一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置的制作方法

1.本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置。


背景技术：

2.真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。
3.随着现代科技的迅猛发展，透明导电玻璃使用量不断增加，为了提高导电玻璃的生产效率，透明导电玻璃的世代线(即玻璃基片的尺寸)不断更新，现在已经发展到11代线，基片尺寸不断增大，但是基片架仍使用原有的两面包裹或四面包裹的安装方式，这种安装方式会造成材料成本上升、基片因受力不均无法平稳运行等问题。面对基片面积不断增大的问题，美国专利us8393460b2 采取了倾斜基片架角度的方法，通过将基片架倾斜15度以固定和搬送基片。而固定的15度只能适应某些特定情况，当改变基片的尺寸大小或镀膜要求时，无法进行角度的调节以满足设计需要。本发明通过设计一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，在倾斜基片架以满足大面积基片安装需求的同时，能够对基片的角度进行调节，满足不同镀膜工况的要求，合适的基片角度也可避免基片发生向前倾覆，降低基片运动的不平稳性。


技术实现要素：

4.为了降低大面积玻璃基片的安装成本以及基片运动的不平稳性，本发明提供一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，用于解决上述背景技术中所面临的问题。
5.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
6.一种用于大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，包括框体、至少一个后壁丝杆导轨机构和至少一个顶部丝杆导轨机构；所述框体包括底板，设置在底板下表面用于支撑整个所述玻璃基片角度调节装置的底座，固定于所述底板的后壁，固定于所述后壁上的顶板，所述底板、后壁和顶板构成开口状；所述玻璃基片角度调节装置还包括设置在底板上的铰接座，通过销轴连接在所述铰接座上的摆动轴，固定于所述摆动轴上端面的支撑座，所述支撑座的上表面装有下轮辊机构和通过前端与所述下轮辊机构接触从而对其施加预紧力的预紧机构；所述支撑座一侧端面固定安装有连接板，所述连接板上固定安装铰接座，所述铰接座与连接杆的一端连接；固定于后壁的后壁丝杆导轨机构，所述连接杆的另一端连接所述后壁丝杆导轨机构；固定于顶板的顶部丝杆导轨机构，所述顶部丝杆导轨机构表面固定有上轮辊机构；固定于所述上轮辊机构和所述下轮辊机构之间的基片；其中，所述后壁
丝杆导轨机构和所述顶部丝杆导轨机构以预设的行程比使得所述上轮辊机构和所述下轮辊机构以确定角度调节的进行。
7.作为本发明的一种优选方案，所述下轮辊机构包括前端下辊轮、连接架、后端下辊轮和连接轴，其中，所述前端下辊轮和后端下辊轮设置在基片的两侧用于夹紧所述基片，所述连接轴安装在后端下辊轮与支撑座之间用于支撑所述下辊轮，所述连接架固定在前端下辊轮的下端面并且通过销轴连接在所述支撑座上的预紧座，通过上轮辊机构和所述下轮辊机构以确定角度调节的进行，保持上轮辊机构的轴线与下轮辊的轴线在同一条线上。
8.作为本发明的一种优选方案，下轮辊机构包括连接轴，连接轴下端与摆动轴上支撑座的上表面焊接在一起，连接轴另一端与后端下轮辊连接，后端下轮辊一侧与基片的后面接触，基片另一侧与前端下轮辊接触，前端下轮辊安装在连接架上，连接架与其下部的铰接座通过销轴进行连接。通过调节预紧螺栓，可以给基片施加不同的预紧力，同时下轮辊机构会对基片起到一定的固定作用，提高基片运动的稳定性。
