技术特征：
1.一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：包括圆板本体(1)，所述圆板本体(1)的一侧设置有圆环(2)，所述圆板本体(1)与所述圆环(2)同心设置，所述圆环(2)用于套设在定位旋转平台(02)的外部，所述圆环(2)的外圆用于贴合举升手臂(04)弧形的侧壁；所述圆板本体(1)的直径大于所述圆环(2)外圆的直径，所述圆板本体(1)的周边与斜面(044)抵触。2.根据权利要求1所述的一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：所述圆板本体(1)与所述圆环(2)之间设置有限位环(3)，所述限位环(3)的外圈与所述圆环(2)的外圈齐平，所述限位环(3)的内圈小于所述圆环(2)的内圈。3.根据权利要求2所述的一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：所述圆板本体(1)、所述圆环(2)与所述限位环(3)三者一体成型设置。4.根据权利要求2所述的一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：所述圆板本体(1)、所述圆环(2)与所述限位环(3)三者均为电木材质。5.根据权利要求1所述的一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：所述圆板本体(1)上设置有连接杆(4)，所述圆板本体(1)上开设有连接孔(11)，所述连接杆(4)与所述连接孔(11)的侧壁螺纹连接。6.根据权利要求5所述的一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其特征在于：所述连接孔(11)位于所述圆板本体(1)的圆心位置。
技术总结
本申请涉及CVD真空镀膜领域，公开了一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其包括圆板本体，圆板本体的一侧设置有圆环，圆板本体与圆环同心设置，圆环用于套设在定位旋转平台的外部，圆环的外圆用于贴合举升手臂弧形的侧壁。本申请具有减小举升手臂安装偏差的效果。果。果。
技术研发人员：禅明 黄善发 臧宇 吴金马 李靖 王金
受保护的技术使用者：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
技术研发日：2022.03.21
技术公布日：2022/9/2