一种真空镀膜机的工件架的制作方法

文档序号:32633361发布日期:2022-12-21 01:23阅读:31来源:国知局
一种真空镀膜机的工件架的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种真空镀膜机的工件架。


背景技术:

2.真空镀膜机是指在真空状态下进行镀膜的机器,主要思路分为蒸发和溅射两种,蒸发镀膜是通过加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,溅射镀膜是利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并最终沉积在基片表面,经历成膜过程,在真空镀膜机使用过程中,需要将镀膜工件放置到放置架上,在送进真空镀膜机进行镀膜。
3.公开号为cn215560639u的专利文件公开了一种真空镀膜机工件放置架,通过挂钩组件对筒状工件进行定位固定,然而筒状工件的轴向长度不一,因此,需要通过旋拧的方式来对各挂钩组件逐个调节,挂钩组件过多时,调节过程较为繁琐。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的工件架,解决以下技术问题:
5.筒状工件的轴向长度不一,因此,需要通过旋拧的方式来对各挂钩组件逐个调节,挂钩组件过多时,调节过程较为繁琐。
6.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
7.一种真空镀膜机的工件架,包括镀膜箱体以及转动布设在镀膜箱体内的主壳体;
8.主壳体表面呈圆周阵列布设有多组用于对工件进行承载的挂钩组件,挂钩组件通过插接的方式与主壳体滑动连接;
9.其中,挂钩组件在沿着主壳体轴向方向还布设有多组,主壳体内布设有推动机构,推动机构用于调节挂钩组件伸出主壳体外侧的距离以对承载不同轴向长度的工件;
10.还包括驱动组件,所述驱动组件与主壳体连接,用于带动主壳体在镀膜箱体内转动。
11.优选的,主壳体在镀膜箱体内呈圆周阵列布设有多组。
12.优选的,挂钩组件包括导向杆,导向杆与主壳体通过插接的方式滑动连接。
13.优选的,推动机构包括转动布设在主壳体内的转动杆以及转盘,转动杆与主壳体同轴,转动杆顶端固定安装手柄;
14.其中,转盘在转动杆表面沿轴心向方向固定安装有多组,转盘表面呈周向阵列开设有多组弧形槽,弧形槽由转盘近心端朝向远心端方向延伸,弧形槽内活动嵌设有与相应导向杆转动连接的销轴,导向杆外侧设有复位弹簧。
15.优选的,驱动组件包括布设在镀膜箱体外侧的驱动电机,所述驱动电机输出端固定连接主齿轮,各主壳体底部安装有与主齿轮啮合的副齿轮。
16.优选的,导向杆远离主壳体的一端螺纹连接挂钩。
17.本实用新型的有益效果:
18.(1)基于筒状工件的轴向长度,通过推动机构推动挂钩组件滑动以使得在主壳体外部伸出的长度与工件轴向长度相适配,而后启动驱动组件,驱动组件带动主壳体在镀膜箱体内转动以实现对工件的均匀镀膜,本实用新型通过设置推动机构对挂钩组件的伸出长度进行调节,相较于现有逐个旋拧式调节方法,操作便捷,效率更高;
19.(2)手柄通过转动杆带动转盘转动,转盘在转动的过程中通过弧形槽推动销轴移动,销轴推动导向杆在主壳体间滑动,进而实现对导向杆在主壳体外侧伸出长度的调节,本实用新型通过带动转动杆转动而带动转盘转动,可以实现对多个导向杆的同步调节。
附图说明
20.下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
21.图1是本实用新型一种真空镀膜机的工件架的结构示意图;
22.图2是本实用新型一种真空镀膜机的工件架中转盘的结构示意图;
23.图3是本实用新型一种真空镀膜机的工件架中挂钩组件的结构示意图;
24.图4是本实用新型一种真空镀膜机的工件架中主壳体的结构示意图。
25.图中:1、镀膜箱体;2、主壳体;3、驱动电机;4、转盘;5、转动杆;201、手柄;202、挂钩;203、导向杆;301、主齿轮;302、副齿轮;401、弧形槽;402、销轴;403、复位弹簧。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-图2所示,本实用新型为一种真空镀膜机的工件架,包括镀膜箱体1以及转动布设在镀膜箱体1内的主壳体2;
