一种单体镀膜机真空腔体的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种单体镀膜机真空腔体。


背景技术：

2.目前市场上的大部分单体镀膜机的真空腔体都是采用以下制作工艺：一、先用长方形钢板辊圆；二、再焊接上下顶板；三、其次焊接门法兰板；四、再在圆侧板上开阴极安装口，后焊接阴极安装法兰；五，焊接门板和阴极法兰板。
3.现有技术的局限性和问题：
4.1、焊接阴极安装口会破环辊圆侧板的耐压性；
5.2、由于阴极安装口采用焊接连接，真空腔体的焊缝增加，增加了漏气风险；
6.3、外接水冷需要重新焊接u型水道，大量增加焊缝了数量和长度；腔体结构复杂，不容易标准化。
7.本方案即在此背景下展开。


技术实现要素：

8.基于上述表述，本实用新型提供了一种单体镀膜机真空腔体，以解决现有技术中辊圆侧板耐压性差、焊缝多易漏气、腔体结构复杂不易标准化的问题。
9.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：
10.一种单体镀膜机真空腔体，包括上顶板与下底板，所述上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的所述弯折板之间形成有阴极门。
11.在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
12.进一步的，定义所述门筒处为第一区，定义所述弯折板处为第二区，所述第一区与第二区之间设有门框，所述门框上固定连接有门法兰，所述第一区与门框相连，所述第二区与门法兰相连。
13.进一步的，所述上顶板包括与门框相连的第一顶板，以及与门法兰相连的第二顶板，所述下底板包括与门框相连的第一底板，以及与门法兰相连的第二底板。
14.进一步的，所述阴极门包括与两侧弯折板固定连接的阴极门框，封闭所述阴极门框的阴极门板，以及将所述阴极门框与阴极门板相连的门铰链。
15.进一步的，所述第一顶板上开设有功能法兰口，所述第一顶板上设置有弯折覆盖的第一水冷管，所述第二顶板上设置有第二水冷管，所述第一底板上设置有弯折覆盖的第三水冷管，所述第二底板上设置有第四水冷管。
16.进一步的，所述弯折板包括基板部与连接于基板部两侧的弯折部，所述弯折部构成阴极门的侧部，所述弯折部上设置有第五水冷管，所述门筒上设置有弯折覆盖的第六水冷管。
17.进一步的，所述第一顶板上设置有横纵分布并与门框相连的第一加强筋，所述第二顶板上设置有与门法兰相连的第二加强筋，所述第一底板上设置有横纵分布并与门框相
8，门框8上固定连接有门法兰9，门框8与门法兰9一般可通过螺栓固定的方式拼接在一起，门框8与门法兰9将第一区6与第二区7隔开，第一区6 与门框8相连，第二区7与门法兰9相连。
34.相应的，上顶板1就分为与门框8相连的第一顶板11，以及与门法兰9 相连的第二顶板12，下底板2就分别与门框8相连的第一底板21，以及与门法兰9相连的第二底板22。以上连接方式都采用焊接固定。
35.弯折板4包括基板部41与连接于基板部41两侧的弯折部42，弯折部 42构成阴极门5的侧部，与第一顶板11、第一底板21焊接成真空腔体主体，与第二顶板12、第二底板22焊接成真空门体；由真空门体和腔体主体通过密封圈锁紧成真空腔体。
36.进一步的，阴极门5包括与两侧弯折板4固定连接的阴极门5框，封闭阴极门5框的阴极门5板，以及将阴极门5框与阴极门5板相连的门铰链53。阴极门5框与弯折板4焊接在一起组成靶安装腔，并与靶腔体门通过密封圈锁紧真空密封。
37.优选的，第一顶板11上开设有功能法兰口13，第一顶板11上设置有弯折覆盖的第一水冷管111，第二顶板12上设置有第二水冷管121，第一底板 21上设置有弯折覆盖的第三水冷管211，第二底板22上设置有第四水冷管 221。弯折部42上设置有第五水冷管421，门筒3上设置有弯折覆盖的第六水冷管31。
38.进一步的，第一顶板11上设置有横纵分布并与门框8相连的第一加强筋112，第二顶板12上设置有与门法兰9相连的第二加强筋122，第一底板 21上设置有横纵分布并与门框8相连的第三加强筋212，第二底板22上设置有与门法兰9相连的第四加强筋222。
39.在下底板2下方设有支撑机架10，支撑机架与第三加强筋212、门框8相连，连接处可放置一些支撑垫片起固定和保护作用。
40.本实用新型采用弯折板4作为圆真空腔体的部分侧板，取代了传统技术中用钢板辊圆，开切口，再在切口上焊接阴极法兰板的工艺结构，增强了腔体的耐压性、增加了箱体的支撑强度。同时阴极门5也可以按照需要随意在设计时随意增减。弯折部42上采用夹层水冷套结构，安装方便、冷却充分。整体结构更为简单，焊缝长度减少，易于标准化。
41.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种单体镀膜机真空腔体，其特征在于，包括上顶板与下底板，所述上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的所述弯折板之间形成有阴极门，定义所述门筒处为第一区，定义所述弯折板处为第二区，所述第一区与第二区之间设有门框，所述门框上固定连接有门法兰，所述第一区与门框相连，所述第二区与门法兰相连。2.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述上顶板包括与门框相连的第一顶板，以及与门法兰相连的第二顶板，所述下底板包括与门框相连的第一底板，以及与门法兰相连的第二底板。3.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述阴极门包括与两侧弯折板固定连接的阴极门框，封闭所述阴极门框的阴极门板，以及将所述阴极门框与阴极门板相连的门铰链。4.根据权利要求2所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述第一顶板上开设有功能法兰口，所述第一顶板上设置有弯折覆盖的第一水冷管，所述第二顶板上设置有第二水冷管，所述第一底板上设置有弯折覆盖的第三水冷管，所述第二底板上设置有第四水冷管。5.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述弯折板包括基板部与连接于基板部两侧的弯折部，所述弯折部构成阴极门的侧部，所述弯折部上设置有第五水冷管，所述门筒上设置有弯折覆盖的第六水冷管。6.根据权利要求2所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述第一顶板上设置有横纵分布并与门框相连的第一加强筋，所述第二顶板上设置有与门法兰相连的第二加强筋，所述第一底板上设置有横纵分布并与门框相连的第三加强筋，所述第二底板上设置有与门法兰相连的第四加强筋。7.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述下底板下方设有支撑机架，所述支撑机架与第三加强筋、门框相连。

技术总结
本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种标准单体镀膜机真空腔体，解决了现有技术中辊圆侧板耐压性差、焊缝多易漏气、腔体结构复杂不易标准化的问题，其包括上顶板与下底板，上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的弯折板之间形成有阴极门；本实用新型采用弯折板作为圆真空腔体的部分侧板，取代了传统技术中用钢板辊圆，开切口，再在切口上焊接阴极法兰板的工艺结构，增强了腔体的耐压性、增加了箱体的支撑强度。同时阴极门也可以按照需要随意在设计时随意增减，弯折部上采用夹层水冷套结构，安装方便、冷却充分，整体结构更为简单，焊缝长度减少，易于标准化。于标准化。于标准化。


技术研发人员：郭爱云 朱选敏 黄水平
受保护的技术使用者：武汉科瑞达真空科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/9/2