9.作为本发明的一种优选方案，所述后壁丝杆导轨机构包括安装板，安装板上装有导轨，导轨上装有滑块，滑块上装有滑动板，滑动板上通过固定销装有铰接座，铰接座与连接杆通过销轴连接；
10.安装在所述安装板上的电动机通过联轴器与丝杆连接，在丝杆靠近电动机的近端上安装有固定支撑座和缓冲垫，远端上安装有支撑座用于对丝杆提供支撑；所述导轨通过螺栓安装在安装板上，滑块沿导轨进行滑动，通过电动机驱动丝杆转动进而驱动丝杆螺母和其上安装的滑动板进行纵向的移动，通过控制丝杆的旋转来控制滑动板的移动进而控制连接杆的移动。
11.作为本发明的一种优选方案，所述顶部丝杆导轨机构包括安装板，安装板上装有导轨，导轨上装有滑块，滑块上装有滑动板，滑动板上通过固定销装有铰接座，铰接座通过销轴连接上辊轮机构；
12.安装在所述安装板上的电动机通过联轴器与丝杆连接，在丝杆靠近电动机的近端上安装有固定支撑座和缓冲垫，远端上安装有支撑座用于对丝杆提供支撑；所述导轨通过螺栓安装在安装板上，滑块沿导轨进行滑动，通过电动机驱动丝杆转动进而驱动丝杆螺母和其上安装的滑动板进行前后的移动，通过控制丝杆的旋转来控制滑动板的移动进而控制上轮辊机构的前后移动。
13.作为本发明的一种优选方案，所述预紧机构包括固定座和螺纹连接在所述固定座上的预紧螺栓，所述预紧螺栓的端部抵接在所述连接架上，通过调节预紧螺栓使连接架围绕销轴转动进而实现对具有不同尺寸基片的预紧。
14.作为本发明的一种优选方案，摆动轴为可调节长度的气缸臂或液压臂。
15.本发明的有益效果：
16.1、通过对后壁和顶部丝杆导轨机构同时进行控制，可使上下轮辊同时运动，实现上轮辊机构与下轮辊机构的配合移动与转动，使得上下轮辊机构配合运动以保证角度调节的进行，并可保证进行角度调节时上轮辊机构的轴线与后端下轮辊的轴线在同一条线上，提高基片安装的稳定性，完成安装在上下轮辊机构之间基片的角度调节。
17.2、通过调节预紧螺栓，给基片施加不同的预紧力，同时下轮辊机构会对基片起到一定的固定作用，提高基片运动的稳定性。
18.3、上轮辊机构通过销轴安装在顶部丝杆导轨机构的铰接座上，前端下轮辊安装在连接架上，连接架与其下部的铰接座通过销轴进行连接，能够适应不同尺寸的基片，大大提高了使用范围。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本发明整体结构轴侧示意图。
21.图2为本发明整体结构正面示意图。
22.图3为本发明调节装置的左侧断裂视图。
23.图4为后壁丝杆导轨机构的结构示意图。
24.图5为顶部丝杆导轨机构的结构示意图。
25.图中：1底板、2底座、301铰接座、4固定销、5销轴、6摆动轴、7支撑座、8预紧机构、9销轴、10下轮辊机构、11连接板、12铰接座、13销轴、14 连接杆、15销轴、16基片、17上轮辊机构、18销轴、19后壁、20顶板、21后壁丝杆导轨机构、22顶部丝杆导轨机构。
具体实施方式
26.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
27.其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
28.实施例一，如图1至图5所示，一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，包括框体、至少后壁丝杆导轨机构21和至少顶部丝杆导轨机构22；所述框体包括底板1，设置在底板1下表面用于支撑整个所述玻璃基片角度调节装置的底座2，固定于所述底板1的后壁19，固定于所述后壁19上的顶板20，所述底板1、后壁19和顶板20构成开口状。
