炉管镀膜设备的制作方法

1.本发明涉及管式镀膜技术领域，尤其涉及一种炉管镀膜设备。


背景技术：

2.随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高。一方面需要保证设备的产能要求，另一方面需要保证设备极高的镀膜均匀性。
3.现有的管式低压力化学气相沉积(low pressure chemical vapor deposition，lpcvd)镀膜设备、管式等离子体增强化学的气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，pecvd)镀膜设备、管式扩散镀膜设备等管式镀膜设备，受管式镀膜设备腔体结构的设计限制，腔体的炉口和炉尾保温性能差、热量流失严重、温度均匀性差，造成腔体两端的镀膜均匀性差。
4.现有技术中，为了保证镀膜的均匀性，通常在靠近腔体炉口和炉尾的位置不放置硅片进行镀膜，致使设备相比于原有的产能有所下降，导致腔体空间利用率降低，即通过损失产能的方式保证了均匀性。
5.因此需要设计一种能够同时保证产能和均匀性的炉管镀膜设备


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种炉管镀膜设备，用以改善现有技术中产能和均匀性无法同时保证的问题。
7.本发明提供了一种炉管镀膜设备，包括炉体、供气装置和反射单元；所述炉体中空密封设置，所述炉体用于承载待镀膜对象，所述炉体并用于对所述镀膜对象进行加热，所述供气装置与所述炉体的中空处连通，所述供气装置用于所述镀膜对象提供镀膜所需原料；所述反射单元设置于所述炉体内，所述反射单元用于反射热量。
8.本发明的炉管镀膜设备的有益效果在有：通过所述炉体对待镀膜的对象进行承载和加热，通过所述供气装置对所述炉体进行供气，提供镀膜用原料，并通过在所述炉体内设置所述反射单元，对所述炉体内的热量进行反射，能够提升所述炉体内的温度均匀性，进而解决温度炉体两端镀膜均匀性差的问题，能够在保证产能的同时保证镀膜均匀性。
9.在一种可行的方案中，所述反射单元设置于所述炉体的两端。其有益效果在于：由于设备的侧壁通常布置加热装置，且设备的两端通常是温度薄弱区，将所述反射单元设置于所述炉体的两端，能够提升两端的保温效果，布局合理，恒温效果稳定。
10.在一种可行的方案中，所述反射单元包括第一反射组和第二反射组；所述第一反射组和所述第二反射组分别设置于所述炉体的两端，且所述第一反射组和所述第二反射组相对设置。其有益效果在于：通过将所述反射单元设置为第一反射组和第二反射组，便于对两者进行分别布局和安装，通过将所述第一反射组和所述第二反射组相对设置，能够使得两者之间形成振荡回路，提升反射效果。
11.在一种可行的方案中，所述第一反射组和/或所述第二反射组包括第一反射件；所
述第一反射件设有扰流孔，所述扰流孔用于混合通过所述第一反射件的气体。其有益效果在于：通过在所述第一反射件设置所述扰流孔，便于混合进入所述炉体内的气体，提升气体的均匀性。
12.在一种可行的方案中，所述扰流孔的轴向与所述炉体轴向相交设置。其有益效果在于：这样设置使得经过所述扰流孔的气体的运动方向与所述炉体的轴向形成一定的角度，并使得经过所述扰流孔的气体能够与未经过所述扰流孔的气体发生冲击，进而提升气体的均匀性。
13.在一种可行的方案中，所述扰流孔设置为若干个，若干个所述扰流孔均匀设置于所述第一反射件。其有益效果在于：将所述扰流孔设置为若干个，并均匀设置于所述第一反射件，能够在所述扰流孔处形成多个倾斜的气流，提升气体混合的均匀性。
14.在一种可行的方案中，各个所述扰流孔的截面积之和占比所述第一反射件的截面积的5％至20％。其有益效果在于：限定所述扰流孔的截面积占比，保证所述第一反射件的发射效果。
15.在一种可行的方案中，所述第一反射件设置为若干个。其有益效果在于：将所述第一反射件设置为若干个，提升混气和保温效果。
16.在一种可行的方案中，若干个所述第一反射件中存在至少两个所述第一反射件对称设置。其有益效果在于：将所述第一反射件设置成对称设置的两个，能够在原有设置的基础上，反向调整混气方向，促进混气的均匀性。
17.在一种可行的方案中，相邻的所述第一反射件的扰流孔错位设置。其有益效果在于：这样能够增加相邻的所述第一反射板之间的扰流孔件的气体运动路径。
