一种芯片端面抛光研磨机的制作方法

1.本实用新型涉及抛光研磨技术领域，尤其涉及一种芯片端面抛光研磨机。


背景技术：

2.在半导体光通讯芯片的加工处理过程中，需要对芯片的端面进行研磨和抛光处理。研磨是去除掉一定量的材料，使芯片露出需要的部分或角度，以方便后续的加工处理(如耦合，封装等)。抛光的过程是对研磨产生的表面损伤层进行处理，提高表面光洁度，达到合符要求的表面质量(粗糙度，洁净度，损伤层厚度)等。
3.现有技术中，芯片端面在研磨和抛光加工时有以下问题：
4.1.不能多片芯片同时在研磨抛光机上进行加工，影响工作效率；
5.2.废弃抛光液没有回收装置，不能有效的维护工作环境干净整洁；
6.3.不能保持研磨和抛光时加工环境被隔离，使灰尘等环境因素影响抛光效果；
7.本实用新型提供了一种芯片端面抛光研磨机来解决以上问题。


技术实现要素：

8.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在芯片端面加工不可多片芯片同时在研磨抛光机上进行加工，废弃抛光液没有回收装置，抛光效果易被灰尘等环境因数影响的缺点，而提出的一种芯片端面抛光研磨机。
9.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
10.一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框，所述主体外框顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机，顶部电机用来提供升降结构的动力，所述顶部电机输出端贯穿主体外框顶端固定连接有大螺纹轴，大螺纹轴用来转化顶部电机的动力，所述大螺纹轴外侧螺纹套设有内螺纹杆，所述内螺纹杆外侧滑动连接有固定套筒，且内螺纹杆底端固定连接有夹具外壳，内螺纹杆用来升降具外壳，所述夹具外壳底端螺栓固定连接有夹具，所述夹具外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具外侧每个限位槽两边均个设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁；
11.所述主体外框内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机和内设抽水泵的抛光液桶，抛光液桶用来储存抛光液，所述底部电机输出端贯穿主体外框内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮，抛光研磨轮用来研磨抛光，所述抛光液桶顶端滑动连接有废水收集箱，且抛光液桶通过管道固定连接有抛光液喷口，所述废水收集箱通过水管和主体外框内侧中间隔板贯通并固定连接。
12.优选的，所述固定套筒内侧设置有限位凸块，且固定套筒的顶端和主体外框内侧顶端固定连接，所述内螺纹杆外侧开设有凹槽，所述凹槽和限位凸块配合使用。
13.优选的，所述主体外框内侧中间隔板上开设有方形凹槽，且主体外框内侧中间隔板上的方形凹槽内开设有和底部电机输出端转动连接的圆形凹槽，所述抛光研磨轮在圆形凹槽内工作，所述主体外框背面固定连接有散热风扇，且主体外框内侧上部固定连接有两
个工作灯。
14.优选的，所述主体外框外侧上部两边个开设有一个透明玻璃窗，所述主体外框外侧上部铰接有两扇对称设置的带框透明玻璃门，且主体外框外侧下部铰接有两扇对称设置的带锁金属门。
15.优选的，所述夹具外壳内部固定连接有上隔板和下隔板，且夹具外壳外侧设置有开关，所述上隔板上固定连接有输出端向下竖直设置的小电机，所述小电机输出端穿过上隔板固定连接有小螺纹轴，所述小螺纹轴外侧螺纹套设有精密内螺纹杆，所述精密内螺纹杆底端固定连接有固定底座，所述固定底座底端固定连接有螺帽，所述螺帽和夹具通过螺栓固定连接。
16.优选的，所述下隔板和套筒固定连接，所述套筒和精密内螺纹杆滑动连接，所述夹具外壳和夹具滑动连接。
17.优选的，所述夹具上可接触连接有芯片盖板，所述芯片盖板上固定连接有橡胶垫，且芯片盖板上橡胶垫两边均固定连接有一个限位铁块，所述限位铁块和电磁铁可磁性吸附连接。
