1.本发明涉及显示屏制造技术领域,尤其涉及一种玻璃基板支撑装置。
背景技术:2.显示屏制造工艺流程中包括玻璃基板镀膜工序。如图1所示,为玻璃基板的物理气相沉积镀膜示意图。镀膜系统1
′
包括依次设置的过渡腔室11
′
、加热腔室12
′
、第一沉积腔室13
′
、第二沉积腔室14
′
以及第三沉积腔室15
′
。待镀膜玻璃基板10
′
首先进入过渡腔室11
′
,再进入加热腔室12
′
内被加热至设定温度,被加热的玻璃基板随后依次进入第一沉积腔室13
′
、第二沉积腔室14
′
以及第三沉积腔室15
′
,完成三个阶段的沉积镀膜。第三沉积腔室15
′
内已镀膜玻璃基板20
′
再沿原路返回至过渡腔室11
′
,并被转运出。镀膜过程中,待镀膜玻璃基板10
′
不断地进入镀膜系统1
′
,因此,过渡腔室11
′
内会同时存在待镀膜玻璃基板10
′
和已镀膜玻璃基板20
′
。
3.在进入过渡腔室11
′
之前,为待镀膜玻璃基板10
′
的上料准备过程。如图2和图3所示,上料机械手将待镀膜玻璃基板10
′
平放至支撑装置2
′
上。支撑装置2
′
包括矩形框架21
′
和等间隔设置于该矩形框架21
′
上的多个支撑条22
′
,每个支撑条22
′
上沿其长度方向均间隔设置有多个支撑柱23
′
,待镀膜玻璃基板10
′
平放于这些支撑柱23
′
上。支撑柱23
′
的直径较小,能够尽可能减小与玻璃基板的接触面,避免磨损玻璃基板。
4.随后,如图4所示,翻转机械手3
′
夹持住待镀膜玻璃基板10
′
的一端,将待镀膜玻璃基板10
′
由水平状态翻转至竖直状态,为确保翻转过程的稳定性,支撑装置2
′
同步翻转,以支撑待镀膜玻璃基板10
′
。翻转完成后,待镀膜玻璃基板10
′
和支撑装置2
′
均为竖直状态,二者一起进入过渡腔室11
′
内,直至镀膜完成后,再一起移出过渡腔室11
′
。已镀膜玻璃基板20
′
和随行的支撑装置2
′
移出过渡腔室11
′
后,同步由竖直状态再翻转回水平状态,支撑装置2
′
在此过程中起到支撑已镀膜玻璃基板20
′
的作用,确保翻转过程中已镀膜玻璃基板20
′
的稳定性。翻转完成后,下料机械手将已镀膜玻璃基板20
′
转运走。
5.如图2和图5所示,支撑条22
′
的上端与矩形框架21
′
固定连接。矩形框架21
′
的下端设置有凹槽,该凹槽处设置有u型扣件24
′
,u型扣件24
′
的u型腔与凹槽共同形成用于穿设支撑条22
′
下端的穿孔25
′
,支撑条22
′
下端在穿孔25
′
内可活动。即支撑条22
′
的上端固定,下端能够在一定范围内活动,在支撑玻璃基板翻转过程中,支撑条22
′
能够适应性活动,避免其与玻璃基板之间为刚性接触而损伤玻璃基板。而支撑条22
′
的上端固定、以及穿孔25
′
的设置,能够防止支撑条22
′
动作过大或支撑条22
′
固定位置发生偏移而致使玻璃基板破损。
6.现有技术存在以下缺陷:矩形框架21
′
、支撑条22
′
以及u型扣件24
′
均为金属材料制成,如图5所示,矩形框架21
′
的凹槽槽口处存在尖角位置211
′
,且支撑条22
′
的横截面呈方形,支撑条22
′
在穿孔25
′
内极易与穿孔25
′
内壁,尤其是尖角位置211
′
发生碰撞摩擦,碰撞摩擦后会产生漂浮的金属粉末。如图1所示,在过渡腔室11
′
同时存在待镀膜玻璃基板10
′
和已镀膜玻璃基板20
′
的情况下,与已镀膜玻璃基板20
′
随行的支撑装置2
′
由于碰撞摩擦产生的金属粉末会飘散至过渡腔室11
′
内,进而附着于待镀膜玻璃基板10
′
上,致使该玻璃基
板在镀膜之前便被金属粉末污染,形成不良。
技术实现要素:7.本发明的目的在于:提供一种玻璃基板支撑装置,能够避免金属粉末附着于待镀膜玻璃基板上,提高玻璃基板的镀膜质量,提升良品率。
8.为达上述目的,本发明采用以下技术方案:
