一种单晶研磨机的可调防护机构的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅片研磨技术领域，特别是涉及一种单晶研磨机的可调防护机构。


背景技术：

2.单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在加工过程中往往需要对其进行打磨，然而不同的单晶硅片尺寸一般不同，因此需要一种可调节的防护机构对单晶硅片进行防护，防止其脱离打磨位置。
3.申请号为cn201920326559.1的专利公开了一种单晶硅片用研磨机，包括研磨机本体，所述研磨机本体的顶部正面上安装有操作台，所述操作台的正面上开设有圆槽口，所述圆槽口的槽口上设置有转动盘，所述转动盘的正面上放置有连接片，所述连接片的顶部放置有第一挤压块，所述转动盘的底部正面上安装有驱动杆，所述驱动杆的底部固定连接有电机。然而上述专利中仍然难以对不同尺寸的单晶硅片进行防护。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种单晶研磨机的可调防护机构，通过安装基座、调节板a、调节板b和固定件的作用，解决了现有的单晶研磨机难以对不同尺寸的单晶硅片进行防护的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
6.本实用新型为一种单晶研磨机的可调防护机构，包括安装基座，所述安装基座上固定有一对固定柱，且所述固定柱上配合有用于固定调节组件的紧固件；调节组件，所述调节组件包括转动设置于安装基座上的调节板a和调节板b；所述调节板a下方转动连接有滚筒a；所述调节板b下方转动连接有滚筒b；其中，所述滚筒a与滚筒b之间配合有单晶硅片；固定件，所述固定件固定于调节板a和调节板b之间。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述调节板a底部固定有一直杆a，并通过直杆a固定有一对限位板a；所述滚筒a转动连接于一对限位板a之间。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述调节板b底部固定有一直杆b，并通过直杆b固定有一对限位板b；所述滚筒b转动连接于一对限位板b之间。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定件上开设有若干连接孔；所述调节板b顶部固定有与连接孔配合的限位柱；所述调节板a上开设有与连接孔对应的装配孔，并装配有螺栓组件。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装基座一侧面固定有滑动结构；所述滑动结构滑动连接于一竖向导轨上。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑动结构为对称设置的一对l形板。
12.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述竖向导轨表面开设有若干插孔a；所述安装基座另一侧面开设有插孔b，并配合有插杆。
13.本实用新型具有以下有益效果：
14.1、本实用新型通过固定件上开设多个连接孔，通过将螺栓组件插入到不同的装配孔或连接孔中，从而调节滚筒a与滚筒b之间的距离，从而适合不同尺寸的单晶硅片。
15.2、本实用新型通过滑动结构滑动连接于一竖向导轨上，通过滑动安装基座到不同高度，从而将滚筒a与滚筒b调节到不同高度，从而根据单晶硅片的高度位置调节滚筒a与滚筒b的位置，对其进行防护。
16.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型的一种单晶研磨机的可调防护机构的结构示意图；
19.图2为图1的俯视示意图；
20.图3为调节板a的结构示意图；
21.图4为调节板b的结构示意图；
22.图5为调节板b的内部结构示意图；
23.图6为安装基座的结构示意图；
24.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
25.1-安装基座，2-调节板a，3-调节板b，4-固定件，5-单晶硅片，6-竖向导轨，101-固定柱，102-紧固件，103-滑动结构，104-插孔b，105-插杆，201-滚筒a，202-直杆a，203-限位板a，204-装配孔，205-螺栓组件，301-滚筒b，302-直杆b，303-限位板b，304-限位柱，401-连接孔，601-插孔a。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.实施例一
28.请参阅图1所示，本实用新型为一种单晶研磨机的可调防护机构，包括安装基座1，安装基座1上固定有一对固定柱101，且固定柱101上配合有用于固定调节组件的紧固件102，用于固定调节板a2和调节板b3的位置；调节组件，调节组件包括转动设置于安装基座1上的调节板a2和调节板b3；调节板a2下方转动连接有滚筒a201；调节板b3下方转动连接有滚筒b301，滚筒a201和滚筒b301均采用耐磨材质；其中，滚筒a201与滚筒b301之间配合有单晶硅片5，单晶硅片5可置于一晶片载具上，单晶硅片5上面配合现有技术中的加压组件，从
而对单晶硅片5的固定和打磨；固定件4，固定件4固定于调节板a2和调节板b3之间。
29.请参阅图1所示，调节板a2底部固定有一直杆a202，并通过直杆a202固定有一对限位板a203，滚筒a201与直杆a202转动连接，使得单晶硅片5在打磨转动时，滚筒a201能够配合其转动；滚筒a201转动连接于一对限位板a203之间。
30.请参阅图1所示，调节板b3底部固定有一直杆b302，并通过直杆b302固定有一对限位板b303；滚筒b301转动连接于一对限位板b303之间，滚筒b301与直杆b302转动连接，使得单晶硅片5在打磨转动时，滚筒b301能够配合其转动。
31.请参阅图1所示，固定件4上开设有若干连接孔401；调节板b3顶部固定有与连接孔401配合的限位柱304，通过将螺栓组件205插入到不同的装配孔204或连接孔401中，从而调节滚筒a201与滚筒b301之间的距离，从而适合不同尺寸的单晶硅片5；调节板a2上开设有与连接孔401对应的装配孔204，并装配有螺栓组件205，从而将调节板a2与调节板b3之间之间的角度调节好后固定。
32.实施例二
33.在上述实施例一的基础上，请参阅图1和6所示，安装基座1一侧面固定有滑动结构103；滑动结构103滑动连接于一竖向导轨6上，通过滑动安装基座1到不同高度，从而将滚筒a201与滚筒b301调节到不同高度，从而根据单晶硅片5的高度位置调节滚筒a201与滚筒b301的位置，对其进行防护，防止单晶硅片5脱离打磨的位置。滑动结构103为对称设置的一对l形板。竖向导轨6表面开设有若干插孔a601；安装基座1另一侧面开设有插孔b104，并配合有插杆105，在安装基座1高度固定后，通过插孔b104与插杆105的配合，从而将滚筒a201与滚筒b301的高度调节好，实用性强。
34.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属单晶硅片研磨技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。