一种ITO靶材打磨用工装夹具的制作方法

一种ito靶材打磨用工装夹具
技术领域
1.本发明涉及ito靶材技术领域，具体为一种ito靶材打磨用工装夹具。


背景技术：

2.ito靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体，ito薄膜是利用ito靶材作为原材料，通过磁控溅射把ito靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上，ito薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米
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200纳米。ito靶材烧结完成后会有一定程度的变形，所以需要对其进行相应的切割和平面打磨以达到客户要求的尺寸，完成切割的靶材，侧面会有切割痕，故而需要对其进行打磨处理，而在打磨工序中，需要通过工装夹具对ito靶材进行夹持固定。
3.现有的装置对靶材的夹持力度固定，无法根据靶材的重量控制夹紧力，夹持力度无法调整，适应性和实用性都较差。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本发明提供：一种ito靶材打磨用工装夹具，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部安装有放置台，所述底座的顶部安装有固定板，所述支撑板的一侧安装有固定装置，所述放置台的底部安装有调节装置，所述放置台的顶部位于中心位置开设有装置槽；
5.所述固定装置包括：
6.压杆，该压杆具有直角杆状结构，以及设置在所述压杆一端的电动推杆，所述压杆远离电动推杆的一端通过转动座转动连接有挤压板，所述压杆的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架；
7.复位弹簧，该复位弹簧设置在装置槽内部，所述复位弹簧的顶部安装有防滑装置，所述装置槽的内壁安装有固定滑片，所述防滑装置的底部安装有接触板，所述接触板的底部安装有移动滑片，靶材放置在防滑装置上对复位弹簧进行挤压，复位弹簧受力压缩进装置槽内，此时防滑装置向下移动并带动接触板下滑，接触板带动移动滑片接触到固定滑片并沿着固定滑片下滑，通过移动滑片在固定滑片上滑动的距离判断靶材的重量，当放置的靶材重力较重时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较长，此时通过移动滑片和固定滑片的配合控制电动推杆增大推力，此时挤压板对靶材的挤压力较大，当放置的靶材较轻时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较短，电动推杆推力减小，此时挤压板对靶材的挤压力较小，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。
8.优选的，所述电动推杆的移动端通过连接架与压杆的底部转动连接，所述电动推杆远离压杆的一端通过转动座与支撑板转动连接。
9.优选的，所述限位支撑架设置有两组且对称分布在压杆的两侧，所述限位支撑架的底部与放置台的顶部固定连接。
10.优选的，所述固定滑片和移动滑片均设置在电动推杆的控制电路上，打磨的靶材较轻时，可控制电动推杆推力减小，进而对靶材的挤压力较小，可对较薄较小的靶材进行保护，防止其受力过度导致变形损坏，所述复位弹簧的底部与装置槽的内壁固定连接。
11.优选的，所述防滑装置包括防滑板，所述防滑板的顶部开设有弧形槽，所述弧形槽的内部安装有防滑气囊，所述防滑气囊的顶部安装有摩擦垫片，所述防滑板的内部位于中心位置开设有凹槽，所述凹槽的内部安装有储气囊，所述储气囊均匀连通有控制阀，开启控制阀将储气囊内部的气体排至防滑气囊内，防滑气囊内部的气压增大气体增多逐渐膨胀产生形变，膨胀形变后的防滑气囊利用摩擦垫片对顶部的靶材进行挤压，增加与靶材之间的摩擦力，有效防止靶材在打磨加工时打滑脱落，提高打磨的精准度。
12.优选的，所述弧形槽设置有多组且均匀分布在防滑板上，所述摩擦垫片设置有多组且均匀分布在防滑气囊上。
13.优选的，所述控制阀远离储气囊的出气端与防滑气囊的进气端连通，所述防滑气囊设置有多组，所述防滑板的底部与接触板的顶部固定连接。