9.提供一种玻璃基板支撑装置,包括:
10.框架结构,所述框架结构上设置有多个限位孔;
11.支撑条,所述支撑条平行且间隔设置有多个,多个所述支撑条与多个所述限位孔一一对应,每个所述支撑条均包括固定部和活动部,所述固定部和所述活动部分设于所述支撑条的两端,所述固定部固定连接于所述框架结构上,所述活动部活动穿设于对应的所述限位孔,所述活动部套设有保护套,所述保护套的外周面呈圆柱形,所述保护套由非金属材料制成。
12.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述活动部的横截面呈圆形。
13.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述保护套包括套筒部和封堵部,所述套筒部的两端开口,所述封堵部位于所述活动部远离所述固定部的一端,且所述封堵部设置于所述套筒部的一端开口处,所述套筒部套设在所述活动部外。
14.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述保护套螺纹旋拧在所述活动部上;或,
15.所述保护套的内壁与所述活动部的外壁粘接。
16.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述框架结构包括框体和多个扣件,多个所述限位孔由所述框体和多个所述扣件限制出,所述框体的一侧间隔设置有多个与所述扣件一一对应的第一限位槽,所述扣件面向所述第一限位槽的一侧设置有第二限位槽,所述第二限位槽与所述第一限位槽拼合形成所述限位孔。
17.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,还包括第一紧固件,所述扣件相对的两侧与所述框体之间各夹设有一个调节件,所述调节件上设置有条形孔,所述第一紧固件依次穿过所述扣件和所述条形孔,并与所述框体螺纹连接,所述调节件能够在所述条形孔范围内被调节移动,以使两个所述调节件的间距可调。
18.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述调节件远离所述活动部且位于所述扣件外的一端设置有止挡部,所述止挡部沿远离所述框体的方向延伸。
19.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述第一限位槽的槽口边缘、所述调节件的内侧边缘以及所述第二限位槽的槽口边缘均设置圆弧过渡结构。
20.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,所述第一限位槽面向所述活动部的槽壁上设置有第一垫片,所述第一垫片由非金属材料制成。
21.作为玻璃基板支撑装置的一种优选方案,还包括第二紧固件,所述第二紧固件穿过所述固定部并与所述框架结构螺纹连接,所述固定部与所述框架结构之间夹设有第二垫片,所述第二垫片由非金属材料制成。
22.本发明的有益效果为:通过在支撑条的活动部套设非金属材料的保护套,能够避免金属材质的支撑条活动部和金属材质的限位孔内壁直接碰触,从而避免了金属之间碰撞
摩擦产生金属粉末的现象发生,另外,保护套的外周面呈圆形,相比于现有技术中横截面为方形的支撑条,其不存在尖锐棱边,当保护套的外周面与限位孔内壁碰撞时,限位孔内壁所受应力较小,有效降低了金属粉末的产生概率,进而有效避免金属粉末附着于待镀膜玻璃基板上,提高了玻璃基板的镀膜质量以及显示屏良品率。
附图说明
23.下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
24.图1为现有的镀膜系统的结构示意图。
25.图2为现有的玻璃基板支撑装置的结构示意图。
26.图3为待镀膜玻璃基板平放于现有的玻璃基板支撑装置上的示意图。