18.在一种可行的方案中，所述第一反射组和/或所述第二反射组还包括第二反射件；所述第二反射件设有导向孔，所述第二反射件设置于所述第一反射件靠近于所述炉体中心的一侧，所述导向孔的轴向与所述炉体的轴向平行设置。其有益效果在于：将所述第一反射组和/或第二反射组靠近中心的一侧设置所述第二反射件，通过所述第二反射件上的导向孔对所述炉体内的气体进行导向，使得经过所述第二反射件的气体流向于所述炉体的轴向平行，使得气体均匀的作用在待镀膜对象上，提升气体作用使得均匀性。
19.在一种可行的方案中，所述第一反射件和/或所述第二反射件设置为若干个。其有益效果在于：通过设置若干个所述第一反射件能够提升混气效果，通过设置若干个所述第二反射件能够提升气体流通时的均匀度。
20.在一种可行的方案中，还包括辅加热器；所述辅加热器设置于所述第一反射组和/或所述第二反射组的一侧，所述辅加热器用于加热。其有益效果在于：通过设置所述辅加热器，对所述炉体的两端进行辅助加热，提升所述炉体两端温度的均匀性。
21.在一种可行的方案中，所述辅加热器设置于所述第一反射组和/或所述第二反射组靠近所述炉体中心的一侧。其有益效果在于：将所述辅加热器设置于所述反射组靠近所述炉体中心的一侧，便于利用所述反射组的反射效果。
22.在一种可行的方案中，所述辅加热器设置为至少两个，且所述第一反射组和/或所述第二反射组一侧的所述辅加热器的数量设置为至少两个。其有益效果在于：在所述炉体的一端设置至少两个所述辅加热器，可以通过开启不同加热器的数量调整炉体端部的加热功率。
23.在一种可行的方案中，所述炉体包括加热炉、进气件和补气件；所述加热炉中空贯穿设置，所述进气件和所述补气件分别设置于所述加热炉的两端，所述加热炉用于承载所述镀膜对象，且所述加热炉用于对所述镀膜对象进行加热，所述进气件和所述补气件用于密封所述加热炉，所述供气装置与所述进气件和所述补气件连通。其有益效果在于：通过设置所述加热炉实现加工空间和加热的目的，通过设置所述进气件和所述补气件，便于向所述加热炉内通入反应气体，并将所述进气件和所述补气件分别设置于所述加热炉的两端，通过两端进气的方式对所述加热炉进行供气，保证炉内整体的气体均匀度。
24.在一种可行的方案中，还包括补气管；所述补气管设置于所述加热炉内，所述补气管与所述补气件连通，所述供气装置用于通过所述补气件和所述补气管向所述加热炉供气。其有益效果在于：通过设置所述补气管，对所述补气件的进气位置进行调整，便于提升所述加热炉内的气体均匀度。
25.在一种可行的方案中，所述补气管与所述加热炉的轴线平行设置，且所述补气管的长度大于等于所述加热炉的长度的三分之一。其有益效果在于：将所述补气管与所述加热炉平行设置，便于所述设备的加工和安装，便于所述镀膜对象的输入输出，通过将所述补气管的长度设置为不小于所述加热炉长度的三分之一，使得所述补气件的最远的进气点能够至少到达所述加热炉的三分之一处，保证炉内的气体均匀性。
26.在一种可行的方案中，所述补气管均设置为若干个，若干个所述补气管均匀设置于所述加热炉内。其有益效果在于：通过均匀设置若干个所述补气管，进一步提升供气的均匀性。
27.在一种可行的方案中，所述补气管的侧壁设有补气孔，所述补气孔设置为若干个。其有益效果在于：在所述补气管的侧壁设置补气孔，能够在所述补气管的沿途进行出气，延长出气位置。
28.在一种可行的方案中，所述加热炉包括外壳、加热件和保温件；所述外壳中空贯穿设置，所述进气件和所述补气件分别设置于所述外壳两端，所述加热件设置于所述外壳，所述加热件用于对所述外壳进行加热；所述保温件设置于所述外壳外周侧，所述保温件用于保温。其有益效果在于：通过所述外壳和所述加热件的配合实现承载所述镀膜对象和加热的目的，通过所述保温件提升加热效果，降低热量损失。
29.在一种可行的方案中，所述加热炉还包括至少两个陶瓷环；至少一个所述陶瓷环设置于所述进气件与所述外壳之间，且至少一个所述陶瓷环设置于所述补气件与所述外壳之间。其有益效果在于：在所述外壳与所述进气件之间、以及所述外壳与所述补气件之间设置所述陶瓷环，降低所述加热炉上的热量向所述进气件和所述补气件扩散的程度，降低热量损失。
