一种PVD设备的冷却挡板的制作方法

一种pvd设备的冷却挡板
技术领域
1.本实用新型涉及一种pvd设备的冷却挡板，属于pvd设备的冷却挡板领域。


背景技术：

2.目前在薄膜表面进行镀膜操作，通常是通过pvd设备将所需材料沉积到塑料薄膜上，以满足客户的需求。在沉积过程中，有部分材料沉积到真空腔体和冷却挡板上。冷却挡板上沉积的材料需及时清理以保证生产品质。现有的pvd设备对冷却挡板上沉积的材料清理时多用手工清理，该种清理方式存在缺陷，耗时长且冷却挡板表面容易变得坑坑洼洼，残渣在真空腔内飞溅，容易污染真空腔室，降低后续镀膜的产品质量。因此，如何清理冷却挡板表面的沉积材料是本领域技术人员亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

3.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种pvd设备的冷却挡板。以解决背景技术部分提出的问题。
4.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种pvd设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有内腔，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；所述遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔；所述固定件包括档杆、连接杆和旋钮，连接杆的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆的中部，挡杆的宽度小于槽口的宽度，长度小于槽口的长度；连接杆从槽口伸入内腔中，遮挡片覆盖在外壳的外表面，旋转旋钮使档杆与槽口错开。
5.为了防止档杆在内腔中自行旋转，从槽口中脱出，本实用新型进一步的设置为：所述内腔中设置有紧固结构，紧固结构阻止档杆在内腔中旋转。
6.本实用新型进一步的设置为：所述紧固结构是螺旋状滑轨，所述连接杆穿过螺旋状滑轨的中心线，所述档杆的端部沿螺旋状滑轨滑动。档杆的端部被螺旋状滑轨逐渐抬起，增加档杆的端部与旋钮的距离，使旋钮将遮挡片压紧在外壳上。
7.为了将档杆的两端同步抬起，本实用新型进一步的设置为：所述紧固结构是一对螺旋状滑轨，所述螺旋状滑轨的圈数为半圈，相对地设置在所述槽口的两侧。
8.为了便于操作旋钮，本实用新型进一步的设置为：所述旋钮具有一对蝶形圆翼。
9.为了便于拆卸遮挡片，本实用新型进一步的设置为：所述连接杆与档杆固定连接，具体可以为螺接。
10.本实用新型进一步的设置为：所述外壳内部设置有盘管，盘管的两端分别从外壳中伸出形成排液口和进液口。
11.为了增强换热效率，本实用新型进一步的设置为：所述盘管的外侧粘接有翅片。
12.本实用新型进一步的设置为：所述翅片的材质为铝。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：档杆和连接杆从槽口伸入内腔中，旋转旋钮使档杆与槽口错开。固定件将遮挡片覆盖在外壳的外表面，承接材料沉积。因此，沉
积材料不会越过遮挡片落在冷却挡板上。当需要清理冷却挡板时，反向旋转旋钮，从槽口中取出档杆和连接杆。然后将连接杆与档杆分离，卸下遮挡片，更换为新的遮挡片后再次使用。
14.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
15.图1为本实用新型一较佳实施例所示的pvd设备的冷却挡板的装配结构示意图。
16.图2为固定件与第二壳体之间的安装结构剖视图。
17.图3为固定件与第二壳体之间的局部安装结构立体图。
18.图中：1、第一壳体；2、翅片；3、盘管；4、第二壳体；5、档杆；6、遮挡片；7、蝶形圆翼；8、内腔；9、螺旋状滑轨；10、连接杆；11、槽口；12、排液口；13、进液口。
具体实施方式
19.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
20.参见附图1-3所示，本实施例中的一种pvd设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片6和若干固定件，固定件将遮挡片6连接在外壳上。所述外壳包括第一壳体1和第二壳体4，所述第一壳体1与第二壳体4为可拆卸连接。由于主要是第二壳体4与固定件接触，第二壳体4易磨损，通过第二壳体4与第一壳体1可拆卸连接便于第二壳体4的更换。
21.第二壳体4朝向遮挡件的侧面设置有内腔8，第二壳体4朝向遮挡件的侧面设置有槽口11；所述遮挡片6上设置有与槽口11位置相对应的通孔；所述固定件包括档杆5、连接杆10和旋钮，连接杆10的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆5的中部；挡杆5的宽度小于槽口11的宽度，长度小于槽口11的长度；连接杆10从槽口11伸入内腔8中，遮挡片6覆盖在外壳的外表面，旋转旋钮使档杆5与槽口11错开。