18.本实用新型中，所述一种芯片端面抛光研磨机通过主体外框上的透明玻璃门和透明玻璃窗的设置，在不影响工作的情况下提供了一个干净无尘的工作环境，间接提高了产品品质；通过废水收集箱的设置保护了环境的干净无尘，通过散热风扇和工作灯的设置提高了实际使用体验，通过电磁铁的夹持设置提高了工作效率，通过紧密升降机构螺纹固定连接的夹具上可同时安装多个芯片，大幅提高了工作效率，
19.具备可多片芯片同时在研磨抛光机上进行精密加工的功能，大幅提高了工作效率，能够对废弃抛光液及时回收，排除了灰尘等环境因数对芯片抛光效果的影响，实际使用效果佳。
附图说明
20.图1为本实用新型提出的一种芯片端面抛光研磨机的主体三维结构示意图；
21.图2为本实用新型提出的一种芯片端面抛光研磨机的主视立体结构示意图；
22.图3为本实用新型提出的一种芯片端面抛光研磨机的背面立体结构示意图；
23.图4为本实用新型提出的一种芯片端面抛光研磨机的局部分解结构示意图；
24.图5为本实用新型提出的一种芯片端面抛光研磨机的剖面结构示意图。
25.图中：1、顶部电机；2、工作灯；3、主体外框；4、固定套筒；5、开关；6、夹具外壳；7、抛光研磨轮；8、底部电机；9、管道；10、废水收集箱；11、抛光液桶；12、散热风扇；13、抛光液喷口；14、内螺纹杆；15、芯片盖板；16、夹具；17、电磁铁；18、限位铁块；19、橡胶垫；20、大螺纹轴；21、小螺纹轴；22、小电机；23、上隔板；24、固定底座；25、螺帽；26、下隔板；27、套筒；28、精密内螺纹杆；29、限位凸块；30、凹槽。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
27.实施例一
28.参照图1-5，一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框3，主体外框3顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机1，顶部电机1用来提供升降结构的动力，顶部电机1输出端贯穿主体外框3顶端固定连接有大螺纹轴20，大螺纹轴20用来转化顶部电机1的动力，大螺纹轴20外侧螺纹套设有内螺纹杆14，内螺纹杆14外侧滑动连接有固定套筒4，且内螺纹杆14底端固定连接有夹具外壳6，内螺纹杆14用来升降具外壳6，夹具外壳6底端螺栓固定连接有夹具16，夹具16外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具16外侧每个限位槽两边均个设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁17；
29.主体外框3内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机8和内设抽水泵的抛光液桶11，抛光液桶11用来储存抛光液，底部电机8输出端贯穿主体外框3内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮7，抛光研磨轮7用来研磨抛光，抛光液桶11顶端滑动连接有废水收集箱10，且抛光液桶11通过管道9固定连接有抛光液喷口13，废水收集箱10通过水管和主体外框3内侧中间隔板贯通并固定连接。
30.实施例二
31.一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框3，主体外框3顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机1，顶部电机1用来提供升降结构的动力，顶部电机1输出端贯穿主体外框3顶端固定连接有大螺纹轴20，大螺纹轴20用来转化顶部电机1的动力，大螺纹轴20外侧螺纹套设有内螺纹杆14，内螺纹杆14外侧滑动连接有固定套筒4，且内螺纹杆14底端固定连接有夹具外壳6，固定套筒4内侧设置有限位凸块29，且固定套筒4的顶端和主体外框3内侧顶端固定连接，内螺纹杆14外侧开设有凹槽30，凹槽30和限位凸块29