29.进一步的，所述玻璃基片角度调节装置还包括设置在底板1上的铰接座 301，通过销轴5连接在所述铰接座301上的摆动轴6，固定于所述摆动轴6上端面的支撑座7，所述支撑座7的上表面装有下轮辊机构10和通过前端与所述下轮辊机构10接触从而对其施加预紧力的预紧机构8；所述支撑座7一侧端面固定安装有连接板11，所述连接板11上固定安装铰接座12，所述铰接座12与连接杆14的一端连接。
30.固定于后壁19的后壁丝杆导轨机构21，所述连接杆14的另一端连接所述后壁丝杆导轨机构21。固定于顶板20的顶部丝杆导轨机构22，所述顶部丝杆导轨机构22表面固定有上轮辊机构17。
31.固定于所述上轮辊机构17和所述下轮辊机构10之间的基片16。
32.进一步的，所述下轮辊机构10包括前端下辊轮1001、连接架1002、后端下辊轮1003和连接轴1004，其中，所述前端下辊轮1001和后端下辊轮1003设置在基片16的两侧用于夹
紧所述基片16，所述连接轴1004安装在后端下辊轮 1003与支撑座7之间用于支撑所述下辊轮1003，所述连接架1002固定在前端下辊轮1001的下端面并且通过销轴9连接在所述支撑座7上的预紧座302，所述后壁丝杆导轨机构21包括安装板2114，安装板2114上装有导轨2111，导轨 2111上装有滑块2112，滑块2112上装有滑动板2110，滑动板2110上通过固定销2107装有铰接座2108，铰接座2108与连接杆14通过销轴15连接。
33.安装在所述安装板2114上的电动机2101通过联轴器2102与丝杆2105连接，在丝杆2105靠近电动机2101的近端上安装有固定支撑座2103和缓冲垫 2104，远端上安装有支撑座2109用于对丝杆2105提供支撑；所述导轨2111通过螺栓2113安装在安装板2114上，滑块2112沿导轨进行滑动，通过电动机2101 驱动丝杆2105转动进而驱动丝杆螺母2106和其上安装的滑动板2110进行纵向的移动，通过控制丝杆2105的旋转来控制滑动板2110的移动进而控制连接杆 14的移动。
34.进一步的，所述顶部丝杆导轨机构22包括安装板2214，安装板2214上装有导轨2211，导轨2211上装有滑块2212，滑块2212上装有滑动板2210，滑动板2210上通过固定销2207装有铰接座2208，铰接座2208通过销轴18连接上辊轮机构17。
35.优选的，安装在所述安装板2214上的电动机2201通过联轴器2202与丝杆 2205连接，在丝杆2205靠近电动机2101的近端上安装有固定支撑座2203和缓冲垫2204，远端上安装有支撑座2209用于对丝杆2205提供支撑；所述导轨2211 通过螺栓2213安装在安装板2214上，滑块2212沿导轨进行滑动，通过电动机 2201驱动丝杆2205转动进而驱动丝杆螺母2206和其上安装的滑动板2210进行前后的移动，通过控制丝杆2205的旋转来控制滑动板2210的移动进而控制上轮辊机构17的前后移动。
36.优选的，所述预紧机构8包括固定座802和螺纹连接在所述固定座802上的预紧螺栓801，所述预紧螺栓801的端部抵接在所述连接架1002上，通过调节预紧螺栓801使连接架1002围绕销轴9转动进而实现对具有不同尺寸的基片 16的预紧。
37.优选的，摆动轴6为可调节长度的气缸臂或液压臂。
38.实施例二
