装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置的制作方法

本发明涉及真空表面镀膜领域，尤其涉及到装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置。

背景技术：

1、真空表面镀膜，也称为薄膜沉积，是一种真空室工艺，将非常薄且稳定的镀膜层施加到基材表面，以保护其免受可能磨损或降低其效率的力。真空镀膜很薄，厚度在0.25到10微米（0.01到0.4英寸）之间。其类型包括pvd涂层、溅射、阴极电弧、原子层沉积。主要用于注塑模具、半导体、添加剂制造、医疗工具、制造工具、航天、汽车。主要作用是不仅让基材或零件持久耐用，还让该部件在整个生命周期内保持高水平的性能。

2、基于中国专利授权公众号cn 110885966 a提供了滚筒式磁控溅射镀膜机，将带齿轮的滚筒放置于带电的导电滚轮上，通过设置在滚筒座上的导电滚轮与溅射滚筒的外侧壁面接触导电式，由安装在真空壳体上的驱动装置上的齿轮与滚筒上的齿轮啮合带动滚筒转动。中国专利授权公众号cn 211142147 u提供了一种溅射镀膜一体机用滚筒，包括滚筒本体、两个滚轮、两个圆环形齿轮，若干支撑导柱和挡板组件，滚筒在镀膜过程中滚动，能使让容纳腔内的大量物件跟随者滚动本体转动，增加所有的待镀膜的物体与成膜物质的接触面积，提高镀膜的均匀性。上述两篇专利均阐述了带齿轮的滚筒放置于真空壳体中的导电滚轮上，由安装在真空壳体上的驱动装置上的齿轮转动带动滚筒上的齿轮旋转，即滚筒旋转。上述两个专利中的滚筒需由工作人员将其搬运放置于真空壳体中，并定位才能工作，由此需要考虑放置滚筒的真空壳体的大小。

3、基于中国专利授权公众号cn 114318269 b，其公开了一种磁性粉末材料表面溅射沉积金属的装置及方法，包括真空腔体、真空本组、磁控溅射靶、阳极离子源、水冷阳极和设置于所述真空腔体内的样品盛放部件。本发明亦揭示装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，适用于上述真空镀膜装置。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供了装有磁性粉末材料的样品滚筒能沿滚筒轴线方向运行，还能在磁控溅射真空状态下，能正、反旋转，达到磁性粉末均匀表面溅射沉积金属的效果，提高产品质量。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，包括轨道组件1、2组行走滚轮组件2、2个行走支架3、2个绝缘件4、拉手及前滚轮支架5、2个前滚轮6、4个滚轮定位座绝缘件7、4组滚轮定位座组件8、后滚轮及驱动齿轮支架9、2个后滚轮10、2个前后滚轮连接套11、2个滚轮驱动绝缘过渡套12、2组滚轮驱动齿轮组件13、2组过渡齿轮组件14、驱动主动齿轮组件15、2个止动件16。

4、通过采用上述方案，所述的前滚轮6和所述的后滚轮10通过滚轮定位座绝缘件7、滚轮定位座组件8分别安装到所述的拉手及前滚轮支架4和所述的后滚轮及驱动齿轮支架9上，然后用所述的前后滚轮连接套11将所述的前滚轮6和所述的后滚轮10连接为同轴组件。

5、优佳的，所述的前后滚轮连接套11将所述的前滚轮6和所述的后滚轮10连接为同轴转动件，使所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同步同轴转动。

6、优佳的，所述的前滚轮6和所述的后滚轮10与所述的所述的拉手及前滚轮支架5和所述的后滚轮及驱动齿轮支架9绝缘，使样品滚筒与主壳体绝缘性好，提高镀膜质量。

7、通过采用上述方案，所述的滚轮驱动齿轮组件13与所述的后滚轮10用所述的滚轮驱动绝缘过渡套12进行连接，则所述的前滚轮6和所述的后滚轮10与所述的驱动主动齿轮组件15为同轴组件。

