传导组件、货笼和镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜技术领域，特别是涉及传导组件、货笼和镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜中，待镀膜基板一般设置于可转动的基板载台上，而基板载台与电极相连用于形成偏压。目前镀膜机的偏压传导结构中存在导通不不连续的缺陷，这影响了镀膜件的镀膜品质。
3.研究人员发现偏压传导不连续的问题主要在三个方面，第一方面是现有的偏压传导采用轴承作为中间传导件，例如镀膜机的下转盘设置有轴承，电流需经过轴承传递至货笼，由于轴承内环和外环间通过滚珠连接，而轴承内滚珠与内环和外环存在间隙，因此在偏压传导的过程中存在偏压传导不连续的问题；第二方面是镀膜机的货笼安装在转盘上时，货笼的传导轴直接与转盘的导入孔配合。由于传导轴与导入孔之间存在配合间隙，这也导致货笼与转盘之间存在偏压传导不连续的问题；第三个方面是货笼中传导轴与端板之间也是采用导入孔的配合方式，在偏压传导的过程中也存在不连续的问题。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述镀膜件偏压传导过程中存在偏压传导不连续的问题，提供一种传导组件，进而还提出一种包括该传导组件的货笼以及镀膜机。
5.一种传导组件，用于连接传导轴和传导板，所述传导板设置有可供所述传导轴穿过的导入孔，所述传导组件包括：
6.导电片，设置有可供所述传导轴穿过的第一通孔；
7.旋转螺母，用于与所述传导轴配合，并将所述导电片压紧在所述传导板；
8.所述导电片与所述旋转螺母能够电性连通所述传导轴与所述传导板。
9.上述传导组件，当需要使用传导组件连接传导轴和传导板时，导电片位于传导板上，导电片的第一通孔与传导板的通孔对应，传导轴穿过传导板的通孔以及导电片的第一通孔与旋转螺母配合，旋转螺母与传导轴配合旋转的过程中，将导电片压紧在传导板上。由于传导组件中的旋转螺母和导电片紧密地与传导轴和传导板贴合，在偏压传导的过程中，从而保证了传导轴与传导板之间的偏压连续稳定，避免了现有的直接将传导轴插入导入孔时因传导轴与导入孔之间存在间隙导致偏压传导不连续的问题。
10.在其中一个实施例中，所述传导组件还包括止回垫片，所述止回垫片设置于所述导电片和所述旋转螺母之间，所述止回垫片设置有可供所述传导轴穿过的第二通孔，所述第二通孔内壁设置有第一止回部，所述第一止回部用于与所述传导轴的凹槽对应。
11.在其中一个实施例中，所述传导组件还包括旋转压头，所述旋转压头设置于所述导电片和所述止回垫片之间；
12.所述旋转压头设置可供所述传导轴穿过的阶梯孔，所述旋转压头的靠近所述旋转螺母的端面设置有与所述阶梯孔连通的止回槽；
13.所述止回垫片位于所述阶梯孔内，所述止回垫片的外边缘设置有第二止回部，所述第二止回部用于与所述止回槽对应。
14.一种货笼，所述货笼包括所述的传导组件，所述货笼还包括相对设置的第一传导板和第二传导板以及多根第一传导轴；
15.所述第一传导板和所述第二传导板均设置有多个第一导入孔，所述多个第一传导轴的两端分别一一对应地穿过所述第一传导板的所述第一导入孔和所述第二传导板的所述第一导入孔；
16.所述第一传导轴与所述第一传导板之间设置所述传导组件，所述第一传导轴的一端穿过所述导电片的所述第一通孔与所述旋转螺母配合，所述旋转螺母将所述导电片压紧于所述第一传导板。
17.在其中一个实施例中，所述第一传导轴外壁靠近所述第一传导板的一端设置有第一凹槽，所述第一凹槽沿所述第一传导轴的轴线方向延伸。
18.在其中一个实施例中，所述第一传导板与所述第二传导板之间还设置有第二传导轴，所述第二传导轴的两端分别穿过所述第一传导板和所述第二传导板。
19.在其中一个实施例中，所述第二传导轴外壁靠近所述第一传导板的一端设置有第二凹槽，所述第二凹槽沿所述第二传导轴的轴线方向延伸。
20.一种镀膜机，所述镀膜机所述的货笼，还包括相对设置的第一转盘、第二转盘、支撑所述第一转盘和所述第二转盘的立柱，所述货笼设置在所述第一转盘和所述第二转盘之间并与所述第一转盘和所述第二转盘电性连通。
21.在其中一个实施例中，所述第一转盘设置有第二导入孔，所述第二传导轴的一端穿过所述第一转盘的所述第二导入孔；
22.所述第二传导轴的一端与所述第一转盘之间设置有所述传导组件，所述第二传导轴的一端穿过所述导电片的第一通孔与所述旋转螺母配合，所述旋转螺母将所述导电片压紧于所述第一转盘。
23.在其中一个实施例中，所述第二转盘与所述货笼之间设置有转动组件，所述转动组件带动所述货笼沿所述第二转盘的边缘转动。
附图说明
24.图1为本实用新型一实施例中的传导组件的结构示意图；
