一种真空多弧离子镀膜机弧源组件的制作方法

本发明涉及真空设备，具体为一种真空多弧离子镀膜机弧源组件。

背景技术：

1、真空设备多弧离子镀膜机是对金属表面进行镀膜的专用设备，由于多弧离子镀技术具有沉积速率高、涂层附着力好、涂层致密、操作方便等特点，因此在材料表面改性领域得到了广泛应用。

2、现有技术中的真空设备多弧离子镀膜机中的法兰盘上没有设置磁铁，使得蒸发源蒸发的离子效率和精度较低，从而使得材料的利用率较低，不能达到节能效果，并且生产出来的产品上色度不高，产品的耐磨、耐腐蚀性性能也还具有上升空间。

3、为此，我们推出一种真空多弧离子镀膜机弧源组件。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，包括：法兰盘、靶座、线圈座、线圈罩、冷却送水管、靶材座、绝缘套底座、绝缘套上层、靶材、驱动机构和引弧针。所述引弧针通过驱动机构驱动上下移动，向上移动时触碰靶材向下时移动脱离靶材。

3、所述法兰盘上周向等距开设有用于安装尼龙轴垫的圆形通孔，所述法兰盘上端且位于相邻两组所述圆形通孔之间开设有用于嵌装块状磁铁的矩形凹槽，所述法兰盘上端内圈开设有用于嵌装环状磁铁的环形凹槽；

4、所述靶座设置于法兰盘上端，所述靶座下端从法兰盘中心穿过且延伸至法兰盘下端；

5、所述线圈座设置于靶座外侧上端；

6、所述线圈罩设置于线圈座外侧；

7、所述冷却送水管设置于靶座内，所述冷却送水管外侧壁下端安装有磁铁座；

8、所述靶材座设置于靶座下端；

9、所述绝缘套底座设置于所述法兰盘下端；

10、所述绝缘套上层设置于绝缘套底座内下端；

11、所述靶材设置于靶材座下端且位于绝缘套上层内；

12、所述驱动机构安装于法兰盘一侧；

13、所述引弧针设置于驱动机构下端。

14、所述法兰盘上端且位于环形凹槽与矩形凹槽之间开设有水槽，所述水槽上端安装有水槽压片。

15、所述磁铁座包括磁铁中心座、周向等距分布于磁铁中心座内的磁铁、分别安装于磁铁中心座上下两端的磁铁上板和磁铁下板。

16、所述冷却送水管上端从靶座上壁中部穿过且连接有第一水嘴，所述靶座上壁一侧安装有第二水嘴。通过第一水嘴可向冷却送水管输送水，通过第二水嘴可向靶座内输送水。

17、所述线圈罩上壁中部开设有供开孔，所述第一水嘴和第二水嘴穿过开孔且延伸至线圈罩上端。使得第一水嘴和第二水嘴均伸出外部，可连接外部水源。

18、所述驱动机构包括绝缘筒，所述绝缘筒固定设置于法兰盘上端一侧，所述绝缘筒上端固定设置有下支撑板，所述下支撑板上端垂直固定设置有两组支撑杆，两组所述支撑杆上端共同固定设置有与下支撑板平行的上支撑板，所述上支撑板上端固定设置有气缸，所述气缸的输出端贯穿上支撑板且伸出上支撑板下端，所述气缸的输出端下端固定设置有推杆，所述推杆依次贯穿下支撑板、绝缘筒、法兰盘和绝缘套底座且延伸至绝缘套底座下端，所述引弧针与推杆底部固定连接。通过气缸工作，驱动推杆进行上下移动从而带动引弧针进行上下移动，当引弧针向上移动触碰到靶材产生放电；当引弧针向下移动脱离到靶材结束放电。

19、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明在法兰盘上加装块状磁铁和环状磁铁，使得材料利用率更高，未设置块状磁铁和环状磁铁的现有技术设备同量材料只能出200炉成本，但本发明同量材料能多出40炉，达到240炉，达到节能效果，降低企业制造成本；使得加工出来的产品质量更高，块状磁铁和环状磁铁在工作时，使得蒸发的离子更加细化和精致，能够令产品很好地吸附上色，细化的离子吸附到产品上比原有产品更加耐磨，耐腐蚀性更强，硬度足够，同时产品也都更加美观，做出的产品比原来的产品提高20%性能，亮度更高，做到低成本，高质量的产品要求。

技术特征：

1.一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于：所述法兰盘（1）上端且位于环形凹槽与矩形凹槽之间开设有水槽（104），所述水槽（104）上端安装有水槽压片。

3.根据权利要求1所述的一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于：所述磁铁座（501）包括磁铁中心座、周向等距分布于磁铁中心座内的磁铁、分别安装于磁铁中心座上下两端的磁铁上板和磁铁下板。

4.根据权利要求1所述的一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于：所述冷却送水管（5）上端从靶座（2）上壁中部穿过且连接有第一水嘴（11），所述靶座（2）上壁一侧安装有第二水嘴（12）。

5.根据权利要求4所述的一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于：所述线圈罩（4）上壁中部开设有供开孔，所述第一水嘴（11）和第二水嘴（12）穿过开孔且延伸至线圈罩（4）上端。

6.根据权利要求1所述的一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，其特征在于：所述驱动机构包括绝缘筒（13），所述绝缘筒（13）固定设置于法兰盘（1）上端一侧，所述绝缘筒（13）上端固定设置有下支撑板（14），所述下支撑板（14）上端垂直固定设置有两组支撑杆（15），两组所述支撑杆（15）上端共同固定设置有与下支撑板（14）平行的上支撑板（16），所述上支撑板（16）上端固定设置有气缸（17），所述气缸（17）的输出端贯穿上支撑板（16）且伸出上支撑板（16）下端，所述气缸（17）的输出端下端固定设置有推杆（18），所述推杆（18）依次贯穿下支撑板（14）、绝缘筒（13）、法兰盘（1）和绝缘套底座（7）且延伸至绝缘套底座（7）下端，所述引弧针（10）与推杆（18）底部固定连接。

技术总结
本发明涉及真空设备技术领域，具体的说是一种真空多弧离子镀膜机弧源组件，包括：法兰盘、靶座、线圈座、线圈罩、冷却送水管、靶材座、绝缘套底座、绝缘套上层、靶材、驱动机构和引弧针。所述引弧针通过驱动机构驱动上下移动，向上移动时触碰靶材向下时移动脱离靶材。本发明在法兰盘上加装块状磁铁和环状磁铁，使得材料利用率更高，达到节能效果，降低企业制造成本；使得加工出来的产品质量更高，块状磁铁和环状磁铁在工作时，使得蒸发的离子更加细化和精致，能够令产品很好地吸附上色，细化的离子吸附到产品上比原有产品更加耐磨，耐腐蚀性更强，硬度足够，同时产品也都更加美观，亮度更高。

技术研发人员：黄喜波,鲁明辉,黄喜涛
受保护的技术使用者：陕西莱普特设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/31