蒸镀装置及蒸镀方法与流程

1.本公开涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。


背景技术：

2.有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示面板的制备过程中，常采用蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成发光层(emission layer，eml)。
3.其中，蒸镀工艺是指采用蒸镀源将所需蒸镀的材料(如，发光材料)，通过掩膜板具有的蒸镀开口蒸镀至显示面板中的待蒸镀基板上，以形成所需膜层的工艺，相应的，蒸镀源与掩膜板需要预先对位。并且，目前的蒸镀源一次仅能蒸镀一种颜色的发光材料，掩膜板仅具有一个蒸镀开口。为此，针对包括多种不同颜色像素的oled显示面板而言，通常需要使用多张掩膜板进行多次对位，才能完成不同颜色像素中发光层的蒸镀。这极大的影响了产能，效率较低。


技术实现要素：

4.提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，可以解决相关技术中蒸镀效率较低的问题，所述技术方案如下：
5.一方面，提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：
6.蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板位于显示面板中待蒸镀基板的一侧，且所述蒸镀掩膜板具有多个蒸镀区域，每个蒸镀区域包括沿平行于所述待蒸镀基板的方向依次排布的多个蒸镀开口，以及用于间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部；
7.多个蒸镀源，所述多个蒸镀源位于所述蒸镀掩膜板远离所述待蒸镀基板的一侧，且每个蒸镀源的喷嘴朝向所述蒸镀掩膜板，所述多个蒸镀源与所述多个蒸镀开口一一对应，并用于通过所述多个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层；
8.其中，所述多个蒸镀开口的延伸方向相交，每个蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成有第一夹角，每个蒸镀源的喷嘴与所述待蒸镀基板形成有第二夹角；
9.并且，对于每个蒸镀开口而言，所述第一夹角小于所述蒸镀掩膜板的厚度与通过所述蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值；对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角的差值小于等于差值阈值。
10.可选的，对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角相等。
11.可选的，所述多个蒸镀开口中，一个目标蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角为90度；
12.并且，通过所述目标蒸镀开口形成的发光层的宽度小于所述蒸镀掩膜板的厚度与目标夹角的正切值的比值，所述目标夹角包括除所述目标蒸镀开口外，其余蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角。
13.可选的，每个蒸镀区域包括三个蒸镀开口，所述蒸镀装置包括三个蒸镀源；
14.其中，所述三个蒸镀源用于通过所述三个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上蒸镀形成
红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层。
15.可选的，沿平行于所述待蒸镀基板的方向，形成的所述红色发光层、所述蓝色发光层和所述绿色发光层间隔排布。
16.可选的，所述三个蒸镀开口中，位于中间的蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角为90度，且位于两侧的蒸镀开口均沿远离所述待蒸镀基板的方向，向靠近中间的蒸镀开口的方向倾斜。
17.可选的，所述蒸镀掩膜板的材料包括：金属合金、玻璃或硅。
18.可选的，所述显示面板还包括：位于所述待蒸镀基板一侧的像素界定层；
