一种耐高温多弧离子真空镀膜机的制作方法

文档序号:33514458发布日期:2023-03-22 05:44阅读:30来源:国知局
一种耐高温多弧离子真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机领域,具体涉及一种耐高温多弧离子真空镀膜机。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.现有的多弧离子真空镀膜机多为固定安装,在使用时,不方便将装置彻底打开,使得装置的内部清理起来比较麻烦,长时间堆积的物体影响了装置在使用时的工作效率。因此,本领域技术人员提供了一种耐高温多弧离子真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素:

4.为解决上述技术问题,本实用新型提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机,包括工作台和控制台,所述工作台左端安装控制台,工作台上端左右对称开设凹槽,凹槽内前壁开设隐藏槽,两个隐藏槽内共设置一个螺纹杆,螺纹杆外表面左右部螺纹方向相反,螺纹杆右端安装电机一,螺纹杆外表面套设两个螺纹套,且两个螺纹套分别位于两个隐藏槽内,凹槽内设置滑块,且滑块和凹槽滑动连接;
5.滑块固定连接螺纹套,工作台上端左右对称安装半圆形镀膜仓,且半圆形镀膜仓固定连接滑块,半圆形镀膜仓前后两端安装连接杆,左右两侧连接杆通过紧固螺栓连接在一起,工作台内设置电机二,且电机二位于两个凹槽之间,电机二上端安装连接块,且连接块位于工作台上方,连接块上方开设插槽,插槽内壁开设卡槽,卡槽内壁上下对称开设移动槽;
6.卡槽内设置推板,推板上下两端安装移动块,且移动块位于移动槽内,移动槽内设置弹簧一,连接块上方设置固定杆,固定杆侧面对称安装挂杆,固定杆右端下部开设固定槽,固定槽内壁前后对称开设滑槽,固定槽内设置滑动板,滑动板右端安装卡块,且卡块呈直角三角形,滑动板前后两端安装配合块,且配合块位于滑槽内,滑槽内设置弹簧二。
7.优选的:所述工作台下端安装电源控制箱。
8.优选的:所述工作台下端对称安装支撑腿,支撑腿下端安装稳定板。
9.优选的:所述弹簧一右端固定连接移动块,弹簧一左端固定连接移动槽内壁。
10.优选的:所述弹簧二右端固定连接配合块,弹簧二左端固定连接滑槽。
11.优选的:所述推板右端安装推杆,且推杆穿过连接块。
12.优选的:所述推杆右端安装圆板。
13.本实用新型的技术效果和优点:
14.本实用新型将工件挂在挂杆上,固定杆安装在连接块上端,电机一带动半圆形镀膜仓向中间移动,两个半圆形镀膜仓合在一起包裹住工件,通过紧固螺栓使两个半圆形镀
膜仓连接更紧密,需要清理半圆形镀膜仓内壁时,电机一反转,使两个半圆形镀膜仓分开,工人可以对仓内壁的堆积物体进行清理,提高工作效率。
附图说明
15.图1是本申请的结构示意图;
16.图2是本申请半圆形镀膜仓的结构示意图;
17.图3是本申请工作台的结构示意图;
18.图4是本申请固定杆的结构示意图;
19.图5是本申请连接块的结构示意图;
20.图中:1、工作台;11、凹槽;12、隐藏槽;13、电源控制箱;14、支撑腿;15、稳定板;2、控制台;3、半圆形镀膜仓;31、连接杆;32、紧固螺栓;33、滑块;4、螺纹杆;41、电机一;42、螺纹套;5、连接块;51、插槽;52、卡槽;53、移动槽;6、推板;61、移动块;62、推杆;63、圆板;64、弹簧一;7、固定杆;71、挂杆;72、固定槽;73、滑槽;8、滑动板;81、配合块;82、弹簧二;83、卡块。
具体实施方式
21.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的,而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用,并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
22.请参阅图1~5,在本实施例中提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机,包括工作台1和控制台2,所述工作台1左端安装控制台2,工作台1下端安装电源控制箱13,工作台1下端对称安装支撑腿14,支撑腿14下端安装稳定板15,工作台1上端左右对称开设凹槽11,凹槽11内前壁开设隐藏槽12,两个隐藏槽12内共设置一个螺纹杆4,螺纹杆4外表面左右部螺纹方向相反,螺纹杆4右端安装电机一41,螺纹杆4外表面套设两个螺纹套42,且两个螺纹套42分别位于两个隐藏槽12内,凹槽11内设置滑块33,且滑块33和凹槽11滑动连接,滑块33固定连接螺纹套42,工作台1上端左右对称安装半圆形镀膜仓3,且半圆形镀膜仓3固定连接滑块33,半圆形镀膜仓3前后两端安装连接杆31,左右两侧连接杆31通过紧固螺栓32连接在一起,工作台1内设置电机二,且电机二位于两个凹槽11之间,电机二上端安装连接块5,且连接块5位于工作台1上方,连接块5上方开设插槽51,插槽51内壁开设卡槽52,卡槽52内壁上下对称开设移动槽53,卡槽52内设置推板6,推板6上下两端安装移动块61,且移动块61位于移动槽53内,移动槽53内设置弹簧一64,弹簧一64右端固定连接移动块61,弹簧一64左端固定连接移动槽53内壁,推板6右端安装推杆62,且推杆62穿过连接块5,推杆62右端安装圆板63,连接块5上方设置固定杆7,固定杆7侧面对称安装挂杆71,固定杆7右端下部开设固定槽72,固定槽72内壁前后对称开设滑槽73,固定槽72内设置滑动板8,滑动板8右端安装卡块83,且卡块83呈直角三角形,滑动板8前后两端安装配合块81,且配合块81位于滑槽73内,滑槽73内设置弹簧二82,弹簧二82右端固定连接配合块81,弹簧二82左端固定连接滑槽73。
23.本实用新型的工作原理是:将工件挂在挂杆71上,固定杆7下部插进插槽51内,卡
块83先缩到固定槽72内,弹簧二82被压缩,当固定杆7下部完全插进插槽51内时,通过弹簧二82推力推动卡块83插进卡槽52内,固定住固定杆7的位置,使固定杆7安装在连接块5上端,电机一41带动螺纹杆4转动,螺纹杆4带动两个螺纹套42向中间移动,螺纹套42通过滑块33带动半圆形镀膜仓3向中间移动,两个半圆形镀膜仓3合在一起包裹住工件,通过紧固螺栓32使两个半圆形镀膜仓3连接更紧密,需要清理半圆形镀膜仓3内壁时,电机一41反转,使两个半圆形镀膜仓3分开,工人可以对仓内壁的堆积物体进行清理,提高工作效率。
24.显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都应属于本实用新型保护的范围。本实用新型中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法,如无特别说明和限定,均按照本领域的常规手段进行实施。