27.图4为待镀膜玻璃基板和玻璃基板支撑装置的翻转示意图。
28.图5为图2中a-a方向的剖视图。
29.图6为本发明提供的玻璃基板支撑装置的结构示意图。
30.图7为图6中b-b方向的剖视图。
31.图8为本发明提供的支撑条的结构示意图。
32.图9为本发明提供的支撑条的截面视图。
33.图10为图7的半剖视图。
34.图11为调节件向内调整后的结构示意图。
35.图12为图6中c-c方向的剖视图。
36.图1至图5中:
[0037]1′
、镀膜系统;11
′
、过渡腔室;12
′
、加热腔室;13
′
、第一沉积腔室;14
′
、第二沉积腔室;15
′
、第三沉积腔室;
[0038]2′
、支撑装置;21
′
、矩形框架;211
′
、尖角位置;22
′
、支撑条;23
′
、支撑柱;24
′
、u型扣件;25
′
、穿孔;
[0039]3′
、翻转机械手;
[0040]
10
′
、待镀膜玻璃基板;20
′
、已镀膜玻璃基板。
[0041]
图6至图12中:
[0042]
1、框架结构;11、限位孔;111、圆弧过渡结构;12、框体;121、第一限位槽;122、第一垫片;123、第二垫片;13、扣件;131、第二限位槽;14、调节件;141、条形孔;142、止挡部;
[0043]
2、支撑条;21、条体;22、固定部;23、活动部;24、支撑柱;
[0044]
3、保护套;31、套筒部;32、封堵部;
[0045]
4、第一紧固件;5、第二紧固件。
具体实施方式
[0046]
参考下面结合附图详细描述的实施例,本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本发明不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本发明的公开并且使本领域技术人员充分地了解本发明的范围,并且本发明仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0047]
以下,参照附图来详细描述本发明。
[0048]
如图6和图7所示,本实施例提供一种玻璃基板支撑装置,在玻璃基板进入镀膜系统的过渡腔室之前,能够支撑玻璃基板由水平状态翻转至竖直状态;以及,在玻璃基板完成镀膜并由过渡腔室移出后,能够支撑玻璃基板由竖直状态翻转至水平状态。在玻璃基板进入镀膜系统后,支撑装置与之随行。
[0049]
如图6所示,该支撑装置包括框架结构1和设置于框架结构1上的多个支撑条2。框架结构1呈矩形,多个支撑条2平行且间隔地设置于框架结构1上。每个支撑条2上沿其长度方向均间隔设置有多个支撑柱24,待镀膜的玻璃基板平放于这些支撑柱24上。支撑柱24的直径较小,能够尽可能减小与玻璃基板的接触面,避免磨损玻璃基板。
[0050]
示例性地,多个支撑条2等间隔分布于框架结构1上,每个支撑条2上的多个支撑柱24同样等间隔分布,确保所支撑的玻璃基板受力均匀。
[0051]
在本实施例中,如图8所示,每个支撑条2均包括条体21以及分设于条体21两端的固定部22和活动部23。参照图6中的方位,支撑条2的上端即为上述的固定部22,支撑条2的下端即为上述的活动部23。固定部22固定连接于框架结构1的上侧,如图7所示,框架结构1的下侧设置有多个限位孔11,多个限位孔11与多个支撑条2一一对应设置,每个支撑条2的活动部23均活动穿设于对应的限位孔11内,即,活动部23与限位孔11的内壁存在间隙,以使其在限位孔11内能够适应性微量移动。支撑条2的上端(固定部22)固定,下端(活动部23)能够在一定范围内活动,以使在支撑玻璃基板翻转过程中,支撑条2能够适应性活动,避免其与玻璃基板之间为刚性接触而损伤玻璃基板。将支撑条2的上端固定于框架结构1上,能够防止支撑条2的固定位置发生较大偏移,即,无论支撑条2如何适应性摆动,其固定部22始终与框架结构1固连,支撑条2整体不会产生不必要的位移,避免划伤玻璃基板。限位孔11的设置能够限制支撑条2的摆动位移量,防止其动作过大而致使玻璃基板破损。