30.在一种可行的方案中，所述进气件设有进气孔，所述进气孔设置为若干个，且若干所述进气孔呈线性阵列或圆周阵列设置。其有益效果在于：通过设置若干个进气孔，提供通过所述进气件向所述炉体内通入不同气体的基础，同时将若干所述进气孔均匀排列，便于使用。
31.在一种可行的方案中，还包括气体流动装置；所述气体流动装置设置于所述炉体内，所述气体流动装置用于带动所述炉体内的气体流动。其有益效果在于：通过在所述炉体内设置所述气体流动装置，能够促进所述炉体内的气体均匀混合。
附图说明
32.图1为本发明第一种实施例中炉管镀膜设备的剖面结构示意图；
33.图2为本发明第二种实施例中炉管镀膜设备的部分剖面结构示意图；
34.图3为本发明第三种实施例中加热炉和补气管的结构示意图；
35.图4为本发明第四种实施例中第一反射组的剖面结构示意图；
36.图5为图4中第一反射件的结构示意图；
37.图6为本发明第五种实施例中炉管镀膜设备的部分剖面结构示意图。
38.图中标号：
39.1、炉体；101、加热炉；102、进气件；103、补气件；104、外壳；105、保温件；106、陶瓷环；
40.2、供气装置；
41.3、反射单元；301、第一反射组；302、第二反射组；303、第一反射件；304、第二反射件；
42.4、辅加热器；
43.5、补气管；
44.6、气体流动装置。
具体实施方式
45.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
46.针对现有技术存在的问题，本发明的实施例提供了一种炉管镀膜设备。
47.图1为本发明第一种实施例中炉管镀膜设备的剖面结构示意图，图2为本发明第二种实施例中炉管镀膜设备的部分剖面结构示意图，图3为本发明第三种实施例中加热炉和补气管的结构示意图。
48.本发明的一些实施例中，参照图1至图3，炉管镀膜设备包括炉体1、供气装置2和反射单元3；所述炉体1中空密封设置，所述炉体1用于承载待镀膜对象，所述炉体1并用于对所述镀膜对象进行加热，所述供气装置2与所述炉体1的中空处连通，所述供气装置2用于所述镀膜对象提供镀膜所需原料；所述反射单元3设置于所述炉体1内，所述反射单元3用于反射热量，所述反射单元3设置于所述炉体1的两端。
49.本发明的一些具体实施例中，所述炉体1呈圆管状，两端密封，所述供气装置2与所述炉体1的中空处连通，所述反射单元3设置于所述炉体1长度方向的两端。使用时将所述待镀膜对象放置于所述炉体1内，通过所述供气装置2向所述炉体1内供入反应气体，开启所述加热炉101的加热器，对所述炉体1内的待镀膜对象进行加热，进而实现对所述待镀膜对象的镀膜。
50.在一些实施例中，所述炉体1的两端设有开合机构，能够控制所述炉体1中空处的密闭与否，同时也便于所述待镀膜对象的进出。
51.在一些实施例中，所述反射单元3平行于所述炉体1的轴向设置于所述炉体1的内侧壁。在一些具体的实施例中，所述反射单元3设置为多个，多个所述反射单元3圆周均匀设置于所述炉体1的内侧壁，且相邻的所述反射单元3之间留有间隙。
52.在一些实施例中，所述炉体1左右水平设置。
53.在一些实施例中，通过撸管镀膜设备进行镀膜需要向所述炉体1内通入两种或多种气体。
54.本发明的一些实施例中，参照图1和图2，所述反射单元3包括第一反射组301和第二反射组302；
55.所述第一反射组301和所述第二反射组302分别设置于所述炉体1的两端，且所述第一反射组301和所述第二反射组302相对设置。
56.本发明的一些具体实施例中，所述第一反射组301和所述第二反射组302结构相同，左右对称设置于所述炉体1的两端。
57.在一些实施例中，所述第一反射组301和所述第二反射组302同轴设置。
58.图4为本发明第四种实施例中第一反射组的剖面结构示意图，图5为图4中第一反射件的结构示意图。
59.本发明的一些实施例中，参照图1至图4，所述第一反射组301和/或所述第二反射组302包括第一反射件303；所述第一反射件303设有扰流孔，所述扰流孔用于混合通过所述第一反射件303的气体。
60.本发明的一些具体实施例中，所述第一反射件303呈板状，所述第一反射件303垂直于所述炉体1的轴向设置于所述炉体1内，所述扰流孔沿所述第一反射件303的厚度方向或沿与所述第一反射件303厚度方向倾斜的方向贯穿所述第一反射件303，且所述扰流孔设置所述第一反射件303的边缘区域。所述扰流孔用于调整通过所述扰流孔的气体的运动方向。