19.其中，所述像素界定层具有多个开口，所述像素界定层用于将不同的发光层限定于不同的开口内，所述蒸镀掩膜板复用所述像素界定层。
20.可选的，所述多个蒸镀开口中，每个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上的正投影呈矩形，每个蒸镀开口不同位置处的孔径相同，且各个蒸镀开口的孔径相同。
21.另一方面，提供了一种蒸镀方法，所述蒸镀方法包括：
22.提供待蒸镀基板；
23.采用如上述方面所述的蒸镀装置，在所述待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。
24.综上所述，本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少可以包括：
25.提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
附图说明
26.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1是本公开实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；
28.图2是本公开实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；
29.图3是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀蓝色发光层的示意图；
30.图4是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀绿色发光层的示意图；
31.图5是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀红色发光层的示意图；
32.图6是本公开实施例提供的一种蒸镀效果图；
33.图7是本公开实施例提供的一种包括像素界定层的显示面板示意图；
34.图8是本公开实施例提供的一种复用像素界定层作为蒸镀掩膜板的蒸镀装置示意
图；
35.图9是本公开实施例提供的一种扫描电子显微镜下的蒸镀掩膜板示意图；
36.图10是本公开实施例提供的一种蒸镀方法的流程图。
具体实施方式
37.为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。
38.oled显示面板中通常至少包括位于不同位置的红色(red，r)像素、绿色 (green，g)像素和蓝色(blue，b)像素。为此，采用目前的蒸镀源与掩膜板蒸镀红色r像素的发光层，绿色g像素的发光层，以及蓝色b像素的发光层，至少需要三张掩膜板，并进行至少三次对位，制备效率较低，影响产能。
39.本公开实施例提供了一种新的蒸镀装置，该蒸镀装置仅需提供一张蒸镀掩膜板，进行一次对位，即可完成oled显示面板中不同颜色像素的发光层的蒸镀制备，效率较高，相应的，即可以提高产能。
40.图1是本公开实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。如图1所示，该蒸镀装置包括：
41.蒸镀掩膜(mask)板01。该蒸镀掩膜板01位于显示面板中待蒸镀基板10 的一侧，且该蒸镀掩膜板01具有多个蒸镀区域m1。每个蒸镀区域m1包括沿平行于待蒸镀基板10的方向x1依次排布的多个蒸镀开口01k，以及用于间隔每相邻两个蒸镀开口01k的遮挡部01b。即，多个蒸镀开口01k可以被阻挡部 01b间隔开来。
42.例如，图1仅示意性的示出了蒸镀掩膜板01具有的一个蒸镀区域m1，也可以认为是一个蒸镀单元。每个蒸镀区域m1的结构可以相同，如可以包括相同数量的蒸镀开口01k。或者，各个蒸镀区域m1的结构也可以不同，如一些蒸镀区域m1包括三个蒸镀开口01k，一些蒸镀区域m1包括四个蒸镀开口01k。
43.可选的，待蒸镀基板10可以为玻璃基板或柔性基板，也可以称为制备基板。
44.多个蒸镀源02。该多个蒸镀源02位于蒸镀掩膜板01远离待蒸镀基板10的一侧，且每个蒸镀源02的喷嘴(nozzle)021均朝向蒸镀掩膜板01。多个蒸镀源02与多个蒸镀开口01k一一对应，并用于通过多个蒸镀开口01k在待蒸镀基板10上蒸镀形成不同颜色的发光层20。基于多个蒸镀开口01k的位置和排布方式可知，形成的不同颜色的发光层20也可以沿平行于待蒸镀基板10的方向x1间隔排布。通过每个蒸镀开口01k形成的发光层20也可以认为是被该蒸镀开口01k限定在待蒸镀基板10的对应位置处。在各个蒸镀区域m1的结构均相同基础上，可以在待蒸镀基板10上形成多组发光层20，每组发光层20均可以包括不同颜色的发光层20，且各组发光层20包括的发光层20数量相同，颜色相同。如此，即可以得到包括不同颜色的像素的显示面板。
