一种化学气相沉积炉炉盖结构的制作方法

本技术涉及沉积炉相关，尤其涉及一种化学气相沉积炉炉盖结构。

背景技术：

1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

2、目前的化学气相沉积炉一般工作时的温度都比较高，由于炉盖与炉体之间通常由单层结构组成，若气密性不理想则容易泄露一部分热量，不仅增加了炉体的热损耗，还提高了炉体周围的环境温度，影响工人的工作环境，因此，有必要提供一种化学气相沉积炉炉盖结构解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，解决了由于炉盖与炉体之间通常由单层结构组成，若气密性不理想则容易泄露一部分热量，不仅增加了炉体的热损耗，还提高了炉体周围的环境温度，影响工人的工作环境，的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板，所述第二齿板的一端固定连接有密封凸环，所述凹环的内弧面开设有密封凹槽，所述密封凹槽与密封凸环配合使用。

3、优选的，所述炉盖的表面固定连接有把手。

4、优选的，所述炉体上设置有转动件，所述转动件包括有固定件，所述固定件的一侧铰接有折板，所述折板的一端铰接有连接件，所述连接件与炉盖的表面固定连接。

5、优选的，所述炉体的一侧设置有锁扣。

6、优选的，所述炉体与炉盖均采用不锈钢材料制备。

7、优选的，所述炉盖的底部开设有环形槽，所述环形槽的内壁对称开设有密封槽，所述炉体的顶部固定连接有密封圈，所述密封圈的两侧均开设有固定槽，所述固定槽的内壁固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接有密封环，所述密封环的一侧与密封槽的内壁接触。

8、优选的，所述密封圈和环形槽的截面均为三角形。

9、与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉炉盖结构具有如下有益效果：

10、本实用新型提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，通过第一齿板、齿轮、第二齿板、密封凸环和密封凹槽配合使用，使得关闭炉盖时可以自动对炉盖与炉体之间进行密封，提高密封效果，降低炉体热量的损耗，保证工人的工作环境。

技术特征：

1.一种化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板，所述第二齿板的一端固定连接有密封凸环，所述凹环的内弧面开设有密封凹槽，所述密封凹槽与密封凸环配合使用。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉盖的表面固定连接有把手。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉体上设置有转动件，所述转动件包括有固定件，所述固定件的一侧铰接有折板，所述折板的一端铰接有连接件，所述连接件与炉盖的表面固定连接。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉体的一侧设置有锁扣。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉体与炉盖均采用不锈钢材料制备。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉盖的底部开设有环形槽，所述环形槽的内壁对称开设有密封槽，所述炉体的顶部固定连接有密封圈，所述密封圈的两侧均开设有固定槽，所述固定槽的内壁固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接有密封环，所述密封环的一侧与密封槽的内壁接触。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述密封圈和环形槽的截面均为三角形。

技术总结
本技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板。本技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，通过第一齿板、齿轮、第二齿板、密封凸环和密封凹槽配合使用，使得关闭炉盖时可以自动对炉盖与炉体之间进行密封，提高密封效果，降低炉体热量的损耗，保证工人的工作环境。

技术研发人员：贺鹏博,周明
受保护的技术使用者：苏州铠欣半导体科技有限公司
技术研发日：20220803
技术公布日：2024/1/12