一种高压离子轰击的真空镀膜机的制作方法

文档序号:32599278发布日期:2022-12-17 14:50阅读:237来源:国知局
一种高压离子轰击的真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域,特别涉及一种高压离子轰击的真空镀膜机。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.现有的真空镀膜机在使用过程中,随着温度越高,晶粒粗大,降低了膜层的硬度,没有控温装置,无法保证真空镀膜机镀膜的质量,降低了真空镀膜机镀膜的效率,且需要人工手动放料,费时费力,不能完全实现自动化。故此,我们提出一种高压离子轰击的真空镀膜机。


技术实现要素:

4.本实用新型的主要目的在于提供一种高压离子轰击的真空镀膜机,可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
6.一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括镀膜机主体,所述镀膜机主体的下端固定连接有四个底脚,且四个底脚呈左右对称分布,所述镀膜机主体的上内壁与下内壁之间固定连接有两个支柱,两个所述支柱的对立端均开设有滑槽,两个所述滑槽内均滑动安装有控温组件,所述镀膜机主体的下内壁前端固定连接有电机固定台与轴固定架,所述电机固定台的上端固定连接有上料组件,所述镀膜机主体的下内壁中部固定连接有镀膜装置,所述镀膜机主体的后内壁固定连接有定位板,所述镀膜机主体的前端可拆卸连接有外壳。
7.优选的,所述控温组件包括第一电机,所述第一电机的输出端贯穿支柱并固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹套块,所述螺纹套块靠近镀膜机主体的一端固定连接有温控板,所述温控板靠近镀膜机主体的一端固定连接有温控管。
8.优选的,所述螺纹套块的尺寸与滑槽的尺寸相适配,所述温控管呈波浪形结构。
9.优选的,所述上料组件包括第二电机与从动轮,所述从动轮设置有两个,所述第二电机的输出端固定连接有主动轮,所述主动轮的右端固定连接有连轴,所述连轴的右端与主动轮固定连接,同侧的主动轮与连轴共同滑动连接有皮带,两个所述皮带的上端均卡接有夹块,两个所述夹块的上端共同固定连接有平台。
10.优选的,所述夹块的尺寸与皮带的尺寸相适配,所述连轴与轴固定架转动连接,所述第二电机与电机固定台固定连接。
11.优选的,所述平台的尺寸与镀膜装置的尺寸相适配,所述平台的后端与定位板的位置相对应。
12.与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
13.一、本实用新型通过设置上料组件,通过第二电机带动主动轮旋转,主动轮与从动
轮相互配合使皮带向前运动,两根皮带的上端共同固定连接有平台,且在平台的后端设有定位板,防止复位时平台位置偏离,达到自动化上料、省时省力的目的;
14.二、本实用新型通过设置控温组件,通过启动第一电机,使其输出端带动螺纹杆转动,螺纹杆带动其上螺纹连接的螺纹套块在滑槽内滑动,带动温控板上下运动,达到主动控温、保证镀膜质量的目的。
附图说明
15.图1为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机的整体结构示意图;
16.图2为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机的固定部件的结构示意图;
17.图3为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机上料组件的结构示意图;
18.图4为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机控温组件的结构示意图。
19.图中:1、镀膜机主体;2、底脚;3、支柱;4、控温组件;5、电机固定台;6、上料组件;7、定位板;8、镀膜装置;9、外壳;31、滑槽;41、第一电机;42、螺纹杆;43、螺纹套块;44、温控板;45、温控管;51、轴固定架;61、第二电机;62、主动轮;63、连轴;64、从动轮;65、皮带;66、夹块;67、平台。
具体实施方式
20.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
21.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
22.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.如图1-4所示,一种高压离子轰击的真空镀膜机,包括镀膜机主体1,镀膜机主体1的下端固定连接有四个底脚2,且四个底脚2呈左右对称分布,镀膜机主体1的上内壁与下内壁之间固定连接有两个支柱3,两个支柱3的对立端均开设有滑槽31,两个滑槽31内均滑动安装有控温组件4,镀膜机主体1的下内壁前端固定连接有电机固定台5与轴固定架51,电机固定台5的上端固定连接有上料组件6,镀膜机主体1的下内壁中部固定连接有镀膜装置8,镀膜机主体1的后内壁固定连接有定位板7,镀膜机主体1的前端可拆卸连接有外壳9。
24.如图3所示,在本实施例中,控温组件4包括第一电机41,第一电机41的输出端贯穿支柱3并固定连接有螺纹杆42,螺纹杆42的外表面螺纹连接有螺纹套块43,螺纹套块43靠近镀膜机主体1的一端固定连接有温控板44,温控板44靠近镀膜机主体1的一端固定连接有温控管45,螺纹套块43的尺寸与滑槽31的尺寸相适配,温控管45呈波浪形结构;在加工过程
中,启动第一电机41,两个第一电机41同时带动对应的螺纹杆42旋转,两个螺纹杆42带动其上螺纹连接的螺纹套块43在滑槽31内滑动,从而对温控板44及温控管45的位置进行调整,使辐射到物料上的温度随着温控板44及温控管45的变化而进行调整,达到及时控温、保证加工质量的目的。
25.如图4所示,在本实施例中,上料组件6包括第二电机61与从动轮64,从动轮64设置有两个,第二电机61的输出端固定连接有主动轮62,主动轮62的右端固定连接有连轴63,连轴63的右端与主动轮62固定连接,同侧的主动轮62与连轴63共同滑动连接有皮带65,两个皮带65的上端均卡接有夹块66,两个夹块66的上端共同固定连接有平台67,夹块66的尺寸与皮带65的尺寸相适配,连轴63与轴固定架51转动连接,第二电机61与电机固定台5固定连接,平台67的尺寸与镀膜装置8的尺寸相适配,平台67的后端与定位板7的位置相对应;启动第二电机61,第二电机61的输出端带动对应的主动轮62旋转,两个主动轮62通过连轴63相互连接,同侧的主动轮62与从动轮64共同带动皮带65转动,两个皮带65同步转动,且皮带65的上端均卡接有夹块66,两个夹块66的上端共同固定连接有平台67,由此带动物料进入镀膜机主体1内部,避免人工操作,省时省力。
26.需要说明的是,本实用新型为一种高压离子轰击的真空镀膜机,在使用过程中,首先将其整体通过四个底脚2放置在水平面上,当需要对物料进行镀膜操作时,启动第二电机61,第二电机61的输出端带动对应的主动轮62旋转,两个主动轮62通过连轴63相互连接,同侧的主动轮62与从动轮64共同带动皮带65转动,两个皮带65同步转动,且皮带65的上端均卡接有夹块66,两个夹块66的上端共同固定连接有平台67,由此带动物料进入镀膜机主体1内部,避免人工操作,省时省力,在加工过程中,启动第一电机41,两个第一电机41同时带动对应的螺纹杆42旋转,两个螺纹杆42带动其上螺纹连接的螺纹套块43在滑槽31内滑动,从而对温控板44及温控管45的位置进行调整,使辐射到物料上的温度随着温控板44及温控管45的变化而进行调整,达到及时控温、保证加工质量的目的。
27.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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