45.例如，结合图1，假设一个蒸镀区域m1包括三个蒸镀开口01k，则相应的，蒸镀装置可以包括三个蒸镀源02。该三个蒸镀源02可以通过对应的三个蒸镀开口01k在待蒸镀基板10上蒸镀形成三种颜色的发光层20，且该三种颜色的发光层20也可以沿平行于待蒸镀基板10的方向x1间隔排布。在各个蒸镀区域 m1的结构均相同基础上，在待蒸镀基板10上形成的多组发光层20中，每组发光层20均可以包括该三种颜色的发光层20。
46.需要说明的是，每个蒸镀源02可以均具有蒸镀坩埚(见图1蒸镀源02的矩形部分)和上述实施例记载的喷嘴021。其中，蒸镀坩埚内可以预先填充有所需颜色的发光材料，如，用于形成蓝色发光层20的蒸镀源02蒸镀坩埚内可以填充有蓝色发光材料。然后，蒸镀源02可以通过喷嘴021将蒸镀坩埚内填充的发光材料沿一定方向蒸镀出去，此处的方向与喷嘴021朝向相同，也可以称为蒸镀方向。如，填充有蓝色发光材料的蒸镀源02可通过其喷嘴021将蓝色发光材料经对应的蒸镀开口01k蒸镀至待蒸镀基板10上，从而形成蓝色发光层20。
47.可选的，蒸镀装置一般位于蒸镀腔室内完成蒸镀工艺。用于形成不同颜色发光层20的多个蒸镀源02可以位于同一个蒸镀腔室内，可以通过移动该多个蒸镀源02至不同的蒸镀区域m1，以经不同的蒸镀区域m1在待蒸镀基板10不同位置处蒸镀形成多组发光层20。如此，仅一次蒸镀即可，效率较高。或者，用于形成不同颜色发光层20的多个蒸镀源02可以分别位于多个不同的蒸镀腔室内，即在每个蒸镀腔室内仅蒸镀形成一种颜色发光层。并且，在每个蒸镀腔室中，可以移动其中设置的一个蒸镀源02至不同的蒸镀区域m1，以经不同的蒸镀区域m1在待蒸镀基板10不同位置处蒸镀形成一种颜色的发光层20。在多个不同的蒸镀腔室内蒸镀完成后，即可以在待蒸镀基板10上形成多组发光层20。
48.在对蒸镀工艺进行如上介绍基础上，继续参考图1，多个蒸镀开口01k的延伸方向y1可以相交，每个蒸镀开口01k与待蒸镀基板10可以形成有第一夹角θ1，每个蒸镀源02的喷嘴021与待蒸镀基板10可以形成有第二夹角θ2。可选的，第一夹角θ1也可以称为mask倾角，第二夹角θ2也可以称为蒸镀角。
49.并且，对于每个蒸镀开口01k而言，第一夹角θ1小于蒸镀掩膜板01的厚度t与通过蒸镀开口01k形成的发光层20的宽度w的比值的反正切值。即，θ1《arctan(t/w)。如，对于图1所示最左侧的蒸镀开口01k而言，假设通过该蒸镀开口01k形成的发光层20的宽度为w1，则其所处位置的mask倾角θ 1《arctan(t/w1)。其他蒸镀开口01k同理，不再赘述。蒸镀掩膜板01的厚度方向可以垂直于待蒸镀基板10。
50.以及，对于每个蒸镀源02而言，第二夹角θ2与对应的蒸镀开口01k的第一夹角θ1的差值小于等于差值阈值。其中，差值阈值可以较小，一般在0-0.5 之间。如此，可以使得每个蒸镀源02的蒸镀角θ2与对应的蒸镀开口01k所处位置的mask倾角θ1差异较小，趋于接近或是恰好相等。
51.可选的，图1标识的第一夹角θ1和第二夹角θ2均为小于等于90度的角。在一些实施例中，第一夹角θ1和第二夹角θ2也可以均为大于等于90度的角。
52.经研究表明，通过控制蒸镀角和mask倾角满足上述条件，可以使得沿特定蒸镀角蒸镀的材料才可以蒸镀至对应的像素区域，像素区域即待蒸镀基板10上用于形成发光层20的区域。如，结合图1，使得与左侧蒸镀开口01k对应的蒸镀源02，仅能通过该最左侧蒸镀开口01k蒸镀至待蒸镀基板10上，而无法通过中间蒸镀开口01k或最右侧蒸镀开口01k蒸镀至待蒸镀基板10上。如此，即实现了采用一张蒸镀掩膜板01，并同时控制蒸镀源02的蒸镀角，来可靠制备不同颜色发光层20。
53.可选的，可以通过一次构图工艺形成具有图1所示mask倾角的蒸镀掩膜板 01，一次构图工艺可以包括：依次进行的涂胶、曝光、显影和刻蚀等步骤。而对于蒸镀源02而言，可以通过调整其喷嘴021的朝向，灵活控制蒸镀角。
54.综上所述，本公开实施例提供了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多