[0052]
在本实施例中,如图7和图8所示,活动部23套设有保护套3。保护套3的外周面呈圆柱形,且保护套3由非金属材料制成。通过在支撑条2的活动部23套设非金属材料的保护套3,能够避免金属材质的支撑条2活动部23和金属材质的限位孔11内壁直接碰触,从而避免了金属之间碰撞摩擦产生金属粉末的现象发生。另外,保护套3的外周面呈圆柱形,相比于现有技术中横截面为方形的支撑条2,其不存在尖锐棱边,当保护套3的外周面与限位孔11内壁碰撞时,限位孔11内壁所受应力较小,有效降低了金属粉末的产生概率,进而有效避免金属粉末附着于待镀膜玻璃基板上,提高了玻璃基板的镀膜质量以及显示屏良品率。
[0053]
可选地,保护套3采用聚酰亚胺材料制成。聚酰亚胺材料具有耐高温、耐腐蚀性能优良的特点,在支撑装置多次随玻璃基板进入镀膜系统后,保护套3不会发生变形损坏而脱离活动部23。另外,聚酰亚胺材料也具备一定的缓冲能力,在其与限位孔11的内壁碰撞时,不会导致限位孔11内壁产生金属粉末。
[0054]
如图8所示,本实施例中,支撑条2的条体21和固定部22的横截面均呈矩形,并优选为方形,制造加工以及安装时更为方便。而且,条体21的表面为平面,在其上布置多个支撑柱24时更为方便。活动部23的横截面呈圆形,相应地,保护套3的内孔为圆形孔,圆形孔的加工较简单,使用钻头钻设即可。或者,本实施例中可取用现成的聚酰亚胺材料的圆管,来制作保护套3。
[0055]
本实施例中,支撑条2为一体成型式结构,具有较高强度,不易变形,在加工活动部
23时,可将现有的支撑条2的一端车削为圆柱状,以形成活动部23,并制作相应尺寸的保护套3。
[0056]
在其他实施例中,活动部23的横截面可以为椭圆形、方形或其他多边形等,并不仅限于本实施例所限定的圆形,相应地,保护套3内孔的形状与活动部23的横截面形状相适配,只需要保证保护套3的外周面呈圆柱形即可。
[0057]
如图8和图9所示,保护套3包括套筒部31和封堵部32,套筒部31的两端开口,封堵部32设置于套筒部31的一端开口处。即,保护套3为上端开口、下端封闭式的结构,套筒部31套设在活动部23外,封堵部32位于活动部23远离固定部22的一端,使得保护套3能够将活动部23伸入限位孔11内的部分完全包裹住,确保活动部23的外周壁和下端面均不会由于碰撞摩擦而产生金属粉末。
[0058]
可选地,由于支撑装置以竖直状态随玻璃基板进入镀膜系统,而保护套3套设于支撑条2的下端(活动部23),为确保保护套3不意外脱落,可在保护套3的内壁加工出内螺纹结构,在活动部23的外壁加工出相配合的外螺纹结构,以使保护套3的内壁与活动部23的外壁螺纹连接,避免保护套3意外掉落。安装时,将保护套3螺纹旋拧于活动部23即可。本实施例中所采用的聚酰亚胺材料制成的保护套3,具有一定的硬度,可以在其上加工出内螺纹结构。当然,其他实施例中,保护套3的内壁与活动部23的外壁也可通过强力胶粘接,选胶时应选择耐高温的强力胶,防止胶在镀膜系统中被高温加热而失效。
[0059]
如图6所示,框架结构1包括框体12和设置于框体12上的多个扣件13。上述的多个限位孔11由框体12和多个扣件13限制出,具体地,结合图10,框体12的下侧间隔设置有多个与扣件13一一对应的第一限位槽121,扣件13面向第一限位槽121的一侧设置有第二限位槽131,扣件13为u型结构。第二限位槽131与第一限位槽121拼合形成上述的限位孔11。在将支撑条2安装于框架结构1上时,可先将支撑条2固定部22与框体12固连,并将活动部23放置于对应的第一限位槽121内,随后将扣件13覆盖于活动部23位置,并将扣件13与框体12连接,形成限制活动部23摆动位移量的限位孔11。这种布置方式使得支撑条2的安装更为方便顺利。当然,其他实施例中,也可以直接在框体12上开设限位孔11。