28.主壳体2表面呈圆周阵列布设有多组用于对工件进行承载的挂钩组件,挂钩组件通过插接的方式与主壳体2滑动连接;
29.其中,挂钩组件在沿着主壳体2轴向方向还布设有多组,主壳体2内布设有推动机构,推动机构用于调节挂钩组件伸出主壳体2外侧的距离以承载不同轴向长度的工件;
30.还包括驱动组件,所述驱动组件与主壳体2连接,用于带动主壳体2在镀膜箱体1内转动;在实际镀膜过程中,首先基于筒状工件的轴向长度,通过推动机构推动挂钩组件滑动以使得在主壳体2外部伸出的长度与工件轴向长度相适配,而后启动驱动组件,驱动组件带动主壳体2在镀膜箱体1内转动以实现对工件的均匀镀膜,本实用新型通过设置推动机构对挂钩组件的伸出长度进行调节,相较于现有逐个旋拧式调节方法,操作便捷,效率更高。
31.请参阅图3,主壳体2在镀膜箱体1内呈圆周阵列布设有多组,使得在实际加工过程中,可以一次性承载更多的工件进行镀膜,提高生产效率;
32.挂钩组件包括导向杆203,导向杆203与主壳体2通过插接的方式滑动连接,导向杆203与推动机构连接;
33.其中,导向杆203远离主壳体2的一端螺纹连接挂钩202,将工件挂在导向杆203表面后,当带动主壳体2旋转时,为了避免工件在离心力的作用下甩出,通过在导向杆203末端
设置挂钩202,起到限位的作用,工件承载更加稳定;
34.请参阅图4,推动机构包括转动布设在主壳体2内的转动杆5以及转盘4,转动杆5与主壳体2同轴,转动杆5顶端固定安装手柄201;
35.其中,转盘4在转动杆5表面沿转动杆5轴向固定安装有多组,转盘4表面呈周向阵列开设有多组弧形槽401,弧形槽401由转盘4近心端朝向远心端方向延伸,弧形槽401内活动嵌设有与相应导向杆203转动连接的销轴402,导向杆203外侧设有复位弹簧403,在对挂钩组件的长度进行调节时,通过转动手柄201,手柄201通过转动杆5带动转盘4转动,转盘4在转动的过程中通过弧形槽401推动销轴402移动,销轴402推动导向杆203在主壳体2间滑动,进而实现对导向杆203在主壳体2外侧伸出长度的调节,本实用新型通过带动转动杆5转动而带动转盘4转动,可以实现对多个导向杆203的同步调节。
36.驱动组件包括布设在镀膜箱体1外侧的驱动电机3,所述驱动电机3输出端固定连接主齿轮301,各主壳体2底部安装有与主齿轮301啮合的副齿轮302,启动驱动电机3,驱动电机3带动主齿轮301转动,主齿轮301在转动的过程中通过副齿轮302带动主壳体2转动。
37.本实用新型的工作原理:首先基于筒状工件的轴向长度,通过转动手柄201,手柄201通过转动杆5带动转盘4转动,转盘4在转动的过程中通过弧形槽401推动销轴402移动,销轴402推动导向杆203在主壳体2间滑动,进而实现对导向杆203在主壳体2外侧伸出长度的调节,使得在主壳体2外部伸出的长度与工件轴向长度相适配,而后启动驱动组件,驱动组件带动主壳体2在镀膜箱体1内转动以实现对工件的均匀镀膜,本实用新型通过设置推动机构对挂钩组件的伸出长度进行调节。
38.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以及特定的方位构造和操作,因此,不能理解为对本实用新型的限制。此外,“第一”、“第二”仅由于描述目的,且不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。因此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
39.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”“相连”“连接”等应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接连接,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
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