个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
55.可选的，继续结合图1，对于每个蒸镀源02而言，第二夹角θ2与对应的蒸镀开口01k的第一夹角θ1可以相等。即，上述实施例记载的差值阈值可以为0，且第二夹角θ2与对应的蒸镀开口01k的第一夹角θ1的差值等于差值阈值，即等于0。如此，可以认为是每个蒸镀源02的蒸镀角与对应的蒸镀开口01k 处的mask倾角相等，每个蒸镀源02的喷嘴朝向与对应的蒸镀开口01k延伸方向y1相匹配，蒸镀开口01k的延伸方向y1也可以称为mask方向。
56.如此，可以进一步确保每个蒸镀源02仅通过对应的蒸镀开口01k，在该蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处形成发光层20，而不会形成在其他蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处。
57.可选的，继续参考图1，本公开实施例记载的多个蒸镀开口01k中，一个目标蒸镀开口01k与待蒸镀基板10形成的第一夹角θ1可以为90度。如此，在第二夹角θ2与第一夹角θ1相等的基础上，即，第二夹角θ2也同样为90度时，可以认为是蒸镀源02的蒸镀角(即，喷嘴朝向)垂直于待蒸镀基板10。
58.并且，在此基础上，通过目标蒸镀开口01k形成的发光层20的宽度w可以小于蒸镀掩膜板01的厚度t与目标夹角的正切值的比值，该目标夹角可以包括除目标蒸镀开口01k外，其余蒸镀开口01k与待蒸镀基板10形成的第一夹角θ1。即，w《t/tanθ1。如此，可以进一步确保与目标蒸镀开口01k对应的蒸镀源02，仅通过该目标蒸镀开口01k在该目标蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处形成发光层20。宽度方向可以平行于待蒸镀基板10。
59.可选的，图2是本公开实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。如图2 所示，本公开实施例提供的蒸镀掩膜板01的每个蒸镀区域m1均可以包括三个蒸镀开口01k。相应的，每个蒸镀区域m1可以包括用于限定该三个蒸镀开口 01k的四个阻挡部01b。以及，蒸镀装置可以包括三个蒸镀源02。
60.其中，该三个蒸镀源02可以用于通过三个蒸镀开口01k在待蒸镀基板10 上蒸镀形成红色发光层20r、绿色发光层20g和蓝色发光层20b。
61.并且，如图2所示，沿平行于待蒸镀基板10的方向x1，形成的红色发光层20r、蓝色发光层20b和绿色发光层20g可以间隔排布。如，参考图2，蓝色发光层20b形成于中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10的对应位置处，位于中间位置；红色发光层20r形成于左侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板 10的对应位置处，位于左侧；绿色发光层20g形成于右侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10的对应位置处，位于右侧。当然，左侧和右侧可以互换。
62.当然，在一些其他实施例中，因除红色发光层20r、绿色发光层20g和蓝色发光层20b，还包括黄色(yellow，y)发光层，故蒸镀区域m1可以包括四个蒸镀开口01k，蒸镀装置可以包括四个蒸镀源02，以通过该四个蒸镀开口01k 在待蒸镀基板10上蒸镀形成红色发光层20r、绿色发光层20g、蓝色发光层20b 和黄色发光层20y。此处仅是示意性说明，也可以包括
更多颜色的发光层20，相应的，则包括更多数量的蒸镀开口01k和蒸镀源02。蒸镀装置包括的蒸镀源 02的数量，一个蒸镀区域m1具有的蒸镀开口01k的数量，可以均与在该蒸镀区域m1对应的待蒸镀基板10上形成的发光层20数量相同。
63.继续参考图1和图2可以看出，一个蒸镀区域m1具有的三个蒸镀开口01k 中，可以是位于中间的蒸镀开口01k与待蒸镀基板10形成的第一夹角θ1为90 度，且位于两侧(即，左右两侧)的蒸镀开口01k可以均沿远离待蒸镀基板10 的方向，向靠近中间的蒸镀开口01k的方向倾斜。即，位于左右两侧的蒸镀开口01k与待蒸镀基板10形成的第一夹角θ1小于90度，为锐角。以及，三个蒸镀开口01k延伸方向y1相交的交点靠近蒸镀源02。