14.优选的，所述调节装置包括滑动套筒，所述滑动套筒的内壁通过轴承转动连接有固定套筒，所述固定套筒的一端固定连接有支撑柱，所述固定套筒的内壁滑动连接有密封活塞，所述密封活塞的一端延伸至固定套筒的外部并固定连接有按压板，所述滑动套筒的内壁开设有限位孔，所述固定套筒的内壁连通有延伸管，所述延伸管的内壁滑动连接有移动活塞，所述移动活塞的一端延伸至延伸管的外部并固定连接有卡块，转动滑动套筒通过轴承沿着固定套筒旋转，当滑动套筒带动放置台偏转至所需角度时，推动按压板带动密封活塞向固定套筒内部滑动，密封活塞挤压固定套筒内的液压油并推动延伸管内的移动活塞向外部滑动，移动活塞带动卡块卡入相对应的限位孔内，对所需角度进行固定，可将需要加工的靶材固定在斜面上，从而方便对倾斜面进行打磨。
15.优选的，所述滑动套筒的外侧与放置台的底部固定连接，所述支撑柱远离固定套筒的一端与固定板固定连接。
16.优选的，所述固定套筒的内部填充有液压油，所述限位孔设置多组且均匀分布在滑动套筒内壁，所述延伸管设置有多组且与限位孔一一对应，所述卡块与限位孔相互适配。
17.本发明提供了一种ito靶材打磨用工装夹具。具备以下有益效果：
18.1、该一种ito靶材打磨用工装夹具，通过固定装置的安装，靶材放置在防滑装置上对复位弹簧进行挤压，复位弹簧受力压缩进装置槽内，此时防滑装置向下移动并带动接触板下滑，接触板带动移动滑片接触到固定滑片并沿着固定滑片下滑，通过移动滑片在固定滑片上滑动的距离判断靶材的重量，当放置的靶材重力较重时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较长，此时通过移动滑片和固定滑片的配合控制电动推杆增大推力，此时挤压板对靶材的挤压力较大，当放置的靶材较轻时，移动滑片在固定滑片上滑动的距离较短，电动推杆推力减小，此时挤压板对靶材的挤压力较小，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。
19.2、该一种ito靶材打磨用工装夹具，通过移动滑片和固定滑片的设置，打磨的靶材较轻时，可控制电动推杆推力减小，进而对靶材的挤压力较小，可对较薄较小的靶材进行保护，防止其受力过度导致变形损坏。
20.3、该一种ito靶材打磨用工装夹具，通过防滑装置和固定装置的安装，开启控制阀
将储气囊内部的气体排至防滑气囊内，防滑气囊内部的气压增大气体增多逐渐膨胀产生形变，膨胀形变后的防滑气囊利用摩擦垫片对顶部的靶材进行挤压，增加与靶材之间的摩擦力，有效防止靶材在打磨加工时打滑脱落，提高打磨的精准度。
21.4、该一种ito靶材打磨用工装夹具，通过调节装置的安装，转动滑动套筒通过轴承沿着固定套筒旋转，当滑动套筒带动放置台偏转至所需角度时，推动按压板带动密封活塞向固定套筒内部滑动，密封活塞挤压固定套筒内的液压油并推动延伸管内的移动活塞向外部滑动，移动活塞带动卡块卡入相对应的限位孔内，对所需角度进行固定，可将需要加工的靶材固定在斜面上，从而方便对倾斜面进行打磨。
附图说明
22.图1为本发明ito靶材打磨用工装夹具的结构示意图；
23.图2为本发明支撑板的结构示意图；
24.图3为本发明固定装置的结构示意图；
25.图4为本发明装置槽的内部结构示意图；
26.图5为本发明防滑装置的结构示意图；
27.图6为本发明弧形槽的内部结构示意图；
28.图7为本发明调节装置的结构示意图；
29.图8为本发明固定套筒的内部结构示意图。
30.图中：1、底座；2、支撑板；3、放置台；4、固定板；5、固定装置；51、压杆；52、电动推杆；53、挤压板；54、限位支撑架；55、复位弹簧；56、防滑装置；561、防滑板；562、弧形槽；563、防滑气囊；564、摩擦垫片；565、凹槽；567、储气囊；568、控制阀；57、固定滑片；58、接触板；59、移动滑片；6、调节装置；61、滑动套筒；62、轴承；63、固定套筒；64、支撑柱；65、密封活塞；66、按压板；67、限位孔；68、延伸管；69、移动活塞；60、卡块；7、装置槽。
具体实施方式
31.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
32.实施例一