39.如图1至图5所示，一种大面积真空镀膜的玻璃基片角度调节装置，包括框体、至少一个后壁丝杆导轨机构21和至少一个顶部丝杆导轨机构22；所述框体包括底板1，设置在底板1下表面用于支撑整个所述玻璃基片角度调节装置的底座2，固定于所述底板1的后壁19，固定于所述后壁19上的顶板20，所述底板1、后壁19和顶板20构成开口状。底板1上通过固定销安装有铰接座301，铰接座301与安装在其上方的摆动轴6通过销轴5连接，在摆动轴6的上表面安装有支撑座7，支撑座7的左端装有连接板11，连接板11和铰接座12通过固定销连接，铰接座12与连接杆14通过销轴13连接。后壁上安装有后壁丝杆导轨机构21，电动机2101通过联轴器2102与丝杆2105连接，丝杆2105靠近电动机2101的近端为固定端，安装有固定支撑座2103和缓冲垫2104，远端为支撑端，安装有支撑座2109。导轨2111通过螺栓2113安装在安装板2114上，其上的的滑块2112可沿导轨进行滑动，并在滑块2112上面安装有滑动板。通过电动机2101带动丝杆2105转动，进而带动丝杆螺母2106和其上安装的滑动板2110进行纵向的移动。在滑动板2110上通过固定销2107安装有铰接座 2108，铰接座2108与连接杆14通过销轴15连接。
40.当滑动板2110进行纵向移动时，会带动连接杆14进行移动和转动，最终带动摆动
轴6和支撑座7以及安装在支撑座7上的其它结构进行绕铰接座301 的摆动，支撑座7上固定有预紧座302。支撑座7上安装有预紧机构8和下轮辊机构10，所述下轮辊机构包括连接架1002，连接架1002安装在预紧座302上，其上安装有前端下轮辊1001，与基片16的前面接触；支撑座7上还安装有连接轴1004，连接轴1004上安装有后端下轮辊1003，与基片的后面接触。所述预紧机构8包括固定座802和预紧螺栓801，所述预紧螺栓801抵接在预紧座302 上为基片的固定提供预紧力。下轮辊机构10和预紧机构8能够与安装在顶部丝杆导轨机构22上的上轮辊机构17进行配合，提供基片所需的夹持力与预紧力。顶部丝杆导轨机构22可以提供给上轮辊机构17在摆动轴摆动方向上的位移，通过设置两个丝杆滑块机构的行程比，所述后壁丝杆导轨机构21和所述顶部丝杆导轨机构22以预设的行程比使得所述上轮辊机构17和所述下轮辊机构10以确定角度调节的进行，并可保证进行角度调节时上轮辊机构17的轴线与下轮辊1003的轴线在同一条线上，提高基片安装的稳定性。
41.顶部丝杆导轨机构22包括安装板2214，安装板2214上端面安装有导轨 2211，导轨2211上通过螺栓2213安装有滑块2212，滑块2212上安装有滑动板 2210，滑动板2210上通过固定销2207安装有铰接座2208，铰接座2208与上轮辊机构17通过销轴18连接。所述安装板2214一侧安装有步进电机2201，步进电机2201通过联轴器2202与丝杆2205相连，丝杆2205两端分别安装有固定支撑座2203、支撑座2209和缓冲垫2204，丝杆2205上还安装有丝杆螺母 2206，丝杆螺母2206与滑动板2210连接，通过控制丝杆2205的旋转来控制滑动板2210的移动，进而控制上轮辊机构17的前后移动。通过对顶部和后壁丝杆导轨机构的电机进行调节，进而控制丝杆导轨机构上滑动板的运动，实现上轮辊机构17与下轮辊机构10的配合移动与转动，完成安装在上下轮辊机构之间基片的角度调节。
42.当要对基片角度进行调节时，步骤如下：
43.步骤一：启动顶部丝杆导轨机构22与后壁丝杆导轨机构21，使上轮辊机构 17和下轮辊机构10偏移到适合安装基片位置；
44.步骤二：将基片16安装在轮辊之间，调节预紧机构8并用预紧螺栓801抵住连接架1002将所述基片16进行预紧；
45.步骤三：所述后壁丝杆导轨机构21和所述顶部丝杆导轨机构22以预设的行程比使得所述上轮辊机构17和所述下轮辊机构10以确定角度调节的进行。
46.在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。在本说明书中，“前面”、“后面”“上部”、“下部”等方位术语是为了便于描述而添加的，不能对本发明进行限制。
47.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。