一种可均匀镀膜的PVD真空离子镀膜机的制作方法

一种可均匀镀膜的pvd真空离子镀膜机
技术领域
1.本实用新型涉及镀膜机技术领域，特别涉及一种可均匀镀膜的pvd真空离子镀膜机。


背景技术：

2.在对刀具进行镀膜的时候，通常使用真空离子镀膜；真空离子镀膜是借助于惰性气体辉光放电，使镀料（如金属钛）气化蒸发离子化，离子经电场加速，以较高能量轰击刀具工件表面，此时如通入c2h2、n2等反应气体，便可在刀具工件表面获得tic、tin覆盖层，硬度高达2000hv；真空离子镀膜的重要特点是沉积温度只有500℃左右，且覆盖层附着力强；近十多年来，真空离子镀膜技术的发展是最快的，它已经成为当今最先进的表面处理方式之一。
3.然而，就目前传统pvd真空离子镀膜机而言，刀具工件在镀膜腔内部的转动多依靠于固定支架的整体转动，刀具工件自身的旋转角度较小，会导致刀具工件镀膜的均匀性不理想，同时现有的pvd真空离子镀膜机在使用的时候，在对刀具工件进行镀膜前，需要先对刀具工件的表面进行清理，而刀具工件清理之后，还需要在经过一段外界环境，才会转移到镀膜机的镀膜腔内部，在转移过程中，清理好的刀具工件表面很容易再次粘附到外界的杂质，影响镀膜质量，导致废品率下降。