[0060]
在本实施例中,扣件13与框体12之间通过第一紧固件4固定连接。如图10所示,扣件13相对的两侧与框体12之间各夹设有一个调节件14,两个调节件14分设于活动部23的两侧,且两个调节件14的间距可调,以调整活动部23沿左右方向的活动范围。具体地,调节件14上设置有条形孔141,该条形孔141沿左右方向延伸。扣件13相对的两侧各设置一个第一紧固件4,第一紧固件4依次穿过扣件13和条形孔141,并与框体12螺纹连接,调节件14能够在条形孔141范围内被调节移动,以调节两个调节件14的间距。
[0061]
如图10所示,此时第一紧固件4穿设于条形孔141的右侧位置,两个调节件14的间距较大,相应地,支撑条2活动部23沿左右方向的活动范围较大。若在某些情况下需要缩小支撑条2活动部23沿左右方向的活动范围,则可调节两个调节件14的位置,如图11所示,此时,第一紧固件4穿设于条形孔141的左侧位置,两个调节件14的间距缩短,以将活动部23的位移量限制在更小的范围内。
[0062]
如图10和图11所示,调节件14远离活动部23且位于扣件13外的一端设置有止挡部142,且止挡部142沿远离框体12的方向延伸。止挡部142能够与扣件13的外侧抵接,以限制两个调节件14之间的间距不能过小。
[0063]
本实施例中调节件14的设置还能起到垫板作用,能够增大扣件13端面与框体12之间的接触面积,减少应力集中。
[0064]
参见图7、图10以及图11,第一限位槽121面向活动部23的槽壁上设置有第一垫片122,第一垫片122由非金属材料制成。玻璃基板放置于支撑装置上时,扣件13位于玻璃基板和框体12之间,在该支撑装置支撑玻璃基板翻转时,支撑条2的活动部23朝向框体12方向移动,并与第一限位槽121的底壁碰触。通过在第一限位槽121的底壁设置非金属材料的第一垫片122,能够避免活动部23上的保护套3与金属材料的框体12直接碰触,从而避免产生金属粉末。
[0065]
如图6和图12所示,支撑条2的固定部22与框体12之间通过第二紧固件5固定连接。第二紧固件5穿过固定部22并与框架结构1螺纹连接,固定部22与框架结构1之间夹设有第二垫片123,第二垫片123由非金属材料制成。通过设置非金属材料的第二垫片123,能够避免金属材质的固定部22与金属材质的框体12直接碰触而产生金属粉末。
[0066]
本实施例中,第一垫片122和第二垫片123均采用ptfe(聚四氟乙烯)材料制成,其表面光滑度较高,且具备一定的强度,在保护套3与第一垫片122碰触过程中产生的摩擦力较小;以及,在活动部23活动时,固定部22与第二垫片123的摩擦力较小,能够进一步避免框体12或支撑条2磨损产生金属粉末。第一紧固件4和第二紧固件5均优选为长螺钉,取材方便,造价较低。
[0067]
优选地,于限位孔11内壁的尖角位置设置圆弧过渡结构111。尖角位置为薄弱部位,在被碰撞时所受应力较大,且易损伤碰撞其的保护套3,因此,使用圆弧过渡结构111代替尖角位置,能够避免金属材质的限位孔11内壁存在尖锐部位,从而避免保护套3与尖锐部位碰撞而产生金属粉末。如图7、图10和图11所示,第一限位槽121的槽口边缘位置、调节件14的内侧边缘位置以及第二限位槽131的槽口边缘位置均设置圆弧过渡结构111。
[0068]
尽管上面已经参考附图描述了本发明的实施例,但是本发明不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本发明。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。