64.当然，在一些其他实施例中，结合图1和图2，位于左右两侧的蒸镀开口 01k可以均沿靠近待蒸镀基板10的方向，向靠近中间的蒸镀开口01k的方向倾斜。即，三个蒸镀开口01k延伸方向y1相交的交点靠近待蒸镀基板10。以及，如上述实施例记载，也可以将与锐角互补的钝角作为第一夹角θ1。
65.可选的，在图2所示红色发光层20r、蓝色发光层20b和绿色发光层20g 间隔排布基础上，可以是指形成蓝色发光层20b的蒸镀源02的蒸镀角，即喷嘴朝向与待蒸镀基板10相互垂直。
66.图2以及下述实施例中，将红色发光层20r的宽度标识为wr，将形成红色发光层20r的蒸镀源02标识为02r，将该蒸镀源02r的蒸镀角θ2标识为θ 2r，以及将与该蒸镀源02r对应的蒸镀开口01k的第一夹角标识为θ1r。同理，将蓝色发光层20b的宽度标识为wb，将形成蓝色发光层20b的蒸镀源02标识为02b，将该蒸镀源02b的蒸镀角θ2标识为θ2b，以及将与该蒸镀源02b对应的蒸镀开口01k的第一夹角标识为θ1b。将绿色发光层20g的宽度标识为 wg，将形成绿色发光层20g的蒸镀源02标识为02g，将该蒸镀源02g的蒸镀角θ2标识为θ2g，以及将与该蒸镀源02g对应的蒸镀开口01k的第一夹角标识为θ1g。
67.示例的，以蒸镀源02r、02b和02g位于不同蒸镀腔室内移动蒸镀，且以图2所示结构为例，图3示出了采用蒸镀源02b形成蓝色发光层20b的示意图。图4示出了采用蒸镀源02g形成绿色发光层20g的示意图。图5示出了采用蒸镀源02r形成红色发光层20r的示意图。
68.结合图2和图3可以看出，蒸镀源02b的喷嘴朝向，即蒸镀角θ2b为90 度。三个蒸镀开口01k中，仅中间蒸镀开口01k的第一夹角θ1b为90度，与蒸镀源02b的蒸镀角θ2b相等，即蒸镀源02b的喷嘴朝向与对应的蒸镀开口 01k延伸方向y1相匹配。并且，左侧蒸镀开口01k的第一夹角θ1r满足：θ 1r《arctan(t/wr)，右侧蒸镀开口01k的第一夹角θ1g满足：θ1g《arctan (t/wg)。在此基础上，可以使得蒸镀源02b仅通过中间蒸镀开口01k在该中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处成功蒸镀上蓝色b发光材料，以形成蓝色发光层02b。而在移动蒸镀源02b过程中，蒸镀源02b通过左侧蒸镀开口01k和右侧蒸镀开口01k蒸镀的发光材料仅附着于蒸镀掩膜板01的阻挡部01b上，而不会蒸镀至左侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10上，以及不会蒸镀至右侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10上。图3中箭头所指示的方向即为蒸镀源02b的可选移动方向。
69.结合图2和图4可以看出，蒸镀源02g的喷嘴朝向，即蒸镀角θ2g小于 90度。三个蒸镀开口01k中，仅右侧蒸镀开口01k的第一夹角θ1g小于90度，且与蒸镀源02g的蒸镀角θ2g相等，即蒸镀源02g的喷嘴朝向与对应的蒸镀开口01k的延伸方向y1相匹配。并且，该第一夹角θ1g满足：θ1g《arctan (t/wg)。相应的，蒸镀角θ2g也满足：θ2g《arctan(t/wg)。以及，左侧蒸
镀开口01k的第一夹角θ1r满足：θ1r《arctan(t/wr)，中间蒸镀开口01k 的第一夹角θ1b满足：θ1b＝90度。在此基础上，可以使得蒸镀源02g仅通过右侧蒸镀开口01k在该中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处成功蒸镀上绿色g发光材料，以形成绿色发光层02g。而在移动蒸镀源02g过程中，蒸镀源02g通过左侧蒸镀开口01k和中间蒸镀开口01k蒸镀的发光材料仅附着于蒸镀掩膜板01的阻挡部01b上，而不会蒸镀至左侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10上，以及不会蒸镀至中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10上。图4中箭头所指示的方向即为蒸镀源02g的可选移动方向。