技术特征:
1.一种耐高温多弧离子真空镀膜机,包括工作台(1)和控制台(2),其特征在于,所述工作台(1)左端安装控制台(2),工作台(1)上端左右对称开设凹槽(11),凹槽(11)内前壁开设隐藏槽(12),两个隐藏槽(12)内共设置一个螺纹杆(4),螺纹杆(4)外表面左右部螺纹方向相反,螺纹杆(4)右端安装电机一(41),螺纹杆(4)外表面套设两个螺纹套(42),且两个螺纹套(42)分别位于两个隐藏槽(12)内,凹槽(11)内设置滑块(33),且滑块(33)和凹槽(11)滑动连接;滑块(33)固定连接螺纹套(42),工作台(1)上端左右对称安装半圆形镀膜仓(3),且半圆形镀膜仓(3)固定连接滑块(33),半圆形镀膜仓(3)前后两端安装连接杆(31),左右两侧连接杆(31)通过紧固螺栓(32)连接在一起,工作台(1)内设置电机二,且电机二位于两个凹槽(11)之间,电机二上端安装连接块(5),且连接块(5)位于工作台(1)上方,连接块(5)上方开设插槽(51),插槽(51)内壁开设卡槽(52),卡槽(52)内壁上下对称开设移动槽(53);卡槽(52)内设置推板(6),推板(6)上下两端安装移动块(61),且移动块(61)位于移动槽(53)内,移动槽(53)内设置弹簧一(64),连接块(5)上方设置固定杆(7),固定杆(7)侧面对称安装挂杆(71),固定杆(7)右端下部开设固定槽(72),固定槽(72)内壁前后对称开设滑槽(73),固定槽(72)内设置滑动板(8),滑动板(8)右端安装卡块(83),且卡块(83)呈直角三角形,滑动板(8)前后两端安装配合块(81),且配合块(81)位于滑槽(73)内,滑槽(73)内设置弹簧二(82)。2.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述工作台(1)下端安装电源控制箱(13)。3.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述工作台(1)下端对称安装支撑腿(14),支撑腿(14)下端安装稳定板(15)。4.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述弹簧一(64)右端固定连接移动块(61),弹簧一(64)左端固定连接移动槽(53)内壁。5.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述弹簧二(82)右端固定连接配合块(81),弹簧二(82)左端固定连接滑槽(73)。6.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述推板(6)右端安装推杆(62),且推杆(62)穿过连接块(5)。7.根据权利要求6所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机,其特征在于,所述推杆(62)右端安装圆板(63)。

技术总结
本实用新型公开了一种耐高温多弧离子真空镀膜机,包括工作台和控制台,所述工作台左端安装控制台,工作台上端左右对称开设凹槽,凹槽内前壁开设隐藏槽,两个隐藏槽内共设置一个螺纹杆,螺纹杆外表面左右部螺纹方向相反,螺纹杆右端安装电机一,螺纹杆外表面套设两个螺纹套,且两个螺纹套分别位于两个隐藏槽内,凹槽内设置滑块,滑块固定连接螺纹套,工作台上端左右对称安装半圆形镀膜仓,且半圆形镀膜仓固定连接滑块。本实用新型通过电机一反转,使两个半圆形镀膜仓分开,工人可以对仓内壁的堆积物体进行清理,提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。


技术研发人员:程颖 请求不公布姓名
受保护的技术使用者:程颖
技术研发日:2022.09.19
技术公布日:2023/3/21
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