22.档杆5和连接杆10从槽口11伸入内腔8中，旋转旋钮使档杆5与槽口11错开。固定件将遮挡片6覆盖在外壳的外表面，承接材料沉积。因此，沉积材料不会越过遮挡片6落在冷却挡板上。当需要清理冷却挡板时，反向旋转旋钮，从槽口11中取出档杆5和连接杆10。然后将连接杆10与档杆5分离，卸下遮挡片6，更换为新的遮挡片6后再次使用。
23.所述内腔8中设置螺旋状滑轨9，所述连接杆10贯穿螺旋状滑轨9的中心，所述档杆5的端部沿螺旋状滑轨9滑动。档杆5的端部被螺旋状滑轨9逐渐抬起，增加档杆5的端部与旋钮的距离，使旋钮将遮挡片6压紧在外壳上。螺旋状滑轨9为一对，螺旋状滑轨9的圈数为半圈，相对地设置在所述槽口11的两侧。
24.所述旋钮具有一对蝶形圆翼7。所述连接杆10与档杆5螺接。
25.所述外壳内部设置有盘管3，盘管3的两端分别从外壳中伸出形成排液口12和进液口13。所述盘管3的外侧上粘接设有翅片2，翅片2的材质为铝。
26.综上所述，本实用新型所述的pvd设备的冷却挡板的原理为：通过固定件将遮挡片
6覆盖在外壳上，阻止材料沉积在外壳上，免于清理外壳。通过拆卸固定件，然后更换遮挡片6，将遮挡片6连通沉积在遮挡片6上的材料一同清除，保持冷却挡板表面清洁。
27.档杆5的端部被螺旋状滑轨9逐渐抬起，增加档杆5的端部与旋钮的距离，使旋钮将遮挡片6压紧在外壳上。外壳内部设置有盘管3，盘管3的两端分别从外壳中伸出形成排液口12和进液口13。盘管3内部流淌温度较低的冷却液，对真空腔体内的基材冷却，从而达到薄膜制备的工艺要求。通过在盘管3的周围连接模具弹簧。提高散热效率。
28.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种pvd设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，其特征在于，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有内腔，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；所述遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔；所述固定件包括档杆、连接杆和旋钮，连接杆的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆的中部，挡杆的宽度小于槽口的宽度，长度小于槽口的长度；连接杆从槽口伸入内腔中，遮挡片覆盖在外壳的外表面。2.根据权利要求1所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述内腔中设置有紧固结构，紧固结构阻止档杆在内腔中旋转。3.根据权利要求2所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述紧固结构是螺旋状滑轨，所述连接杆穿过螺旋状滑轨的中心线，所述档杆的端部沿螺旋状滑轨滑动。4.根据权利要求3所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述螺旋状滑轨的数量为2个，所述螺旋状滑轨的圈数为半圈，相对地设置在所述槽口的两侧。5.根据权利要求4所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述旋钮具有一对蝶形圆翼。6.根据权利要求1所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述连接杆与档杆固定连接。7.根据权利要求1所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述外壳内部设置有盘管，盘管的两端分别从外壳中伸出形成排液口和进液口。8.根据权利要求7所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述盘管的外侧粘接有翅片。9.根据权利要求8所述的pvd设备的冷却挡板，其特征在于，所述翅片的材质为铝。10.一种pvd设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的pvd设备的冷却挡板。

技术总结
本实用新型公开了一种PVD设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，外壳内设置有内腔，外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔；固定件包括档杆、连接杆和旋钮，连接杆的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆的中部，挡杆的宽度小于槽口的宽度，长度小于槽口的长度；连接杆从槽口伸入内腔中，遮挡片覆盖在外壳的外表面。遮挡片覆盖在外壳的外表面，承接材料沉积。因此，沉积材料不会越过遮挡片落在冷却挡板上。当需要清理冷却挡板时，反向旋转旋钮，从槽口中取出档杆和连接杆。然后将连接杆与档杆分离，卸下遮挡片，更换为新的遮挡片后再次使用。更换为新的遮挡片后再次使用。更换为新的遮挡片后再次使用。


技术研发人员：程毅 刘国春 王天兵 李学法 张国平
受保护的技术使用者：扬州纳力新材料科技有限公司
技术研发日：2022.10.13
技术公布日：2023/3/9