技术实现要素：

4.本实用新型提供了一种可均匀镀膜的pvd真空离子镀膜机，具体包括：安装机构；所述安装机构的内部安装有固定机构，且固定机构的移动件的t型滑槽内部插入有安装机构的清理箱体内部的t型滑轨；进行镀膜时所述固定机构的移动件的左端面与安装机构的密封垫圈紧密接触，且固定机构的旋转件的凸型限位块内部插入在安装机构的驱动件的凹型限位块内部；进行清理时所述固定机构的固定件、旋转件和连接件插入在安装机构的清理件的清理腔内部。
5.可选地，所述清理箱体下方的后端设有伺服电机，且清理箱体的伺服电机的主轴上端固定连接有螺杆；所述清理箱体的后端开设有导向槽，且清理箱体的内部固定连接有四个t型滑轨；所述清理箱体的左侧固定连接有镀膜箱体，且镀膜箱体与清理箱体之间连通；所述镀膜箱体的外侧开设有圆周排列的安装套筒；所述镀膜箱体的下端固定连接有控制件，且控制件的上端固定连接有保护箱；所述控制件的保护箱内部固定连接有驱动件，且驱动件的主轴上端固定连接有凹型限位块；所述驱动件的限位块插入在镀膜箱体的内部。
6.可选地，所述清理箱体的内部插入有清理件，且清理件的上端设有清理腔；所述清理件的后端设有矩形凸起，且清理件的矩形凸起插入在清理箱体的导向槽内部；所述清理件的矩形凸起内部开设有螺孔，且清理件的螺孔内部插入有清理箱体的螺杆；所述清理箱体与镀膜箱体连通位置的右侧固定连接有密封垫圈；所述清理箱体的上端固定连接有真空泵，且真空泵通过导管与镀膜箱体连通。
7.可选地，所述移动件的前后两端开设有t型滑槽，且移动件的左侧固定连接有支撑板；所述移动件的支撑板内部开设有螺孔；所述移动件的支撑板下端通过螺丝固定连接有固定件，且固定件的下端面通过螺丝固定连接有齿轮；所述固定件的下端固定连接有转轴，且固定件的转轴下端通过螺丝连接有限位板。
8.可选地，所述固定件的转轴外侧套装有旋转件，且旋转件的下端设有凸型限位块；所述旋转件的上端开设有圆周排列的转孔；所述旋转件的转孔内部插入有连接件，且连接件的下端通过螺丝固定连接有固定架；所述连接件的上端固定连接有齿轮，且连接件的齿轮与固定件的齿轮相互啮合。
9.有益效果
10.1、在本实用新型中，移动件带着本机构其他零件进入镀膜箱体之后，旋转件的凸型限位块会同步插入进驱动件的凹型限位块内部，使旋转件在驱动件的驱动下进行旋转，旋转件转动的时候，会带动其上侧安装的连接件一起转动，同时由于连接件的齿轮与固定件齿轮的配合，会同时使连接件产生自转，进而使本机构固定的刀具工件在绕固定件转轴旋转的同时，实现自转，进而增加了刀具工件与镀膜箱体内部的气化的镀料的接触面积和接触几率，使刀具工件的镀膜更加均匀，保证刀具工件镀膜的质量；
11.2、在本实用新型中，固定机构位于清理箱体的时候，通过控制清理箱体的电机，使清理件向上方移动，使固定机构固定住的刀具工件完全浸没在清理件的清理腔内部的清洗液中，通过清理件对刀具工件表面进行清洗，同时由于清理箱体与镀膜箱体之间连通，在清理完成之后，向左侧推动移动件，可以使固定机构直接从清理箱体内部移动至镀膜箱体内部，可以有效的防止清理后的刀具工件与外界接触，避免刀具工件表面二次粘附杂质，导致刀具工件的镀膜质量严重下降，甚至产生废品。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
13.下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。
14.在附图中：
15.图1示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的整体的立体结构示意图；
16.图2示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的安装机构的立体截面示意图；
17.图3示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的安装机构的后视图；
18.图4示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的固定机构的装配图；
19.图5示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的固定机构的立体截面示意图；
20.图6示出了根据本实用新型的实施例的pvd真空离子镀膜机的固定机构的仰视图。
21.附图标记列表
22.1、安装机构；101、清理箱体；102、镀膜箱体；103、控制件；104、驱动件；105、清理
件；106、密封垫圈；107、真空泵；
23.2、固定机构；201、移动件；202、固定件；203、旋转件；204、连接件。
具体实施方式
24.为了使得本实用新型的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本实用新型的具体实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。
25.实施例：请参考图1至图6：
26.本实用新型提出了一种可均匀镀膜的pvd真空离子镀膜机，包括：安装机构1；安装机构1的内部安装有固定机构2，且固定机构2的移动件201的t型滑槽内部插入有安装机构1的清理箱体101内部的t型滑轨；进行镀膜时固定机构2的移动件201的左端面与安装机构1的密封垫圈106紧密接触，且固定机构2的旋转件203的凸型限位块内部插入在安装机构1的驱动件104的凹型限位块内部；进行清理时固定机构2的固定件202、旋转件203和连接件204插入在安装机构1的清理件105的清理腔内部。
