一种蒸镀用的坩埚的制作方法

1.本实用新型涉及坩埚领域，尤其涉及一种蒸镀用的坩埚。


背景技术：

2.有机发光二极管(organic light-emitting diode，oled) 具有轻薄、易于柔性化、自发光等众多优点，已经广泛应用在手机、手环、智能手表等领域，是当前最具有发展前景的一种显示技术。
3.作为oled面板发光单元核心部分的oled器件，由有机薄膜和无机薄膜堆叠而成。物理气相沉积法是制备oled器件的主流方法：即将盛有材料的坩埚放置在真空腔中，对坩埚加热使得材料气化或者升华，材料蒸气沉积在温度较低的基板上，形成多层膜结构的oled器件。
4.坩埚是蒸镀过程中需要用到的一个关键部件，一般坩埚由耐高温的金属或者非金属材料制成。坩埚主要分为点源和线源两种形式。生产线上使用的有机材料坩埚以线源为主，线源的整体形状呈长方体，主要分为上盖和下部的坩埚本体两部分，两者之间用螺栓连接，上盖和本体之间有耐高温的密封垫圈。有机材料放置在坩埚本体部分。上盖上有若干个通孔，材料气化或升华之后由上盖的通孔喷出。加料时，将螺栓取下，分开上盖和本体，将材料平铺在坩埚本体的底部，然后在将上盖和本体用螺栓锁紧。


技术实现要素：

5.为了克服现有技术中的不足之处，本实用新型提出一种结构简单，加料方便，有利于加料的作业效率的蒸镀用的坩埚。
6.为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.一种蒸镀用的坩埚，包括坩埚主体，所述坩埚主体的盖体和下部为一体成型结构，坩埚主体内部设有用于装纳有机材料的内槽，所述坩埚主体的一端面上设有取放口，所述内槽能够通过取放口从坩埚主体内部取出或放入坩埚主体内，所述取放口上固定有可拆装的阀门。
8.进一步的，所述阀门与取放口之间通过楔形面配合，所述阀门周边通过螺栓与坩埚主体的端面螺纹连接固定。
9.进一步的，所述坩埚主体下部呈上大下小的形状，所述内槽的形状与坩埚主体下部的形状相适配。
10.进一步的，所述坩埚主体下部的两侧壁呈对称的倾斜状，所述内槽的两侧壁与坩埚主体下部的两侧壁形状相适配。
11.进一步的，所述坩埚主体下部两侧壁与水平面的夹角范围为45-70
°
。
12.进一步的，所述内槽与坩埚主体的内侧壁之间设有导热层。
13.进一步的，所述导热层为石墨层。
14.本实用新型采用以上技术方案，具有以下有益技术效果：
15.1、该坩埚为一体成型，内部有内槽，内槽可以通过坩埚侧面的取放口取出，结构简单，有机材料加料方便，有利于提高加料的作业效率；
16.2、该坩埚便于拆装，可以提高作业效率；
17.3、该坩埚的侧壁可以呈倾斜状，便于坩埚侧壁和内槽之间的紧密贴合，提高热传导性；
18.4、该坩埚的侧壁和内槽的侧壁之间可以有导热层，以进一步改善坩埚内部的热传递。
附图说明
19.以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明；
20.图1为本实用新型实施例1的主视图；
21.图2为本实用新型实施例1的侧视图；
22.图3为图1中的局部示意图；
23.图4为本实用新型实施例2的侧视图。
具体实施方式
24.如图1-4之一所示，本实用新型一种蒸镀用的坩埚，包括坩埚主体1，所述坩埚主体1的盖体和下部为一体成型结构，坩埚主体1内部设有用于装纳有机材料的内槽2，所述坩埚主体1的一端面上设有取放口11，所述内槽2能够通过取放口11从坩埚主体内部取出或放入坩埚主体1内，所述取放口11上固定有可拆装的阀门3。
25.坩埚主体1可以由ti、fe或ni等耐高温的金属材料组成，也可以由pbn，石墨，氧化铝等耐高温的非金属材料构成。
26.所述阀门3与取放口11之间通过楔形面配合，所述阀门3周边通过螺栓与坩埚主体1的端面螺纹连接固定，通过调整螺栓的锁紧程度来调节阀门3的密封状况。
27.如图2所示，为了确保内槽2可以顺利的装入坩埚主体1内部，内槽2宽度应比坩埚主体1内部宽度小20-40μm。
28.如图4所示，所述坩埚主体1下部呈上大下小的形状，所述内槽2的形状与坩埚主体1下部的形状相适配。所述坩埚主体1下部的两侧壁呈对称的倾斜状，所述内槽2的两侧壁与坩埚主体1下部的两侧壁形状相适配，内槽2的底部为平底状。优选的，坩埚主体1下部两侧壁与水平面的夹角范围为45-70
°
。这样内槽2就可以和坩埚主体1的内壁紧密贴合，以增加热传导性。为了进一步增加导热性，所述内槽2与坩埚主体1的内侧壁之间设有导热层4，导热层4可以为石墨层等高导热性的材料构成。
29.上面结合附图对本实用新型的实施加以描述，但是本实用新型不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式是示意性而不是加以局限本实用新型，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。


技术特征：
1.一种蒸镀用的坩埚，包括坩埚主体，其特征在于：所述坩埚主体的盖体和下部为一体成型结构，坩埚主体内部设有用于装纳有机材料的内槽，所述坩埚主体的一端面上设有取放口，所述内槽能够通过取放口从坩埚主体内部取出或放入坩埚主体内，所述取放口上固定有可拆装的阀门。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述阀门与取放口之间通过楔形面配合，所述阀门周边通过螺栓与坩埚主体的端面螺纹连接固定。3.根据权利要求1所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述坩埚主体下部呈上大下小的形状，所述内槽的形状与坩埚主体下部的形状相适配。4.根据权利要求3所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述坩埚主体下部的两侧壁呈对称的倾斜状，所述内槽的两侧壁与坩埚主体下部的两侧壁形状相适配。5.根据权利要求3所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述坩埚主体下部两侧壁与水平面的夹角范围为45-70
°
。6.根据权利要求1或3所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述内槽与坩埚主体的内侧壁之间设有导热层。7.根据权利要求6所述的一种蒸镀用的坩埚，其特征在于：所述导热层为石墨层。

技术总结
本实用新型公开一种蒸镀用的坩埚，其包括坩埚主体，所述坩埚主体的盖体和下部为一体成型结构，坩埚主体内部设有用于装纳有机材料的内槽，所述坩埚主体的一端面上设有取放口，所述内槽能够通过取放口从坩埚主体内部取出或放入坩埚主体内，所述取放口上固定有可拆装的阀门。本实用新型的坩埚便于拆装，可以提高作业效率。业效率。业效率。


技术研发人员：乔小平
受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司
技术研发日：2021.09.01
技术公布日：2022/2/7