一种用于自动化磁控溅射的生产工装的制作方法

1.本实用新型涉及生产技术领域，具体涉及一种用于自动化磁控溅射的生产工装。


背景技术：

2.磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
3.针对现有技术存在以下问题：
4.1、现有的用于自动化磁控溅射的生产工装在使用时,使用限制过大，只能应用与单一的产品；
5.2、现有的用于自动化磁控溅射的生产工装在使用时,因为磁力的作用，产生的震动非常大，稳定性较差，容易对产品产生影响。


技术实现要素：

6.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
7.一种用于自动化磁控溅射的生产工装，包括主体，所述主体的内部设置有溅射池，所述主体的上端设置有动力装置，所述动力装置的两侧设置有调节装置，所述调节装置的下端设置有第一连接块，所述第一连接块的下端设置有滑动装置，所述滑动装置的下端设置有连接管，所述主体的内部固定安装有支撑柱，所述主体的内部设置有检测装置。
8.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述调节装置包括有第一调节活塞，所述第一调节活塞的下端设置有调节弹簧，所述调节弹簧的下端设置有调节柱，所述调节柱的右侧设置有第二调节活塞，所述调节柱的左侧设置有稳定装置。
9.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述第一调节活塞的下端与调节弹簧的上端固定连接，所述调节柱的右侧与第二调节活塞的左侧固定连接，所述稳定装置的右侧与调节柱的左侧滑动连接。
10.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑动装置包括有第二连接块，所述第二连接块的下端设置有滑动柱，所述第二连接块的下端设置有滑块，所述滑块的下端设置有第一滑动轨道，所述滑动柱的下端设置有第二滑动轨道，所述第二滑动轨道的左侧设置有第三连接块，所述第三连接块的左侧设置有固定柱，所述固定柱的左侧设置有稳定柱，所述稳定柱的左侧设置有磁控溅射板。
11.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑块的下端与第一滑动轨道的上端滑动连接，所述滑动柱的下端与第二滑动轨道滑动连接。
12.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述检测装置包括有第一检测板，所述第一检测板的左侧设置有生产层，所述生产层的左侧设置有第二检测板。
13.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述第二检测板的右侧与生产层的左侧固定连接，所述第一检测板的左侧与生产层的右侧固定连接。
14.由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：
15.1、本实用新型提供一种用于自动化磁控溅射的生产工装，通过第一调节活塞、第二调节活塞、调节弹簧、调节柱和稳定装置的共同作用下，增加了装置的实用性，第一调节活塞与调节弹簧对装置在上下方向上调节，第二调节活塞与调节柱对装置在左右方向上调节，找到合适位置固定后进行磁控溅射生产，稳定装置防止调节柱在调节过程中偏离调节路线，影响磁控溅射生产，增加了装置实用性。
16.2、本实用新型提供一种用于自动化磁控溅射的生产工装，通过滑块、滑动柱、第一滑动轨道、第二滑动轨道、稳定柱和固定柱的共同作用下，保证了装置在生产过程中的稳定性，滑块与滑动柱可以分别在第一滑动轨道与第二滑动轨道上滑动，调节磁控溅射板的位置，稳定柱与固定柱对磁控溅射板进行固定，防止磁控溅射板再生产过程中产生偏移，对产品造成影响，增加了装置的稳定性。
17.3、本实用新型提供一种用于自动化磁控溅射的生产工装，通过第一检测板、第二检测板和生产层的共同作用下，防止再生产过程中造成资源浪费，第一检测板与第二检测板对生产层的产品进行检测，防止再生产过程中没有及时发现产品的变化，对后续生产造成影响，造成资源浪费，增加了装置的精确性。
附图说明
18.图1为本实用新型的用于自动化磁控溅射的生产工装的结构示意图；
19.图2为本实用新型的调节装置的结构示意图；
20.图3为本实用新型的滑动装置的结构示意图；