25.图2为本实用新型另一实施例中的传导组件的结构示意图；
26.图3为本实用新型一实施例中的货笼的结构示意图；
27.图4为本实用新型一实施例中的镀膜机的结构示意图；
28.图5为图4中a处的局部示意图；
29.图6为图4中b处的局部示意图；
30.图7为本实用新型另一实施例中的镀膜机的结构示意图。
31.附图标号说明：
32.100、传导组件；110、导电片；120、旋转螺母；130、止回垫片；
33.131、第二通孔；132、第一止回部；133、第二止回部；140、旋转压头；
34.141、阶梯孔；142、止回槽；
35.210、传导轴；211、凹槽；220、传导板；
36.300、货笼；310、第一传导板；320、第二传导板；330、第一传导轴；
37.340、第二传导轴；
38.400、镀膜机；410、第一转盘；420、第二转盘；430、立柱；
39.441、第一齿轮；442、第二齿轮。
具体实施方式
40.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
41.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
42.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
43.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
44.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
45.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
46.真空镀膜中，待镀膜基板一般设置于可转动的基板载台上，而基板载台与电极相连用于形成偏压。目前镀膜机的偏压传导结构中存在导通不不连续的缺陷，这影响了镀膜
件的镀膜品质。
47.研究人员发现偏压传导不连续的问题主要在三个方面，第一方面是现有的偏压传导采用轴承作为中间传导件，例如镀膜机的下转盘设置有轴承，电流需经过轴承传递至货笼，由于轴承内环和外环间通过滚珠连接，而轴承内滚珠与内环和外环存在间隙，因此在偏压传导的过程中存在偏压传导不连续的问题；第二方面是镀膜机的货笼安装在转盘上时，货笼的传导轴直接与转盘的导入孔配合。由于传导轴与导入孔之间存在配合间隙，这也导致货笼与转盘之间存在偏压传导不连续的问题；第三个方面是货笼中传导轴与端板之间也是采用导入孔的配合方式，在偏压传导的过程中也存在不连续的问题。
48.研究人员针对上述提到的偏压传导不连续的问题，提出改进方案。研究人员的思路是，在涉及传导轴与传导板的导入孔的配合处设置传导组件，通过传导组件分别与传导轴与传导板之间紧密贴合，如此保证偏压传导过程的连续性。
49.参阅图1，图1示出了本实用新型一实施例中的传导组件100的结构示意图，本实用新型一实施例提供的传导组件100用于连接传导轴210和传导板220，传导组件100包括：导电片110和旋转螺母120，本实施例的思路是通过导电片110和旋转螺母120分别紧密贴合传导板220和传导轴210，从而保证偏压传导过程的稳定性。需要说明的是，传导轴210的外壁设置有螺纹段，旋转螺母120可以与传导轴210旋转配合。
50.具体地，导电片110设置有可供传导轴210穿过的第一通孔；旋转螺母120用于与传导轴210配合，并将导电片110压紧在传导板220。导电片110与旋转螺母120能够电性连通传导轴210与传导板220。
51.在本实施例中，当需要使用传导组件100连接传导轴210和传导板220时，导电片110位于传导板220上，导电片110的第一通孔与传导板220的通孔对应，传导轴210穿过传导板220的通孔以及导电片110的第一通孔与旋转螺母120配合，旋转螺母120与传导轴210配合旋转的过程中，将导电片110压紧在传导板220上。由于传导组件100中的旋转螺母120和导电片110紧密地与传导轴210和传导板220贴合，在偏压传导的过程中，从而保证了传导轴210与传导板220之间的偏压连续稳定，避免了现有的直接将传导轴210插入导入孔时因传导轴210与导入孔之间存在间隙导致偏压传导不连续的问题。
52.研究人员发现，当传导组件100中的旋转螺母120与传导轴210配合后，由于工作环境的因素影响例如振动、环境温度等，因此导致旋转螺母120与传导轴210之间连接不紧密，例如传导轴210回转导致传导轴210与旋转螺母120之间出现松动等情况。为此研究人员想到通过设置止回垫片130来进一步地紧固传导轴210，进而有效地防止旋转螺母120与传导轴210之间发生松动。