8、优佳的，所述的驱动主动齿轮组件15与所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步同向旋转。

9、优佳的，所述的驱动主动齿轮组件15与所述的后滚轮10绝缘，使样品滚筒与主壳体绝缘性好，提高镀膜质量。

10、通过采用上述方案，所述的驱动主动齿轮组件15旋转同时带动两侧的所述的过渡齿轮组件14旋转，依次分别同步带动所述的滚轮驱动齿轮组件13转动，即所述的驱动主动齿轮组件15同步同时带动两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步同向旋转。

11、优佳的，所述的驱动主动齿轮组件15同步同时带动两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步旋转, 即两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同方向同步转动，使样品滚筒双驱动滚筒转动，避免样品滚筒打滑。

12、通过采用上述方案，用所述的行走支架3将两组所述的滚轮组件2组装，然后用所述的绝缘件4将所述的拉手及前滚轮支架4和所述的及驱动齿轮支架9绝缘连接。

13、优佳的，所述的拉手及前滚轮支架4和所述的及驱动齿轮支架9与主壳体绝缘，使样品滚筒与主壳体的绝缘性更佳。

14、通过采用上述方案，所述的止动件16安装与所述的行走支架3端头，所述的行走滚轮组件2沿着所述的轨道组件1进入到主壳体内，手动拨动所述的止动件16，使所述的止动件16在所述的轨道组件1的中间拉杆内，即所述的行走滚轮组件2在主壳体内不能沿着轨道行走，若要让行走则将所述的止动件16旋转拨动脱离所述的轨道组件的中间拉杆，方可行走。

15、优佳的，所述的止动件16灵活旋转，与所述的轨道相互制约，便于安装拆卸。

16、通过采用上述方案，所述的行走滚轮组件2是由行走主轴、耐高温满珠轴承、单边挡板滚轮和防尘盖组成。

17、优佳的，上述所述的行走滚轮组件2，提高实用寿命，避免卡滞现象。

18、本发明其它尤佳的：

19、选型优佳的，所述的行走滚轮组件2、所述的滚轮定位座组件8所述的滚轮驱动齿轮组件15、过渡齿轮组件14上都配有耐高温满珠轴承，避免轴承卡滞现象。

20、配置优佳的，所述的后滚轮10为双边卡槽滚轮，所述的前滚轮6为单边滚轮，使样品滚筒的法兰在卡槽滚轮内，避免滚筒旋转时轴线偏移。

21、角度优佳的，样品滚筒中心与所述的后滚轮9或所述的前滚轮6组成中心的角度为60°∽70°之间，避免样品滚筒打滑、脱离滚轮的现象。

22、综上所述，本发明具有以下有益效果：

23、样品滚筒采用轴向前后滚筒同轴、径向双滚轮同时同向同步驱动，大大提高了工作和生产效率。

24、样品滚筒与主壳体通过绝缘件双层绝缘，大大提高了镀膜的质量。

25、旋转部件中都选用耐高温满珠轴承，大大提高了生产效率。

26、采用灵活的止动件，大大提高了工作效率。

技术特征：

1.一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，包括轨道组件1、2组行走滚轮组件2、2个行走支架3、2个绝缘件4、拉手及前滚轮支架5、2个前滚轮6、4个滚轮定位座绝缘件7、4组滚轮定位座组件8、后滚轮及驱动齿轮支架9、2个后滚轮10、2个前后滚轮连接套11、2个滚轮驱动绝缘过渡套12、2组滚轮驱动齿轮组件13、2组过渡齿轮组件14、驱动主动齿轮组件15、2个止动件16。