61.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述第一反射组301和/或所述第二反射组302还包括第二反射件304；所述第二反射件304设有导向孔，所述第二反射件304设置于所述第一反射件303靠近于所述炉体1中心的一侧，所述导向孔的轴向与所述炉体1的轴向平行设置。
62.本发明的一些具体实施例中，所述第二反射件304与所述第一反射件303外轮廓相同，所述第二反射件304设有所述导向孔，所述导向孔左右水平贯穿所述第二反射件304。
63.在一些实施例中，所述第一反射件303和所述第二反射件304均设置为多个。
64.在一些实施例中，所述第一反射件303设置为多个，所述第二反射件304设置为一个。
65.在一些实施例中，所述第一反射组301包括所述第一反射件303和所述第二反射件304，所述第二反射组302仅包括所述第二反射件304。
66.在一些实施例中，所述第一反射组301仅包括所述第一反射件303，所述第二反射组302仅包括所述第二反射件304。
67.在一些实施例中，所述第一反射组301和所述第二反射组302均可拆卸的设置于所
述炉体1内。
68.本发明的一些实施例中，参照图1、图4和图5，所述扰流孔的轴向与所述炉体1轴向相交设置。
69.本发明的一些具体实施例中，所述扰流孔的轴向和所述炉体1的轴向映射在同一平面的映射线相交设置。
70.在一些实施例中，所述扰流孔的轴向和所述炉体1的轴向映射在水平面的映射线相交设置。
71.本发明的一些实施例中，参照图1，所述扰流孔设置为若干个，若干个所述扰流孔均匀设置于所述第一反射件303。
72.本发明的一些具体实施例中，所述扰流孔设置于所述第一反射件303，是为了保证所述第一反射家的反射效果，将所述扰流孔设置为若干个，且圆周均匀设置，能够在所述第一反射件303处形成若干扰流气流，提升混合效果。
73.在一些实施例中，由于通入所述炉体1的气体通常在炉口位置通过不同的管路进行通入，因此在所述炉体1的端部设置所述第一反射件303能够促进不同气体的混合。
74.本发明的一些实施例中，参照图1、图4和图5，各个所述扰流孔的截面积之和占比所述第一反射件303的截面积的5％至20％。
75.本发明的一些具体实施例中，所述扰流孔的截面积之和占比的第一反射件303的截面积的12％。
76.在一些实施例中，所述截面积的截面所在的面即垂直于所述炉体1轴线的面。
77.在一些实施例中，所述扰流孔的截面积之和占比的第一反射件303的截面积的5％、8％、10％或20％。
78.本发明的一些实施例中，参照图1、图4和图5，所述第一反射件303设置为若干个。
79.本发明的一些具体实施例中，所述第一反射件303设置为三个。
80.在一些实施例中，所述第一反射件303设置为两个、四个或更多个。
81.在一些实施例中，所述第一反射组301和所述第二反射组302的所述第一反射件303的数量不相等。
82.在一些实施例中，各个所述第一反射件303均同轴设置。
83.本发明的一些实施例中，参照图1、图4和图5，若干个所述第一反射件303中存在至少两个所述第一反射件303对称设置。
84.本发明的一些具体实施例中，对称设置的所述第一反射件303分别以正向设置和方向设置说明。以三个所述第一反射件303为例，第一个所述第一反射件303正向设置，第二个所述第一反射件303反向设置，第三个所述第一反射件303正向设置，这样即形成了第一个所述第一反射件303和第二个所述第一反射件303的对称设置，同时也形成了第三个所述第一反射件303和第二个所述第一反射件303的对称设置。
85.在一些实施例中，第三个所述第一反射件303反向设置。
86.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，相邻的所述第一反射件303的扰流孔错位设置。
87.本发明的一些具体实施例中，在所述第一反射件303结构相同的情况下，扰流孔错位设置需要相邻的所述第一反射件303错位设置，即不同轴设置。
