技术特征：
1.一种纳米结构高熵超合金，其特征在于，所述的高熵超合金为纳米尺度l12、b2或l12/b2金属间化合物组成，高熵超合金按原子数比记为(ni
a
co
b
m
c
)
100-x-y
al
x
n
y
，m为cr、fe或cu中的一种或多种，n为ti、nb或ta中的一种或多种，其中x和y的范围为25≤x+y≤50，ni、co和m三元素之间的原子比例分别为a＝63-75％、b＝20-30％和c＝5-7％，其中a+b+c＝100％。2.一种制备如权利要求1所述的纳米结构高熵超合金的方法，其具体步骤如下：1)在真空条件下，利用直流磁控溅射技术在衬底上交替溅射沉积n、nicom和al层，形成n/nicom/al的多层结构，通过改变各单层厚度比调控合金元素的成分，单层厚度范围均为1nm-60nm；2)采用真空退火处理，在不同的退火温度条件下，通过元素扩散和界面合金化过程，获得不同晶粒尺寸的(ni
a
co
b
m
c
)
100-x-y
al
x
n
y
纳米高熵超合金。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，纳米有序结构l12或b2析出相的不同晶粒尺寸范围为5nm～100nm。4.如权利要求2所述的方法，其特征在于所述的衬底为单晶si或金属。5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，真空退火温度范围为500～800℃，退火时间1-3h。
技术总结
本发明公开了一种纳米结构高熵超合金及其制备方法。所述的高熵超合金为纳米尺度L12、B2或L12/B2金属间化合物组成，高熵超合金按原子数比记为(Ni
技术研发人员：操振华 韩茜婷 马涵 陈家豪 开明杰
受保护的技术使用者：南京工业大学
技术研发日：2022.04.11
技术公布日：2022/8/8