70.结合图2和图5可以看出，蒸镀源02r的喷嘴朝向，即蒸镀角θ2r小于90 度。三个蒸镀开口01k中，仅左侧蒸镀开口01k的第一夹角θ1r小于90度，且与蒸镀源02r的蒸镀角θ2r相等，即蒸镀源02r的喷嘴朝向与对应的蒸镀开口01k的延伸方向y1相匹配。并且，该第一夹角θ1r满足：θ1r《arctan(t/wr)。相应的，蒸镀角θ2r也满足：θ2r《arctan(t/wr)。以及，右侧蒸镀开口01k 的第一夹角θ1g满足：θ1g《arctan(t/wg)，中间蒸镀开口01k的第一夹角θ1b满足：θ1b＝90度。在此基础上，可以使得蒸镀源02r仅通过左侧蒸镀开口01k在该中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10位置处成功蒸镀上红色r 发光材料，以形成红色发光层02r。而在移动蒸镀源02r过程中，蒸镀源02r 通过左侧蒸镀开口01k和中间蒸镀开口01k蒸镀的发光材料仅附着于蒸镀掩膜板01的阻挡部01b上，而不会蒸镀至左侧蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板 10上，以及不会蒸镀至中间蒸镀开口01k所限定的待蒸镀基板10上。图5中箭头所指示的方向即为蒸镀源02r的可选移动方向。
71.基于上述实施例记载可知，在本公开实施例中，θ1r满足：θ1r《arctan (t/wr)；θ1g满足：θ1g《arctan(t/wg)；θ1b满足：θ1b＝90度。以及，θ2r等于θ1r；θ2b等于θ1b；θ2g等于θ1g。并且，形成的蓝色发光层20b的宽度wb可以同时满足：wb《t/tanθ2r，wb《t/tanθ2g。
72.在此基础上，在制备显示面板的工艺过程中，在进行蒸镀工艺之前，仅需将图1至图5所示的蒸镀掩膜板01与待蒸镀基板10进行一次对位贴合即可。之后，只需调整蒸镀源02的蒸镀角进行蒸镀制备即可。在蒸镀完成之后，可以将蒸镀掩膜板01与待蒸镀基板10分离，并进行后续的封装工艺。
73.可选的，该封装工艺可以包括：在发光层20远离待蒸镀基板10的一侧形成一层或多层封装层，从而实现对发光层20的封装保护，避免外界水汽入侵，损坏发光层20。
74.需要说明的是，虽然图1至图5中示出的蒸镀掩膜板01与待蒸镀基板10 未接触，但实际应用中，蒸镀掩膜板01与待蒸镀基板10接触贴合，以确保在待蒸镀基板10上可靠蒸镀发光层20。
75.通过控制蒸镀角和mask倾角满足上述实施例记载内容，可以使得蒸镀的材料不会蒸镀至图6箭头指示的周边位置，而是会可靠蒸镀至蒸镀开口01k内，即图6所示圆圈内，蒸镀效果较好。图6还示意性标识出阻挡部01b。
76.可选的，本公开实施例记载的蒸镀掩膜板01的材料可以包括：金属合金、玻璃或硅。即，可以采用金属合金、玻璃或硅制作蒸镀掩膜板01。其中，采用硅材料制作蒸镀掩膜板01，可以确保形成的显示面板分辨率较高。以及，需要说明的是，对于采用金属合金制成的蒸镀掩膜板01还可以称为精金属掩模板 (fine metal mask，fmm)。
77.当然，在一些实施例中，也可以直接复用显示面板原有的膜层代替蒸镀掩膜板01，如此，可以节省成本。示例的，参考图7，其示出的显示面板还可以包括：位于待蒸镀基板10
一侧的像素界定层((pixel definition layer，pdl)。
78.其中，像素界定层pdl可以具有多个开口k1，像素界定层pdl可以用于将不同的发光层20限定于不同的开口k1内。图7示出被像素界定层pdl的三个开口k1限定的红色发光层20r、蓝色发光层20b和绿色发光层20。
79.本公开实施例记载的蒸镀掩膜板01可以复用该像素界定层pdl。即，像素界定层pdl具有的多个开口k1与图1至图5所示的多个蒸镀开口01k相同。此处相同可以是指：结构和mask倾角均相同。在蒸镀工艺中，可以直接采用该像素界定层pdl作为蒸镀掩膜板01，配合蒸镀源02完成发光层20的蒸镀。
80.示例的，图8以图2所示结构为例，示出了一种以像素界定层pdl作为蒸镀掩膜板01，形成间隔排布的红色发光层20r、蓝色发光层20b和绿色发光层 20g的示意图。第一夹角θ1可以为像素界定层pdl的开口k1与待蒸镀基板 10的夹角。如此，也可以仅控制蒸镀源02的蒸镀角可靠实现全彩蒸镀。
81.同上实施例，在复用像素界定层pdl作为蒸镀掩膜板01蒸镀完成后，可以进行后续封装工艺，以对蒸镀形成的发光层20进行封装保护。
82.可选的，结合图2和图8还可以看出，本公开实施例记载的多个蒸镀开口 01k中，每个蒸镀开口01k在待蒸镀基板10上的正投影可以呈矩形，每个蒸镀开口01k不同位置处的孔径可以相同，且各个蒸镀开口01k的孔径可以相同。如，孔径可以均约为3微米(μm)。