88.在一些实施例中，在对所述第一反射件303加工时，可以直接加工不同位置的扰流孔，这样使得相邻的所述第一反射件303同轴设置时，相邻的所述第一反射件303的扰流孔也能够错位设置。
89.本发明的一些实施例中，参照图1至图3，还包括辅加热器4；所述辅加热器4设置于所述第一反射组301和/或所述第二反射组302的一侧，所述辅加热器4用于加热。
90.本发明的一些具体实施例中，所述辅加热器4设置于所述第一反射组301的右侧。
91.在一些实施例中，所述辅加热器4设置于所述第二反射组302的左侧。
92.在一些实施例中，所述辅加热器4设置于所述第一反射组301的左侧。
93.在一些实施例中，所述辅加热器4设置于所述第一反射组301和/或所述第二反射组302靠近所述炉体1中心的一侧。
94.在一些实施例中，所述炉体1内还有固定座，所述辅加热器4可拆卸设置于所述固定座，所述固定座用于与外部电源连通对所述辅加热器4进行供电。
95.本发明的一些实施例中，参照图1至图3，所述辅加热器4设置为至少两个，且所述第一反射组301和/或所述第二反射组302一侧的所述辅加热器4的数量设置为至少两个。
96.本发明的一些具体实施例中，所述辅加热器4设置为两个，一个所述辅加热器4设置于所述第一反射组301的右侧，另一个所述辅加热器4设置于所述第二反射组302的左侧。
97.在一些实施例中，所述辅加热器4设置为两个，两个所述辅加热器4均设置于所述第一反射组301的右侧。
98.在一些实施例中，所述辅加热器4设置为两个，两个所述辅加热器4均设置于所述第二反射组302的左侧。
99.在一些实施例中，所述辅加热器4设置为三个，一个所述辅加热器4均设置于所述第一反射组301的右侧，两个所述辅加热器4设置于所述第二反射组302的左侧。
100.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述炉体1包括加热炉101、进气件102和补气件103；所述加热炉101中空贯穿设置，所述进气件102和所述补气件103分别设置于所述加热炉101的两端，所述加热炉101用于承载所述镀膜对象，且所述加热炉101用于对所述镀膜对象进行加热，所述进气件102和所述补气件103用于密封所述加热炉101，所述供气装置2与所述进气件102和所述补气件103连通。
101.本发明的一些具体实施例中，所述加热炉101呈圆管设置，所述进气件102可拆卸或铰接设置于所述加热炉101的左侧，所述进气件102用于盖合所述加热炉101侧左侧端，所述补气件103盖合设置于所述加热炉101的右侧。使用时，打开所述加热炉101的左侧端，将承载晶圆(待镀膜对象)的石墨舟依次放置在所述加热炉101内，盖合所述加热滤的左侧端，开启所述加热炉101进行加热，同时通过所述供气装置2向所述加热炉101内通入反应气体进行镀膜。
102.在一些实施例中，所述补气件103可拆卸或铰接的设置于所述加热炉101的右侧。
103.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，还包括补气管5；所述补气管5设置于所述加热炉101内，所述补气管5与所述补气件103连通，所述供气装置2用于通过所述补气件103和所述补气管5向所述加热炉101供气。
104.本发明的一些具体实施例中，所述补气管5于所述补气件103上的气孔连通，所述补气管5平行于所述加热炉101设置，所述供气装置2向所述补气件103提供的气体通过所述
补气件103上的气孔和所述补气管5进入所述加热炉101内。
105.在一些实施例中，所述补气件103上的气孔数量大于所述补气管5的数量，所述供气装置2输送至所述补气件103的气体一方面通过所述补气件103上未被所述补气管5占用的气孔运动至所述加热炉101内，另一方面通过与所述补气件103连通的所述补气管5向所述加热炉101内供气。
106.在一些实施例中，所述补气件103上的气孔数量与所述补气管5的数量相等，所述供气装置2输送至所述补气件103的气体均通过所述补气管5运动至所述加热炉101内。
107.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述补气管5与所述加热炉101的轴线平行设置，且所述补气管5的长度大于等于所述加热炉101的长度的三分之一。