27.其中，如图2、图3所示，清理箱体101下方的后端设有伺服电机，且清理箱体101的伺服电机的主轴上端固定连接有螺杆；清理箱体101的后端开设有导向槽，且清理箱体101的内部固定连接有四个t型滑轨；清理箱体101用来安装固定机构2和清理件105，并通过电机控制清理件105的升降；清理箱体101的左侧固定连接有镀膜箱体102，且镀膜箱体102与清理箱体101之间连通；镀膜箱体102的外侧开设有圆周排列的安装套筒；镀膜箱体102为刀具工件提供镀膜腔，同时镀膜箱体102通过安装套筒安装用于镀膜的靶材和等离子弧源；镀膜箱体102的下端固定连接有控制件103，且控制件103的上端固定连接有保护箱；控制件103用来对本镀膜机的电子元件进行整体的控制，同时对镀膜箱体102和驱动件104进行支撑；控制件103的保护箱内部固定连接有驱动件104，且驱动件104的主轴上端固定连接有凹型限位块；驱动件104的限位块插入在镀膜箱体102的内部；驱动件104与镀膜箱体102之间保持密封，并通过限位块和旋转件203的限位槽的配合，带动旋转件203转动；清理箱体101的内部插入有清理件105，且清理件105的上端设有清理腔；清理件105的后端设有矩形凸起，且清理件105的矩形凸起插入在清理箱体101的导向槽内部；清理件105的矩形凸起内部开设有螺孔，且清理件105的螺孔内部插入有清理箱体101的螺杆；在固定机构2位于清理箱体101的时候，通过控制清理箱体101的电机，使清理件105向上方移动，使固定机构2固定住的刀具工件完全浸没在清理件105的清理腔内部的清洗液中，通过清理件105对刀具工件表面进行清洗，同时由于清理箱体101与镀膜箱体102之间连通，在清理完成之后，向左侧推动移动件201，可以使固定机构2直接从清理箱体101内部移动至镀膜箱体102内部，可以有效的防止清理后的刀具工件与外界接触，避免刀具工件表面二次粘附杂质，导致刀具工件的镀膜质量严重下降，甚至产生废品；清理箱体101与镀膜箱体102连通位置的右侧固定连接有密封垫圈106；使用密封垫圈106，使固定机构2进入镀膜箱体102后，移动件201的左端面可以紧密的与其接触，避免镀膜前镀膜箱体102通过真空泵107调节真空度的时候产生漏气；清理箱体101的上端固定连接有真空泵107，且真空泵107通过导管与镀膜箱体102连通；真空泵107用来调节镀膜箱体102内部的真空度，进而实现真空离子镀膜。
28.其中，如图5、图6所示，移动件201的前后两端开设有t型滑槽，且移动件201的左侧固定连接有支撑板；移动件201的支撑板内部开设有螺孔；移动件201通过滑槽在安装机构1内部左右滑动，用来安装本机构的其他零件，同时进行镀膜时，移动件201配合密封垫圈106对镀膜箱体102进行密封，令镀膜箱体102进行真空度调节；移动件201的支撑板下端通过螺丝固定连接有固定件202，且固定件202的下端面通过螺丝固定连接有齿轮；固定件202的下端固定连接有转轴，且固定件202的转轴下端通过螺丝连接有限位板；固定件202用来安装旋转件203，并通过限位板对对旋转件203进行限位；固定件202的转轴外侧套装有旋转件203，且旋转件203的下端设有凸型限位块；旋转件203的上端开设有圆周排列的转孔；移动件201带着本机构其他零件进入镀膜箱体102之后，旋转件203的凸型限位块会同步插入进驱动件104的凹型限位块内部，使旋转件203在驱动件104的驱动下进行旋转；旋转件203的转孔内部插入有连接件204，且连接件204的下端通过螺丝固定连接有固定架；连接件204的上端固定连接有齿轮，且连接件204的齿轮与固定件202的齿轮相互啮合；旋转件203转动的时候，会带动其上侧安装的连接件204一起转动，同时由于连接件204的齿轮与固定件202齿轮的配合，会同时使连接件204产生自转，进而使本机构固定的刀具工件在绕固定件202转轴旋转的同时，实现自转，进而增加了刀具工件与镀膜箱体102内部的气化的镀料的接触面积和接触几率，使刀具工件的镀膜更加均匀，保证刀具工件镀膜的质量。
29.本实施例的具体使用方式与作用：本实用新型中，在固定机构2位于清理箱体101的时候，通过控制清理箱体101的电机，使清理件105向上方移动，使固定机构2固定住的刀具工件完全浸没在清理件105的清理腔内部的清洗液中，通过清理件105对刀具工件表面进行清洗，同时由于清理箱体101与镀膜箱体102之间连通，在清理完成之后，向左侧推动移动件201，可以使固定机构2直接从清理箱体101内部移动至镀膜箱体102内部，同时，移动件201带着本机构其他零件进入镀膜箱体102之后，旋转件203的凸型限位块会同步插入进驱动件104的凹型限位块内部，此时，使用密封垫圈106使固定机构2进入镀膜箱体102后，移动件201的左端面可以紧密的与其接触，避免镀膜前镀膜箱体102通过真空泵107调节真空度的时候产生漏气，启动真空泵107，对镀膜箱体102内部的真空度调节到工作状态，通过镀膜箱体102用来镀膜的靶材和等离子弧源在其内部生成气态镀料，然后旋转件203在驱动件104的驱动下进行旋转，旋转件203转动的时候，会带动其上侧安装的连接件204一起转动，同时由于连接件204的齿轮与固定件202齿轮的配合，会同时使连接件204产生自转，进而使本机构固定的刀具工件在绕固定件202转轴旋转的同时，实现自转，进而增加了刀具工件与镀膜箱体102内部的气化的镀料的接触面积和接触几率，实现刀具工件的均匀镀膜。
30.最后，需要说明的是，本实用新型在描述各个构件的位置及其之间的配合关系等时，通常会以一个/一对构件举例而言，然而本领域技术人员应该理解的是，这样的位置、配合关系等，同样适用于其他构件/其他成对的构件。
31.以上所述仅是本实用新型的示范性实施方式，而非用于限制本实用新型的保护范围，本实用新型的保护范围由所附的权利要求确定。