2.通过采用上述方案，所述的前滚轮6和所述的后滚轮10通过滚轮定位座绝缘件7、滚轮定位座组件8分别安装到所述的拉手及前滚轮支架4和所述的后滚轮及驱动齿轮支架9上，然后用所述的前后滚轮连接套11将所述的前滚轮6和所述的后滚轮10连接为同轴组件；通过采用上述方案，所述的滚轮驱动齿轮组件13与所述的后滚轮10用所述的滚轮驱动绝缘过渡套12进行连接，则所述的前滚轮6和所述的后滚轮10与所述的驱动主动齿轮组件15为同轴组件；通过采用上述方案，所述的驱动主动齿轮组件15旋转同时带动两侧的所述的过渡齿轮组件14旋转，依次分别同步带动所述的滚轮驱动齿轮组件13转动，即所述的驱动主动齿轮组件15同步同时带动两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步同向旋转；通过采用上述方案，用所述的行走支架3将两组所述的滚轮组件2组装，然后用所述的绝缘件4将所述的拉手及前滚轮支架4和所述的及驱动齿轮支架9绝缘连接；通过采用上述方案，所述的止动件16安装与所述的行走支架3端头，所述的行走滚轮组件2沿着所述的轨道组件1进入到主壳体内，手动拨动所述的止动件16，使所述的止动件16在所述的轨道组件1的中间拉杆内，即所述的行走滚轮组件2在主壳体内不能沿着轨道行走，若要让行走则将所述的止动件16旋转拨动脱离所述的轨道组件的中间拉杆，方可行走；通过采用上述方案，所述的行走滚轮组件2是由行走主轴、耐高温满珠轴承、单边挡板滚轮和防尘盖组成。

3.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，所述的前后滚轮连接套11将所述的前滚轮6和所述的后滚轮10连接为同轴转动件，使所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同步同轴转动。所述的前滚轮6和所述的后滚轮10与所述的所述的拉手及前滚轮支架5和所述的后滚轮及驱动齿轮支架9绝缘，使样品滚筒与主壳体绝缘性好，提高镀膜质量。

4.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，所述的驱动主动齿轮组件15与所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步同向旋转。所述的驱动主动齿轮组件15与所述的后滚轮10绝缘，使样品滚筒与主壳体绝缘性好，提高镀膜质量。

5.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，所述的驱动主动齿轮组件15同步同时带动两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同轴同步旋转, 即两侧的所述的前滚轮6和所述的后滚轮10同方向同步转动，使样品滚筒双驱动滚筒转动，避免样品滚筒打滑。

6.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，所述的拉手及前滚轮支架4和所述的及驱动齿轮支架9与主壳体绝缘，使样品滚筒与主壳体的绝缘性更佳。

7.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，所述的止动件16灵活旋转，与所述的轨道相互制约，便于安装拆卸。

8.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，上述所述的行走滚轮组件2，提高实用寿命，避免卡滞现象。

9.如权利要求1所述的一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，其特征在于，选型优佳的，所述的行走滚轮组件2、所述的滚轮定位座组件8所述的滚轮驱动齿轮组件15、过渡齿轮组件14上都配有耐高温满珠轴承，避免轴承卡滞现象。配置优佳的，所述的后滚轮10为双边卡槽滚轮，所述的前滚轮6为单边滚轮，使样品滚筒的法兰在卡槽滚轮内，避免滚筒旋转时轴线偏移。角度优佳的，样品滚筒中心与所述的后滚轮9或所述的前滚轮6组成中心的角度为60°∽70°之间，避免样品滚筒打滑、脱离滚轮的现象。

技术总结
本发明公开了一种装有磁性粉末材料的样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的新型工装装置，包括轨道组件1、2组行走滚轮组件2、2个行走支架3、2个绝缘件4、拉手及前滚轮支架5、2个前滚轮6、4个滚轮定位座绝缘件7、4组滚轮定位座组件8、后滚轮及驱动齿轮支架9、2个后滚轮10、2个前后滚轮连接套11、2个滚轮驱动绝缘过渡套12、2组滚轮驱动齿轮组件13、2组过渡齿轮组件14、驱动主动齿轮组件15、2个止动件16。样品滚筒采用轴向前后滚筒同轴、径向双滚轮同时同向同步驱动，大大提高了工作和生产效率；样品滚筒与主壳体通过绝缘件双层绝缘，大大提高了镀膜的质量；旋转部件中都选用耐高温满珠轴承，大大提高了生产效率；采用灵活的止动件，大大提高了工作效率。

技术研发人员：张斌
受保护的技术使用者：华晟昇纳米科技（成都）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14