83.当然，在一些其他实施例中，蒸镀开口01k在待蒸镀基板10上的正投影也可以呈其他形状，如椭圆型、圆形或梯形等。蒸镀开口01k不同位置处的孔径可以存在较小差异。以及，各个蒸镀开口01k的孔径也可以存在较小差异。如，参考图9，一些蒸镀开口01k的孔径可以为3.11μm，另一些蒸镀开口01k的孔径可以约为2.84μm。其中，图9示出的6.22μm是指间隔相邻两个蒸镀开口 01k的阻挡部01b的宽度。
84.结合上述实施例记载可知，本公开实施例一方面可以通过提供独立于显示面板的蒸镀掩膜板01，并设置蒸镀掩膜板01的蒸镀开口方向与蒸镀源02的蒸镀方向一致，以达到避免重复对位，解决蒸镀效率较低的目的。另一方面还可以通过复用显示面板中的像素界定层pdl作为蒸镀掩膜板01，并同时设置像素界定层pdl的开口方向与蒸镀源02的蒸镀方向一致，以达到避免重复对位，解决蒸镀效率较低的目的，同时还达到了节省成本的目的。
85.综上所述，本公开实施例提供了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
86.图10是本公开实施例提供的一种蒸镀方法的流程图。如图10所示，该方法包括：
87.步骤1001、提供待蒸镀基板。
88.步骤1002、采用蒸镀装置，在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。
89.其中，采用的蒸镀装置可以为图1所示的装置。如此，结合上述实施例记载可知，可
以仅通过一张蒸镀掩膜板，并进行一次蒸镀掩膜板与待蒸镀基板的对位，即可在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层，实现全彩蒸镀。这提高了蒸镀效率，进而提高了产能。
90.综上所述，本公开实施例提供了一种蒸镀方法。该方法可以采用蒸镀装置，在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。其中，该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，该方法可以通过一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
91.需要指出的是，在附图中，为了图示的清晰可能夸大了层和区域的尺寸。而且可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”时，它可以直接在其他元件上，或者可以存在中间的层。另外，可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“下”时，它可以直接在其他元件下，或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外，还可以理解，当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时，它可以为两层或两个元件之间唯一的层，或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。
92.以及，本公开实施方式部分使用的术语仅用于对本公开的实施例进行解释，而非旨在限定本公开。除非另作定义，本公开的实施方式使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。
93.如，在本公开实施例中，术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。
94.同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。
[0095]“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。
[0096]“上”、“下”、“左”或者“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则所述相对位置关系也可能相应地改变。
[0097]
以上所述仅为本公开的可选实施例，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。