53.具体地，参阅图1和图2所示，传导组件100还包括止回垫片130，其中止回垫片130设置于导电片110和旋转螺母120之间。止回垫片130设置可供传导轴210穿过的第二通孔131，其中第二通孔131内壁设置有第一止回部132，第一止回部132用于与传导轴210的凹槽211对应。其中导电片110还可以通过紧固件，例如螺钉等固定在传导板220上以使得导电片110在传导板220的相对位置固定。
54.在本实施例中，当传导组件100连接传导板220与传导轴210时，传导轴210同时穿过导电片110的第一通孔和止回垫片130的第二通孔131后与旋转螺母120配合，在此过程中，止回垫片130的第一止回部132正好对应传导轴210的凹槽211。旋转螺母120与传导轴
210配合时，旋转螺母120能够将止回垫片130和导电片110紧密地抵压于传导板220。通过止回垫片130的第一止回部132与传导轴210的凹槽211配合，能够较好地限制传导轴210的转动，进而能够进一步地保证传导轴210与传导板220之间偏压传导的稳定性。
55.进一步地，参阅图1和图2所示，传导组件100还包括旋转压头140，其中旋转压头140设置于导电片110和止回垫片130之间。旋转压头140设置有可供传导轴210穿过的阶梯孔141，旋转压头140的靠近旋转螺母120的端面设置有与阶梯孔141连通的止回槽142；止回垫片130位于阶梯孔141内，止回垫片130的外边缘设置有第二止回部133，第二止回部133用于与止回槽142对应。
56.在本实施例中，传导轴210穿过导电片110的第一通孔、旋转压头140的阶梯孔141以及止回垫片130的第二通孔131，止回垫片130的第一止回部132与传导轴210的凹槽211对应，止回垫片130的第二止回部133与旋转压头140的止回槽142对应，当传导轴210与旋转螺母120配合后，旋转螺母120将导电片110、旋转压头140以及止回垫片130紧密抵接于传导板220，此时通过止回垫片130的第一止回部132和第二止回部133能够较好地防止传导轴210转动。
57.本实用新型还提出一种货笼300，该货笼300中的第一传导板310与第一传导轴330连接时采用上述的传导组件100连接，以保证电流能够稳定地流过货笼300。需要说明的是，货笼300用于设置镀膜件，货笼300中的第一传导板310类似于上述提到的传导板220，第一传导板310上设置的第一导入孔类似于上述提到的传导板220的通孔，第一传导轴330类似于上述提到的传导轴210。
58.具体地，参阅图3和图5所示，货笼300包括上述的传导组件100，货笼300还包括相对设置的第一传导板310和第二传导板320以及多根第一传导轴330，多根第一传导轴330沿第一传导板310和第二传导板320的周向设置；其中第一传导板310和第二传导板320均设置有多个第一导入孔，第一传导轴330的一端分别一一对应地穿过第一传导板310的第一导入孔和第二传导板320的第二导入孔；第一传导轴330与第一传导板310之间设置传导组件100，第一传导轴330的一端分别穿过导电片110的第一通孔与旋转螺母120配合，旋转螺母120将导电片110压紧于第一传导板310。另外第二传导板320的第二导入孔也可以与第一传导轴之间设置传导组件100。
59.在本实施例中，通过传导组件100能够使得第一传导轴330的一端与第一传导板310之间紧密抵接，从而保证偏导电压在第一传导板310与第一传导轴330之间传导的稳定性。
60.另外，第一传导轴330的外壁靠近第一传导板310的一端设置有第一凹槽，其中第一凹槽沿第一传导轴330的轴线方向延伸，第一传导轴330的第一凹槽类似于上述传导轴210的凹槽211。
61.第一传导板310与第一传导轴330之间的连接方式如下：第一传导轴330一端穿过第一传导板310的第一导入孔，并依次穿过传导组件100的导电片110的第一通孔、旋转压头140的阶梯孔141以及止回垫片130的第二通孔131并与旋转螺母120配合，止回垫片130的第一止回部132与第一传导轴330的第一凹槽对应，止回垫片130的第二止回部133与旋转压头140的止回槽142对应，旋转螺母120与第一传导轴330旋转配合时将止回垫片130、旋转压头140以及导电片110紧密地抵接于第一传导板310，从而实现传导组件100与第一传导轴330
和第一传导板310之间的紧密接触，进而保证偏压传导过程在货笼300中传导的稳定性。
62.为了便于货笼300安装于镀膜机400上，一实施例中，参阅图3所示，第一传导板310与第二传导板320之间还设置有第二传导轴340，其中第二传导轴340的两端分别穿过第一传导板310和第二传导板320。在将货笼300安装于镀膜机400上时，货笼300的第二传导轴340可以与镀膜机400的转盘连接，例如第二传导轴340与转盘的导入孔对应。在本实施例中，第二传导轴340类似于传导轴210。
