用螺栓连接，通孔的加工要求低，结构简单，装拆方便。但用于被连接件之一较厚时，不适宜用螺栓连接，较厚的被连接件强度较差。本领域的技术人员可以理解的，具体采用那种连接方式，可根据实验人员对冷却装置500的安装要求而定，本实用新型不做特殊规定。
35.在其中一种优选实施方式中，所述lpcvd晶舟旋转装置还包括隔板300与plc模块200；所述隔板300与所述盖板600相连，且将所述盖板600分为lpcvd晶舟旋转控制器侧盖板和plc模块侧盖板；所述冷却装置500位于所述lpcvd晶舟旋转控制器侧盖板上；所述lpcvd晶舟旋转控制器100和所述plc模块200分别位于所述隔板300两侧；且所述plc模块200与所述lpcvd晶舟旋转控制器100位于所述盖板600的同一侧。如此配置，所述隔板300能够减少所述lpcvd晶舟旋转控制器100与所述plc模块200之间的热传递。
36.在其中一种优选实施方式中，所述冷却装置500包括冷却风扇，所述一种lpcvd晶舟旋转装置还包括与所述冷却风扇相连的供给电源(图中未标识)。所述供给电源为所述冷却风扇提供电能，由此，所述冷却风扇能对工作状态下的所述lpcvd晶舟旋转控制器100进行冷却散热。保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100在长时间的工作运行后其温度仍然保持在设计工作温度50℃内，从而降低了报警概率，保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100后续能够长时间的正常工作。
37.优选地，继续参见附图2，所述lpcvd晶舟旋转装置还包括plc风扇400，所述plc风扇400位于所述plc模块侧盖板上。从图中可以明显看出，所述plc风扇400使得所述plc模块200工作温度始终保持在设计温度内，保证了本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置后续工作的正常进行。
38.优选地，所述冷却风扇和所述plc风扇400共用所述供给电源。其中，所述供给电源为原lpcvd旋转装置中为plc风扇400提供电能的电源部件。由此，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置无需加装另外的电源部件，也能达到给冷却风扇提供电能的目的，保证了后续冷却风扇的正常工作。同时，由于所述lpcvd晶舟旋转控制器100所处位置空间有限，所述供给电源在提供电能的同时无须额外占据所述lpcvd晶舟旋转控制器100所处位置的剩余空间。
39.在其中一种优选实施方式中，所述冷却风扇与所述plc风扇400采用并联方式连接所述供给电源。具体地请参见附图3，附图3为lpcvd晶舟旋转装置中plc风扇400和冷却风扇的电路连接方式示意图，采用并联的方式能够保证所述plc风扇400与所述冷却风扇之间互不影响，各自独立工作，即使两者中任意一个出现问题，另外一个也能正常工作。
40.在其中一种优选实施方式中，所述供给电源包括24v电源。24v电源一般具有耐热性、耐湿性和短路保护，具有耐持续短路和自动恢复能力。既能满足所述冷却风扇的用电环境也能满足所述冷却风扇的用电量需求。同时，所述24v电源的体积可以做到很小，便于在所述lpcvd晶舟旋转装置本就有限的空间内进行安装，同时不影响所述lpcvd晶舟旋转装置
内其他部件的位置关系。
41.虽然上述实施方式以冷却风扇为例对本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置进行说明，本领域的技术人员可以理解的，所述冷却装置也可以为其他散热器、以水或空气为冷却剂的冷却器，在此不再一一赘述。
42.另外，在本文各个实施方式中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明说中的各个组件。元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
43.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
44.综上，在本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置中，包括lpcvd晶舟旋转控制器100和盖板600，靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100设置的冷却装置500，其中，所述盖板600靠近所述lpcvd晶舟旋转控制器100的其中一侧；所述冷却装置500设置在所述盖板600上，且位于所述盖板600面向所述lpcvd晶舟旋转控制器100的一侧。由此，本实用新型提供的lpcvd晶舟旋转装置通过所述冷却装置500对工作状态下的所述lpcvd晶舟旋转控制器100进行冷却散热。保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100在工作运行期间其温度保持在设计工作温度50℃内，减少了报警概率，从而保障了所述lpcvd晶舟旋转控制器100能够长时间的正常工作。
45.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。