高性能镀膜修正板的制作方法

本发明涉及镀膜修正板，具体为高性能镀膜修正板。

背景技术：

1、在镀膜过程中，膜层的均匀性对于高产量是至关重要的，特别是在膜层要求变得更加严格和生产量增加以降低成本和保持竞争力的情况下。当腔室几何结构设计不足以达到足够的均匀性时，在基板前方放置膜厚修正板，以提高膜层的均匀性；

2、这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：

3、1.镀膜不均匀；

4、2.修正板无法调节长度；

5、所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、本发明提供如下技术方案：本发明的目的在于提供高性能镀膜修正板，以解决上述背景技术提出的目前镀膜不均匀且修正板无法调节长度的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：高性能镀膜修正板，包括：

3、真空腔，所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源，所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架；

4、驱动电机，所述驱动电机设置于真空腔左端面中部，所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘，所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板，所述支撑板下端面右侧设置有安装座，所述安装座内腔活动连接有第一修正板，所述第一修正板右侧设置有延伸装置，所述第一修正板下端面设置于支撑装置，所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部。

5、优选的，所述延伸装置包括限位凹槽、第二修正板、连接块和传动装置，所述第一修正板的横板上端面右侧开设有限位凹槽，所述限位凹槽内腔设置有第二修正板，所述第二修正板上端面左侧设置有连接块，所述第一修正板上端面中部设置有传动装置，所述传动装置与连接块连接。

6、优选的，所述传动装置包括安装板、立板、驱动马达和丝杆，所述第一修正板上端面右侧固定连接有安装板，所述第一修正板上端面左左侧中部固定连接有立板，所述立板左端面中部固定连接有驱动马达，所述驱动马达的输出轴贯穿延伸至立板右侧并固定连接有丝杆，所述丝杆的末端贯穿连接块并活动连接于安装板的左端面。

7、优选的，所述限位凹槽与第二修正板的截面均为梯形状，所述限位凹槽与第二修正板相匹配

8、优选的，所述支撑装置包括连接座、电动伸缩杆和连接件，所述第一修正板的下部横板下端面与连接盘的右端面下部均固定连接有连接座，所述连接座内腔均活动连接有连接件，两组所述连接件的相对端面活动连接有电动伸缩杆。

9、优选的，所述第一修正板呈阶梯状，所述第一修正板的竖板左端面中部设置有橡胶垫，且橡胶垫左端面贴合支撑板右端面。

10、优选的，所述连接盘左端面外圈均匀开设有凹槽，所述凹槽内腔设置有滚珠，所述滚珠外壁与真空腔内腔左端面相贴合。

11、优选的，所述第一修正板与第二修正板位于蒸镀源和镀膜伞架之间。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1.通过第一修正板和延伸装置，通过光控装置感应，当光控装置无法检测到修正板时，控制器发出指令，启动驱动马达，驱动马达带动丝杆旋转，通过限位凹槽和第二修正板相配合，具有限位作用，丝杆带动连接块左右移动，连接块带动第二修正板左右移动，保证第二修正板能够阻挡遮挡蒸镀源正上方的蒸发物；

14、2.通过安装座、阶梯型第一修正板和支撑装置，启动电动伸缩杆，使第一修正板绕安装座旋转，进一步的使第一修正板与待镀膜工件的距离改变，电动伸缩杆可根据镀膜厚度误差进行实时连续动作，使第一修正板处于最佳高度，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。

技术特征：

1.高性能镀膜修正板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述延伸装置包括限位凹槽（11）、第二修正板（12）、连接块（17）和传动装置，所述第一修正板（10）的横板上端面右侧开设有限位凹槽（11），所述限位凹槽（11）内腔设置有第二修正板（12），所述第二修正板（12）上端面左侧设置有连接块（17），所述第一修正板（10）上端面中部设置有传动装置，所述传动装置与连接块（17）连接。

3.根据权利要求2所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述传动装置包括安装板（13）、立板（14）、驱动马达（15）和丝杆（16），所述第一修正板（10）上端面右侧固定连接有安装板（13），所述第一修正板（10）上端面左左侧中部固定连接有立板（14），所述立板（14）左端面中部固定连接有驱动马达（15），所述驱动马达（51）的输出轴贯穿延伸至立板（14）右侧并固定连接有丝杆（16），所述丝杆（16）的末端贯穿连接块（17）并活动连接于安装板（13）的左端面。

4.根据权利要求2所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述限位凹槽（11）与第二修正板（12）的截面均为梯形状，所述限位凹槽（11）与第二修正板（12）相匹配。

5.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述支撑装置（8）包括连接座（81）、电动伸缩杆（82）和连接件（83），所述第一修正板（10）的下部横板下端面与连接盘（5）的右端面下部均固定连接有连接座（81），所述连接座（81）内腔均活动连接有连接件（83），两组所述连接件（83）的相对端面活动连接有电动伸缩杆（82）。

6.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述第一修正板（10）呈阶梯状，所述第一修正板（10）的竖板左端面中部设置有橡胶垫，且橡胶垫左端面贴合支撑板（6）右端面。

7.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述连接盘（5）左端面外圈均匀开设有凹槽，所述凹槽内腔设置有滚珠（9），所述滚珠（9）外壁与真空腔（1）内腔左端面相贴合。

8.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述第一修正板（10）与第二修正板（12）位于蒸镀源（2）和镀膜伞架（3）之间。

技术总结
本发明公开了高性能镀膜修正板，包括真空腔和驱动电机，所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源，所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架，所述驱动电机设置于真空腔左端面中部，所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘，所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板，所述支撑板下端面右侧设置有安装座，所述安装座内腔活动连接有第一修正板，所述第一修正板右侧设置有延伸装置，所述第一修正板下端面设置于支撑装置，所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的质量。

技术研发人员：乔建栋,徐胜,黄坚
受保护的技术使用者：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11