21.图4为本实用新型的检测装置的结构示意图。
22.图中：1、主体；2、溅射池；3、检测装置；4、支撑柱；5、连接管；6、滑动装置；7、第一连接块；8、动力装置；9、调节装置；91、第一调节活塞；92、调节弹簧；93、稳定装置；94、调节柱；95、第二调节活塞；61、磁控溅射板；62、第一滑动轨道；63、滑块；64、第二连接块；65、稳定柱；66、固定柱；67、第三连接块；68、滑动柱；69、第二滑动轨道；31、第一检测板；32、第二检测板；33、生产层。
具体实施方式
23.下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明：
24.实施例1
25.如图1-4所示，本实用新型提供了一种用于自动化磁控溅射的生产工装,包括主体1，主体1的内部设置有溅射池2，主体1的上端设置有动力装置8，动力装置8的两侧设置有调节装置9，调节装置9的下端设置有第一连接块7，第一连接块7的下端设置有滑动装置6，滑动装置6的下端设置有连接管5，主体1的内部固定安装有支撑柱4，主体1的内部设置有检测装置3。
26.实施例2
27.如图1-4所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，调节
装置9包括有第一调节活塞91，第一调节活塞91的下端设置有调节弹簧92，调节弹簧92的下端设置有调节柱94，调节柱94的右侧设置有第二调节活塞95，调节柱94的左侧设置有稳定装置93，第一调节活塞91的下端与调节弹簧92的上端固定连接，调节柱94的右侧与第二调节活塞95的左侧固定连接，稳定装置93的右侧与调节柱94的左侧滑动连接。
28.在本实施例中，第一调节活塞91与调节弹簧92对装置在上下方向上调节，第二调节活塞95与调节柱94对装置在左右方向上调节，找到合适位置固定后进行磁控溅射生产，稳定装置93防止调节柱94在调节过程中偏离调节路线，影响磁控溅射生产。
29.实施例3
30.如图1-4所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，滑动装置6包括有第二连接块64，第二连接块64的下端设置有滑动柱68，第二连接块64的下端设置有滑块63，滑块63的下端设置有第一滑动轨道62，滑动柱68的下端设置有第二滑动轨道69，第二滑动轨道69的左侧设置有第三连接块67，第三连接块67的左侧设置有固定柱66，固定柱66的左侧设置有稳定柱65，稳定柱65的左侧设置有磁控溅射板61，滑块63的下端与第一滑动轨道62的上端滑动连接，滑动柱68的下端与第二滑动轨道69滑动连接。
31.在本实施例中，通过滑块63与滑动柱68可以分别在第一滑动轨道62与第二滑动轨道69上滑动，调节磁控溅射板61的位置，稳定柱65与固定柱66对磁控溅射板61进行固定，防止磁控溅射板61再生产过程中产生偏移，对产品造成影响。
32.实施例4
33.如图1-4所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，检测装置3包括有第一检测板31，第一检测板31的左侧设置有生产层33，生产层33的左侧设置有第二检测板32，第二检测板32的右侧与生产层33的左侧固定连接，第一检测板31的左侧与生产层33的右侧固定连接。
34.在本实施例中，通过第一检测板31与第二检测板32对生产层33的产品进行检测，防止再生产过程中没有及时发现产品的变化，对后续生产造成影响，造成资源浪费。
35.下面具体说一下该用于自动化磁控溅射的生产工装的工作原理。
36.如图1-4所示，第一调节活塞91与调节弹簧92对装置在上下方向上调节，第二调节活塞95与调节柱94对装置在左右方向上调节，找到合适位置固定后进行磁控溅射生产，稳定装置93防止调节柱94在调节过程中偏离调节路线，影响磁控溅射生产，通过滑块63与滑动柱68可以分别在第一滑动轨道62与第二滑动轨道69上滑动，调节磁控溅射板61的位置，稳定柱65与固定柱66对磁控溅射板61进行固定，防止磁控溅射板61再生产过程中产生偏移，对产品造成影响，通过第一检测板31与第二检测板32对生产层33的产品进行检测，防止再生产过程中没有及时发现产品的变化，对后续生产造成影响，造成资源浪费。
37.上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。