108.本发明的一些具体实施例中，所述补气管5左右水平设置，所述补气管5的长度为加热炉101长度的三分之一。
109.在一些实施例中，所述补气管5的长度小于等于所述加热炉101长度的三分之二。
110.在一些实施例中，所述补气管5的长度为所述加热炉101长度的二分之一。
111.本发明的一些实施例中，参照图1，所述补气管5均设置为若干个，若干个所述补气管5均匀设置于所述加热炉101内。
112.本发明的一些具体实施例中，所述补气管5设置为四个，四个所述补气管5圆周均匀设置于所述加热炉101内，所述补气件103上对应所述补气管5的位置位于用于与之连通的气孔，所述供气装置2通过所述补气件103上对应所述补气管5的气孔对所述补气管5进行供气，气体经所述补气管5运动至所述加热炉101内。
113.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述补气管5的侧壁设有补气孔，所述补气孔设置为若干个。
114.本发明的一些具体实施例中，各个所述补气管5上的所述补气孔均设置为多个，且多个所述补气孔呈线性阵列设置于所述补气管5上。
115.在一些实施例中，所述补气孔朝向所述加热炉101的轴线设置。
116.在一些实施例中，多个所述补气孔呈圆周螺旋阵列设置于所述补气管5上。
117.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述加热炉101包括外壳104、加热件(图中未示)和保温件105；所述外壳104中空贯穿设置，所述进气件102和所述补气件103分别设置于所述外壳104两端，所述加热件设置于所述外壳104，所述加热件用于对所述外壳104进行加热；所述保温件105设置于所述外壳104外周侧，所述保温件105用于保温。
118.本发明的一些具体实施例中，所述外壳104呈圆管状，所述加热件(图中未示)为加热丝，所述加热丝内置于所述外壳104内，所述保温件105为保温层，所述保温层环绕设置于所述外壳104外侧。
119.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述加热炉101还包括至少两个陶瓷环106；至少一个所述陶瓷环106设置于所述进气件102与所述外壳104之间，且至少一个所述陶瓷环106设置于所述补气件103与所述外壳104之间。
120.本发明的一些具体实施例中，所述陶瓷环106由陶瓷材料制成，所述陶瓷环106呈圆环状，所述陶瓷环106固定设置于所述外壳104的端部，所述进气件102和所述补气件103通过两端的所述陶瓷环106盖合设置于所述外壳104的两端，由于陶瓷为不良导热材料，通过陶瓷环106对所述进气件102和所述补气件103进行连接，能够降低所述进气件102和所述
补气件103吸收的热量，降低所述进气件102和所述补气件103造成的热量损失。
121.本发明的一些实施例中，参照图1至图5，所述进气件102设有进气孔，所述进气孔设置为若干个，且若干所述进气孔呈线性阵列或圆周阵列设置。
122.本发明的一些具体实施例中，所述进气件102设置所述进气孔，提供所述供气装置2通过所述进气件102进气的基础条件，通过将所述进气件102设置为若干个，能够通过不同的进气孔向所述外壳104内通入不同的气体。
123.在一些实施例中，所述进气孔呈圆周阵列设置于所述进气件102。
124.在一些实施例中，所述进气孔呈线性阵列设置于所述进气件102。
125.图6为本发明第五种实施例中炉管镀膜设备的部分剖面结构示意图。
126.本发明的一些实施例中，参照图1至图6，还包括气体流动装置6；所述气体流动装置6设置于所述炉体1内，所述气体流动装置6用于带动所述炉体1内的气体流动。
127.本发明的一些具体实施例中，所述气体流动装置6可拆卸的设置于所述外壳104内，所述气体流动装置6能够带动所述外壳104内的气体流动，促使所述外壳104内的气体混合。
128.在一些实施例中，所述气体流动装置6包括摆叶和曲柄机构，所述摆叶铰接设置于所述外壳104内，所述曲柄机构用于带动所述摆叶往复摆动。
129.虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。