63.另外，第二传导轴340的外壁靠近第一传导板310的一端设置有第二凹槽，其中第二凹槽沿第二传导轴340的轴线方向延伸。其目的是，当第二传导轴340与转盘之间通过传导组件100连接时，通过传导组件100中的止回垫片130的止回部防止第二传导轴340转动。
64.本实用新型还提出一种镀膜机400，其中镀膜机400中包括上述的货笼300以及上述提到的传导组件100。由于现有方案中货笼安装于镀膜机上后，货笼的第二转轴与镀膜机上的转盘的导入孔之间存在间隙，因此使得镀膜机的转盘与货笼的第二转轴之间较难实现稳定地偏压传导；另外现有的货笼的第一传导板与第一传导轴之间也存间隙，这也影响第一传导板与第一传导轴之间的偏压传到。为此研究人员想到将上述改进的货笼300设置在镀膜机400上，以解决现有货笼中偏压传导不稳定的问题。
65.具体地，参阅图4所示，镀膜机400包括上述的货笼300，还包括相对设置的第一转盘410、第二转盘420、支撑第一转盘410和第二转盘420的立柱430，其中货笼300设置在第一转盘410和第二转盘420之间并与第一转盘410和第二转盘420电性连通。
66.在本实施例中，当货笼300设置在第一转盘410和第二转盘420之间时，镀膜机400中偏压传导能够通过第二转盘420传递至货笼300，进而从货笼300传递至第一转盘410。镀膜机400的偏导电压还可以通过第二转盘420沿立柱430传递至第一转盘410，再从第一转盘410传递给货笼300。由于货笼300中设置了传导组件100，因此电流流过货笼300时能够保证偏压传导连续稳定。
67.而当货笼300中第二传导轴340直接与第一转盘410和第二转盘420通过孔连接时，此时存在偏压传导不稳定的问题，特别是如果第一转盘410的第二导入孔与第二传导轴340之间存在间隙时，此时从第一转盘410传导的电流较难稳定地传递至第二传导轴340。为此，一实施例中，第一转盘410设置有第二导入孔，其中第二传导轴340的一端穿过第一转盘410的第二导入孔；第二传导轴340的一端与第一转盘410之间分别设置上述传导组件100，第二传导轴340的一端穿过导电片110的第一通孔与旋转螺母120配合，旋转螺母120将导电片110压紧于第一转盘410。另外第二传导轴340靠近第二转盘420的一端连接有轴承座，第二转盘420通过轴承座与第二转盘420连接导通。
68.由于现有的方案中第二传导轴340的一端设置在第一转盘410的第二导入孔时，第一传导轴330与第二传导孔之间存在间隙，因此通过设置传导组件100以使得第二传导轴340与第一转盘410和第二转盘420之间紧密连接，从而使得偏压传导路径还能够通过第二转盘420、立柱430传递至第一转盘410，从第一转盘410处沿第二传导轴340、传导组件100传递至货笼300上，保证了偏压传导至货笼300的稳定性。
69.第一转盘410与第二传导轴340的连接方式为：可以参考图6所示，第二传导轴340一端穿过第一转盘410的第二导入孔，并依次穿过传导组件100的导电片110的第一通孔、旋转压头140的阶梯孔141以及止回垫片130的第二通孔131并与旋转螺母120配合，止回垫片
130的第一止回部132与第二传导轴340的第二凹槽对应，止回垫片130的第二止回部133与旋转压头140的止回槽142对应，旋转螺母120与第二传导轴340旋转配合时将止回垫片130、旋转压头140以及导电片110紧密地抵接于第一转盘410，从而实现第二传导轴340与第一转盘410之间的紧密接触。
70.在镀膜件的镀膜过程中，为了使得镀膜件上分布的镀膜层均匀，一实施例中，第二转盘420与货笼300之间设置有转动组件，转动组件带动货笼300沿第二转盘420的边缘转动。也就是说，在本实施例中，通过转动组件能够使得货笼300相对第二转盘420转动，从而使得镀膜机400内的镀膜层能够较为均为地附着在镀膜件的表面。
71.进一步地，参阅图3和图7所述，转动组件包括相互啮合的第一齿轮441和第二齿轮442，其中第一齿轮441位于第二转盘420背离第一转盘410的一侧，第二齿轮442位于货笼300靠近第二转盘420的一侧。采用第一齿轮441和第二齿轮442相互啮合能够保证货笼300相对第二转盘420移动的过程更加平稳，从而能够使得镀膜件上的镀膜层的厚度尽可能地相同。
72.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
73.以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。