33.请参阅图1-图6，本发明提供一种技术方案：一种ito靶材打磨用工装夹具，包括底座1，底座1的顶部固定连接有支撑板2，支撑板2的顶部安装有放置台3，底座1的顶部安装有固定板4，支撑板2的一侧安装有固定装置5，放置台3的底部安装有调节装置6，放置台3的顶部位于中心位置开设有装置槽7；
34.固定装置5包括：
35.压杆51，该压杆51具有直角杆状结构，以及设置在压杆51一端的电动推杆52，压杆51远离电动推杆52的一端通过转动座转动连接有挤压板53，压杆51的外侧通过转动座转动连接有限位支撑架54；
36.复位弹簧55，该复位弹簧55设置在装置槽7内部，复位弹簧55的顶部安装有防滑装置56，装置槽7的内壁安装有固定滑片57，防滑装置56的底部安装有接触板58，接触板58的底部安装有移动滑片59。
37.电动推杆52的移动端通过连接架与压杆51的底部转动连接，电动推杆52远离压杆51的一端通过转动座与支撑板2转动连接。
38.限位支撑架54设置有两组且对称分布在压杆51的两侧，限位支撑架54的底部与放置台3的顶部固定连接。
39.固定滑片57和移动滑片59均设置在电动推杆52的控制电路上，复位弹簧55的底部与装置槽7的内壁固定连接。
40.防滑装置56包括防滑板561，防滑板561的顶部开设有弧形槽562，弧形槽562的内部安装有防滑气囊563，防滑气囊563的顶部安装有摩擦垫片564，防滑板561的内部位于中心位置开设有凹槽565，凹槽565的内部安装有储气囊567，储气囊567均匀连通有控制阀568。
41.弧形槽562设置有多组且均匀分布在防滑板561上，摩擦垫片564设置有多组且均匀分布在防滑气囊563上。
42.控制阀568远离储气囊567的出气端与防滑气囊563的进气端连通，防滑气囊563设置有多组，防滑板561的底部与接触板58的顶部固定连接。
43.使用时，将需要打磨的ito靶材放置在放置台3上，电动推杆52带动压杆51移动，利用挤压板53对放置的靶材进行挤压固定，靶材放置在防滑装置56上对复位弹簧55进行挤压，复位弹簧55受力压缩进装置槽7内，此时防滑装置56向下移动并带动接触板58下滑，接触板58带动移动滑片59接触到固定滑片57并沿着固定滑片57下滑，通过移动滑片59在固定滑片57上滑动的距离判断靶材的重量，当放置的靶材重力较重时，移动滑片59在固定滑片57上滑动的距离较长，此时通过移动滑片59和固定滑片57的配合控制电动推杆52增大推力，此时挤压板53对靶材的挤压力较大，当放置的靶材较轻时，移动滑片59在固定滑片57上滑动的距离较短，电动推杆52推力减小，此时挤压板53对靶材的挤压力较小，可根据靶材的重量控制夹紧力，能控制好夹持力度，适应性更好。
44.开启控制阀568将储气囊567内部的气体排至防滑气囊563内，防滑气囊563内部的气压增大气体增多逐渐膨胀产生形变，膨胀形变后的防滑气囊563利用摩擦垫片564对顶部的靶材进行挤压，增加与靶材之间的摩擦力，有效防止靶材在打磨加工时打滑脱落，提高打磨的精准度。
45.实施例二
46.请参阅图1-图8，本发明提供一种技术方案：在实施例一的基础上，调节装置6包括滑动套筒61，滑动套筒61的内壁通过轴承62转动连接有固定套筒63，固定套筒63的一端固定连接有支撑柱64，固定套筒63的内壁滑动连接有密封活塞65，密封活塞65的一端延伸至固定套筒63的外部并固定连接有按压板66，滑动套筒61的内壁开设有限位孔67，固定套筒63的内壁连通有延伸管68，延伸管68的内壁滑动连接有移动活塞69，移动活塞69的一端延伸至延伸管68的外部并固定连接有卡块60。
47.滑动套筒61的外侧与放置台3的底部固定连接，支撑柱64远离固定套筒63的一端与固定板4固定连接。
48.固定套筒63的内部填充有液压油，限位孔67设置多组且均匀分布在滑动套筒61内壁，延伸管68设置有多组且与限位孔67一一对应，卡块60与限位孔67相互适配。
49.使用时，转动滑动套筒61通过轴承62沿着固定套筒63旋转，当滑动套筒61带动放置台3偏转至所需角度时，推动按压板66带动密封活塞65向固定套筒63内部滑动，密封活塞65挤压固定套筒63内的液压油并推动延伸管68内的移动活塞69向外部滑动，移动活塞69带动卡块60卡入相对应的限位孔67内，对所需角度进行固定，可将需要加工的靶材固定在斜面上，从而方便对倾斜面进行打磨。
50.显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。