配合使用，内螺纹杆14用来升降夹具外壳6，夹具外壳6底端螺栓固定连接有夹具16，夹具外壳6内部固定连接有上隔板23和下隔板26，且夹具外壳6外侧设置有开关5，下隔板26和套筒27固定连接，套筒27和精密内螺纹杆28滑动连接，夹具外壳6和夹具16滑动连接，上隔板23上固定连接有输出端向下竖直设置的小电机22，小电机22输出端穿过上隔板23固定连接有小螺纹轴21，小螺纹轴21外侧螺纹套设有精密内螺纹杆28，精密内螺纹杆28底端固定连接有固定底座24，固定底座24底端固定连接有螺帽25，螺帽25和夹具16通过螺栓固定连接，夹具16外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具16外侧每个限位槽两边均个设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁17，夹具16上可接触连接有芯片盖板15，芯片盖板15上固定连接有橡胶垫19，且芯片盖板15上橡胶垫19两边均固定连接有一个限位铁块18，限位铁块18和电磁铁17可磁性吸附连接；
32.主体外框3内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机8和内设抽水泵的抛光液桶11，主体外框3内侧中间隔板上开设有方形凹槽，且主体外框3内侧中间隔板上的方形凹槽内开设有和底部电机8输出端转动连接的圆形凹槽，主体外框3外侧上部两边个开设有一个透明玻璃窗，主体外框3外侧上部铰接有两扇对称设置的带框透明玻璃门，且主体外框3外侧下部铰接有两扇对称设置的带锁金属门，抛光研磨轮7在圆形凹槽内工作，主体外框3背面固定连接有散热风扇12，且主体外框3内侧上部固定连接有两个工作灯2，抛光液桶11用来储存抛光液，底部电机8输出端贯穿主体外框3内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮7，抛光研磨轮7用来研磨抛光，抛光液桶11顶端滑动连接有废水收集箱10，且抛光液桶11通过管道9固定连接有抛光液喷口13，废水收集箱10通过水管和主体外框3内侧中间隔
板贯通并固定连接。
33.本实用新型中，工作原理简单易懂，使用效果佳，使用时首先接通电源，然后按下工作灯2启动开关，工作灯2开启后，按下顶部电机1上升启动开关，启动顶部电机1把和顶部电机1输出轴固定连接的大螺纹轴20带动，让和大螺纹轴20螺纹连接的内螺纹杆14向上拉升到合适的位置后，关闭开关，然后把内螺纹杆14上固定连接的夹具16上的六限槽均放置好芯片，并按下真空吸附开关吸附好芯片，然后把六个芯片盖板15均卡装在电磁铁17外侧的限位凹槽上，开启电磁铁17磁性吸附连接限位铁块18，将芯片盖板15固定，使芯片盖板15上的橡胶垫19压紧芯片，然后按下顶部电机1下降启动开关，启动顶部电机1把和顶部电机1输出轴固定连接的内螺纹杆14向下推到合适的位置后，关闭开关，然后旋拧开关5启动小电机22，由于小电机22和上隔板23固定连接，精密内螺纹杆28内侧螺纹连接小电机22输出轴固定连接的小螺纹轴21,精密内螺纹杆28外侧滑动连接有套筒27，套筒27和下隔板26固定连接，固定底座24顶端和精密内螺纹杆28底端固定连接，固定底座24底端和螺帽25顶端固定连接，所以旋拧开关5上升或下降可以调整夹具外壳6内的夹具16的高度设置去除量，设置好去除量后关闭开关5，关上主体外框3上的两扇透明玻璃门，按下抛光液喷口13开关和底部电机8开关，使抛光液喷口13通过管道9从抛光液桶11内的抽水泵抽取抛光液进行喷洒，底部电机8输出端带动抛光研磨轮7开始工作，其中产生的抛光液废水经过主体外框3内侧中间隔板上的圆形凹槽在这自然重力影响下通过水管流入废水收集箱10，然后按下散热风扇12开关，使散热风扇12开始工作，研磨抛光完成后，同时关闭散热风扇12和底部电机8的开关，打开主体外框3上的两扇透明玻璃门，按下真空吸附开关和电磁铁17开关，关闭真空吸附和电磁铁17，取下加工好的芯片。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。